技术总结
本实用新型公开了一种超声波辅助电沉积装置，包括脉冲室、仪表盘、脉冲正极连接管、脉冲负极连接管、电机室、导线管、电磁脉冲发生器、托盘、卡座、超声波发生器、导线、镀液、支撑网、镀槽、脉冲电源、水溶液、超声波接收槽、阳极、阴极。本实用新型提供一种采用超声波辅助电镀的电沉积装置。通过在装置的电机室一侧安装超声波发生器并由导管将声波导向超声波发生槽，通过超声波的作用加速镀槽内部镀液分子的运动速率，从而增加沉积速率，使镀液内部分子沉积到阴极连接的试件上。通过在电机室一侧设置托盘以及卡座，分别用于固定电磁脉冲发生器以及超声波发生器，保证电磁脉冲发生器以及超声波发生器在使用时的稳定性。
技术研发人员：周涛;李真明;黎增祺
受保护的技术使用者：昆山美微电子科技有限公司
文档号码：201621360613
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.12.05