曲变形。随着该变形，上部电极53的可动部531与下部电极51之间的间隙(分离距离)发生变化。
[0187]在上部电极53的可动部531与下部电极51之间的间隙发生变化时，由下部电极51以及上部电极53构成的振动系统的谐振频率发生变化，因此，根据该谐振频率的变化，能够求出受压面213受到的压力的大小(绝对压力)。
[0188]2.电子设备
[0189]接下来，基于图9?图11，对具有本发明的MEMS结构体的电子设备(本发明的电子设备)进行详细说明。
[0190]图9是示出作为本发明的电子设备的第I例的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104和具有显示部2000的显示单元1106构成，显示单元1106经由铰接结构部以能够转动的方式支承于主体部1104。在这样的个人计算机1100中，内置有MEMS结构体I。
[0191]图10是示出作为本发明的电子设备的第2例的移动电话(也包括PHS)的结构的立体图。在该图中，移动电话1200具有多个操作按钮1202、接听口 1204以及通话口 1206，在操作按钮1202与接听口 1204之间，配置有显示部2000。在这样的移动电话1200中，内置有MEMS结构体I。
[0192]图11是示出作为本发明的电子设备的第3例的数字静态照相机的结构的立体图。此外，在该图中，还简易地示出了与外部设备的连接。此处，通常的照相机利用被摄体的光像而使银盐摄影胶卷感光，与此相对，数字静态照相机1300利用CXD (Charge CoupledDevice:电荷耦合器件)等摄像元件，对被摄体的光像进行光电转换，生成摄像信号(图像信号)。
[0193]在数字静态照相机1300的壳体(机身)1302的背面设置有显示部，构成为基于CCD的摄像信号进行显示，显示部作为将被摄体显示为电子图像的取景器而发挥作用。此夕卜，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)，设置有包含光学透镜(摄像光学系统)及CCD等的受光单元1304。
[0194]在摄影者确认显示部中显示的被摄体像并按下快门按钮1306时，该时刻的CCD的摄像信号被传送/保存到存储器1308中。此外，在该数字静态照相机1300中，在壳体1302的侧面，设置有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入/输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，分别使视频信号输出端子1312与电视监视器1430连接，使数据通信用的输入/输出端子1314与个人计算机1440连接。此外构成为，通过规定的操作，将存储器1308中保存的摄像信号输出到电视监视器1430或个人计算机1440。在这样的数字静态照相机1300中，内置有MEMS结构体I。
[0195]以上说明的电子设备具有优异的可靠性。
[0196]此外，具有本发明的MEMS结构体的电子设备除了可以应用于图9的个人计算机(移动型个人计算机)、图10的移动电话、图11的数字静态照相机以外，例如还可以应用于喷射式喷出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、电视、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼器、电子记事本(也包含带通信功能的)、电子词典、电子计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、电视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。
[0197]3.移动体
[0198]图12是示出作为本发明的移动体的一例的汽车的结构的立体图。
[0199]在该图中，移动体1500具有车体1501和4个车轮1502，并构成为利用车体1501中设置的未图示的动力源(发动机)使车轮1502旋转。在这样的移动体1500中，内置有MEMS结构体I。
[0200]以上说明那样的移动体具有优异的可靠性。此外，本发明的移动体不限于汽车，例如也可以应用于飞机、船舶、摩托车等各种移动体。
[0201]以上，基于图示的各实施方式对本发明的MEMS结构体、电子设备以及移动体进行了说明，但本发明不限于此，各部分的结构可以置换为具有相同功能的任意结构。此外，也可以附加其它任意结构物。
[0202]此外，在上述实施方式中，对固定电极的俯视时的面积大于可动电极的可动部的面积的情况进行了说明，但固定电极的俯视时的面积也可以与可动电极的可动部的面积相同，或小于可动电极的可动部的面积。
[0203]此外，在上述实施方式中，对振动元件的可动部被单端支承的结构进行了说明，但不限于此，也可以对可动部进行两端固定。在该情况下，从适当降低与固定电极之间的粘连的方面来看，优选在可动部的中央部设置凸部。
[0204]此外，在上述实施方式中，以在可动电极的靠固定电极侧的面上设置用于降低可动电极相对于固定电极的粘连的凸部的情况为例进行了说明，但该凸部也可以设置在固定电极的靠可动电极侧的面上。在该情况下，可以省略可动电极的凸部。
