专利名称：书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及到一种导电体表面刻蚀方法及装置，尤其涉及一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置。
背景技术：
已有技术通常使用印刷或全浸泡电化学反应，然后烘烤清洗的方式进行刻蚀。首先需要透过网版将刻蚀膏在产品上形成我们需要的图案，然后经过烘烤让刻蚀膏与产品表面充分反应，或全浸泡电化学反应，最后经过清洗把表面清洗干净。此方法的缺点有以下几点1，刻蚀图案相对固定，如要更改刻蚀图案需要重新制作网版。2，需要三种机台，设备投入大，运行成本高，占用厂房面积大，且需要更多的人力。3，环保压力大。清洗后的废水需处理后才可排放。
发明内容
针对上述问题，本发明的主要目的是提供一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法及其装置，加工方法简单。为了解决上述难题，本发明采取的方案是一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体的表面接触时形成电化学反应。优选地，电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液。优选地，所述导电体包括但不限于ΙΤ0、ZnO, SnO2等透明导电氧化物。优选地，所述电解液通过纤维针头与导电体表面相接触。一种书写式导电体表面电化学刻蚀装置，它包括
电解液容器，该电解液容器的内腔中存储有电解液，电解液与第一电极相连，第一电极与电源正极相连，该内腔具有一出口和与出口相对的另一出口 ；纤维针头，设置在所述电解液容器内腔的出口处，所述纤维针头的下端部伸出所述电解液容器与导电体表面相接触或脱离；流量控制装置，所述流量控制装置与电解液容器的内腔的另一出口相连通，用于控制电解液从纤维针头中溢出的流量和速度；导电体以及第二电极，所述导电体与第二电极相连，所述第二电极与所述第一电极对应相反；驱动装置，用于使得电解液容器相对导电体移动以带动针头与导电体的表面脱离或接触。优选地，流量控制装置为气体压力控制装置，气体压力控制装置通过调整压力将电解液稳定释出。优选地，所述驱动装置可带动电解液容器相对导电体表面平移移动。本发明采用以上方法，具有以下优点
1、需求设备种类少，设备投入减少；
2、不需使用烘烤及清洗工艺，运行成本降低；
3、没有废水及废气处理，环保压力小。
、刻蚀的图案可任意设定。
附图I为本发明的实施例中的结构示意图。附图中1、导电体；2、电解液容器；3、第二电极；4、驱动装置；5、第一电极；6、流量控制装置。
具体实施例方式下面结合附图I对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域的技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚明确的界定。一种书写式导电体I表面电化学刻蚀方法，采用流量控制装置6控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体I与电源的阴极端相连，电解液与导电体I 的表面接触时形成电化学反应。优选地，电解液通过纤维针头与导电体I表面相接触。电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液。导电体包括但不限于Ι 、ZnO, SnO2等透明导电氧化物。电解液通过纤维针头与导电体表面相接触。如附图I所示，一种书写式导电体I表面电化学刻蚀装置，它包括电解液容器2， 该电解液容器2的内腔中存储有电解液，电解液与第一电极5相连,第一电极5与电源正极相连，该内腔具有一出口和与出口相对的另一出口 ；纤维针头，设置在所述电解液容器2内腔的出口处，所述纤维针头的下端部伸出所述电解液容器2与导电体I表面相接触或脱离； 流量控制装置6，所述流量控制装置6与电解液容器2的内腔的另一出口相连通，用于控制电解液从纤维针头中溢出的流量和速度，流量控制装置6为气体压力控制装置，气体压力控制装置通过调整压力将电解液稳定释出；导电体I以及第二电极3，所述导电体I与第二电极3相连，所述第二电极3与所述第一电极5对应相反；驱动装置4，用于使得电解液容器2相对导电体I移动以带动针头与导电体I的表面脱离或接触，驱动装置4可带动电解液容器2相对导电体I表面平移移动，移动轨迹可设定。上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。
2.根据权利要求I所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于导电体包括但不限于I TO、ZnO、SnO2等透明导电氧化物。
3.根据权利要求I所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液中的一种或几种。
4.根据权利要求I所述的书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于所述电解液通过纤维针头与导电体表面相接触。
5.一种根据权利要求I所述的刻蚀装置，其特征在于它包括电解液容器，该电解液容器的内腔中存储有电解液，电解液与第一电极相连，第一电极与电源正极相连，该内腔具有一出口和与出口相对的另一出口 ；纤维针头，设置在所述电解液容器内腔的出口处，所述纤维针头的下端部伸出所述电解液容器与导电体表面相接触或脱离；流量控制装置，所述流量控制装置与电解液容器的内腔的另一出口相连通，用于控制电解液从纤维针头中溢出的流量和速度；导电体以及第二电极，所述导电体与第二电极相连，所述第二电极与所述第一电极对应相反；驱动装置，用于使得电解液容器相对导电体移动以带动针头与导电体的表面脱离或接触。
6.根据权利要求3所述的书写式导电体表面电化学刻蚀装置，其特征在于流量控制装置为气体压力控制装置，气体压力控制装置通过调整压力将电解液稳定释出。
7.根据权利要求3所述的书写式导电体表面电化学刻蚀装置，其特征在于所述驱动装置可带动电解液容器相对导电体表面平移移动，移动轨迹可设定。
全文摘要
本发明公开了一种书写式导电体表面电化学刻蚀方法，其特征在于采用流量控制装置控制电解液的流量和速度，电解液与电源的阳极端相连，导电体与电源的阴极端相连，电解液与导电体表面接触时形成电化学反应。导电体包括但不限于ITO、ZnO、SnO2等透明导电氧化物。电解液包括但不限于氯化铝、硫酸铝、氯化铁水溶液中的一种或几种。
文档编号C25F3/14GK102605415SQ20121005235
公开日2012年7月25日 申请日期2012年3月2日 优先权日2012年3月2日
发明者曾美华, 胡志华, 邢永强, 陈安 申请人:迅力光能(昆山)有限公司