[0205]此外，在上述实施方式中，以在可动电极的可动部的靠自由端侧的部分处设置用于降低可动电极相对于固定电极的粘连的凸部的情况为例进行了说明，但该凸部也可以设置在可动部的固定端侧。在该情况下，优选构成为，在可动部朝固定电极侧位移时，与可动部的自由端相比，凸部先与固定于基板的固定电极或其它结构体接触。
[0206]此外，在上述实施方式中，以在俯视时固定电极与可动电极重叠的区域内配置用于降低可动电极相对于固定电极的粘连的凸部的情况为例进行了说明，但该凸部也可以配置在固定电极与可动电极重叠的区域的外侧。在该情况下，优选构成为，在可动部朝固定电极侧位移时，与可动部的自由端相比，凸部先与固定于基板的固定电极或其它结构体接触。
[0207]此外，在上述实施方式中，以利用金属来构成用于降低可动电极相对于固定电极的粘连的凸部的情况为例进行了说明，但关于该凸部的构成材料，可以根据可动电极或固定电极的设计而适当地从金属以外的材料中选择与固定电极或可动电极不同的材料。
[0208]此外，在上述实施方式中，以具有用于降低可动电极相对于固定电极的粘连的凸部的金属部贯通可动部的情况为例进行了说明，但不限于此，例如也可以使金属部局部固着于固定电极的靠可动电极侧的面、或可动电极的靠固定电极侧的面上。
[0209]此外，在上述实施方式中，以利用成膜来形成固定电极以及可动电极的情况为例进行了说明，但不限于此，例如，也可以通过对基板进行蚀刻来形成固定电极或可动电极。
【主权项】
1.一种MEMS结构体，其特征在于，具有: 基板； 固定电极，其配置在所述基板的上方； 可动电极，其具有与所述固定电极分离且与所述固定电极相对地配置的可动部；以及凸部，其从所述固定电极的与所述可动部相对的一侧的面以及所述可动部的与所述固定电极相对的一侧的面中的至少一个面突出，含有与所述固定电极或所述可动部不同的材料。2.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 所述凸部含有金属。3.根据权利要求2所述的MEMS结构体，其中， 所述金属为钨。4.根据权利要求2所述的MEMS结构体，其中， 所述MEMS结构体具有贯通所述可动部且含有所述金属的金属部， 所述金属部的从所述可动部突出的部分构成所述凸部。5.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 构成所述凸部的材料的熔点高于构成所述可动电极以及所述固定电极中的至少一方的材料的熔点。6.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 构成所述凸部的材料的杨氏模量大于构成所述可动电极以及所述固定电极中的至少一方的材料的杨氏模量。7.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 构成所述凸部的材料对于含有氟酸的蚀刻液具有耐受性。8.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 所述可动部的数量为多个。9.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 所述可动部被单端支承， 所述凸部配置在所述可动部的自由端侧。10.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 在从所述固定电极和所述可动部排列的方向观察时，所述凸部配置在所述固定电极和所述可动部重叠的区域内。11.根据权利要求1所述的MEMS结构体，其中， 所述MEMS结构体是如下静电驱动型的振子:在所述固定电极和所述可动部之间产生周期性变化的电场，使所述可动部振动。12.—种MEMS结构体的制造方法，其特征在于，具有如下工序: 准备基板； 在所述基板上形成固定电极形成用膜； 在所述固定电极形成用膜上形成牺牲层； 在所述牺牲层上形成可动电极形成用膜； 利用金属形成凸部，所述凸部从所述可动电极形成用膜的靠所述固定电极形成用膜侧的面突出；以及 蚀刻所述牺牲层。13.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1所述的MEMS结构体。14.一种移动体，其特征在于，具有权利要求1所述的MEMS结构体。
【专利摘要】本发明提供MEMS结构体、电子设备以及移动体，能够提高设计自由度且能够降低可动电极相对于固定电极的粘连。本发明的MEMS结构体(1)具有：基板(2)；下部电极(51)，其配置在基板(2)的上方；上部电极(53)，其具有与下部电极(51)分离地相对配置的可动部(531)；以及凸部(541)，其从可动部(531)的与下部电极(51)相对的一侧的面突出，由与可动部(531)不同的材料构成。
【IPC分类】B81B3/00, B81C1/00
【公开号】CN105016290
【申请号】CN201510204540
【发明人】稻叶正吾, 蝦名昭彦, 衣川拓也
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2015年4月27日
【公告号】US20150315011