表面处理装置、表面处理方法以及桨叶与流程

本发明涉及一种包括用于搅拌表面处理液的桨叶的表面处理装置、使用用于搅拌表面处理液的桨叶的表面处理方法以及用于搅拌表面处理液的桨叶。

背景技术：

以往，为了有效地进行镀敷或镀敷前后的表面处理，而对镀液、镀敷前处理液或镀敷后处理液等表面处理液进行搅拌。

通过对镀液、镀敷前后的表面处理液进行搅拌，能够使被镀物的镀敷厚度均匀。

在例如专利文献1中，使用由朝向被镀面方向的板状的弹性体形成的翅片，使其相对于桨叶往复运动时的各前进方向朝向与该前进方向相反的方向弯曲，从而使沿着已弯曲的翅片的处理液的流动成为朝向被镀面附近去的流动，而对镀敷用处理液进行搅拌。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4365143号

技术实现要素：

发明要解决的问题

但是，在专利文献1的图1所示的那样的以往的方法中，仅将桨叶34的上部安装于桨叶轴32，翅片、桨叶处于独立状态，因此会出现表面处理液的搅拌较强的地方和较弱的地方，无法均匀地搅拌，无法实现镀敷厚度均匀。而且还存在装置的强度方面的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且强度得到提高的表面处理装置及桨叶，并且提供一种使镀敷厚度均匀且使桨叶的强度提高并能够长时间搅拌的表面处理方法。

用于解决问题的方案

本发明的一技术方案的表面处理装置在表面处理槽设有相对于被镀物往复移动且用于搅拌所述被镀物附近的表面处理液的至少一个的板状的桨叶，其中，沿着所述表面处理液的深度方向设置的多个方杆沿着所述被镀物以恒定间隔一体地形成于所述桨叶，所述方杆在该方杆的厚度方向的截面中面对所述被镀物地设有曲面。

根据以上技术方案，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且强度得到提高的表面处理装置。

此时，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述曲面以相对于所述被镀物而言朝左和朝右交替的方式设置。

根据以上技术方案，在使桨叶往复移动时，无论是哪个移动方向，都能够获取表面处理液，能够更均匀地搅拌。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述间隔形成为10mm～30mm。

根据以上技术方案，不会遮蔽被镀物，能够均匀地搅拌表面处理液，使镀敷厚度更加均匀。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述方杆为5mm～10mm见方。

根据以上技术方案，成为最适合搅拌表面处理液的尺寸，能够更均匀地搅拌表面处理液，从而使镀敷厚度均匀，并且能够进一步提高强度。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述曲面的r为3mm～10mm。

根据以上技术方案，成为最合适的桨叶的曲面，能够进一步有效地获取表面处理液，进行更均匀地搅拌，从而使镀敷厚度均匀，并且能够进一步提高强度。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述桨叶与所述被镀物之间的距离为10mm～30mm。

根据以上技术方案，桨叶与被镀物接触的可能性变低。并且，能够防止搅拌力降低。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，还包括动力单元，该动力单元用于使所述桨叶以35mm/s～600mm/s的移动速度、50mm～200mm的行程往复移动。

根据以上技术方案，成为最适合搅拌表面处理液的移动速度和行程，能够更均匀地搅拌表面处理液，从而使镀敷厚度均匀，并且能够进一步提高强度。

另外，在本发明的一技术方案中，也可以是，所述桨叶设在被镀物的两侧。

根据以上技术方案，能够均匀地搅拌被镀物的正面和背面的表面处理液，从而使被镀物的正面和背面的镀敷厚度均匀。

另外，本发明的另一技术方案是一种表面处理方法，该表面处理方法使用相对于被镀物往复移动且用于搅拌所述被镀物附近的表面处理液的至少一个的板状的桨叶，其中，沿着所述表面处理液的深度方向设置的多个方杆沿着所述被镀物以恒定间隔一体地形成于所述桨叶，所述方杆在该方杆的厚度方向的截面中面对所述被镀物地设有曲面。

根据以上技术方案，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且使桨叶的强度提高的能够长时间搅拌的表面处理方法。

另外，本发明的另一技术方案是一种桨叶，该桨叶为板状，其相对于被镀物往复移动且用于搅拌所述被镀物附近的表面处理液，其中，沿一方向设置的多个方杆以恒定间隔一体地形成于所述桨叶，所述方杆在该方杆的厚度方向的截面中设有曲面。

根据以上技术方案，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且能够提高强度的桨叶。

发明的效果

如以上说明的那样，根据本发明，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且强度得到提高的表面处理装置及桨叶。并且，能够提供一种使镀敷厚度均匀且使桨叶的强度提高并能够长时间搅拌的表面处理方法。

附图说明

图1是对本发明的一实施方式的表面处理装置从上方进行观察而得到的概略图。

图2是对本发明的一实施方式的表面处理装置从侧面进行观察而得到的概略图。

图3是对本发明的一实施方式的桨叶从侧面进行观察而得到的概略图。

图4是图3中的a－a’线剖视图。

图5是图4中的一部分的放大图。

图6是设于方杆的曲面的参数的追加例。

图7是对本发明的另一实施方式的桨叶从侧面进行观察而得到的概略图。

图8是图7的剖视图，图8的(a)是图7中的a－a’线剖视图，图8的(b)是图7中的b－b’线剖视图，图8的(c)是图7中的c－c’线剖视图，图8的(d)是图7中的d－d’线剖视图。

图9是对贯通孔设为交错状的桨叶从侧面进行观察而得到的概略图。

附图标记说明

10、被镀物；20、被镀物附近的表面处理液；30、表面处理槽；40、固定器具；41、支柱；50、150、200、桨叶；50r、50b、50l、50u、桨叶的端部；51、52、53、54、55、56、57、57’、方杆；60、动力单元；70、轴承；80、阳极；90、框架；100、表面处理装置。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本发明的优选的实施方式。另外，以下要说明的本实施方式并非用于不合理地限定权利要求书中记载的技术方案，本实施方式中说明的全部构成对于本发明的解决方案而言并非一定是必须的。对本发明的一实施方式的表面处理装置、表面处理方法及桨叶按下述顺序进行说明。

1.表面处理装置

2.桨叶

3.表面处理方法

[1.表面处理装置]

如图1所示，本发明的一实施方式的表面处理装置100在表面处理槽30设有相对于被镀物10如箭头c那样沿着表面处理槽30的长度方向(x方向)往复移动且用于搅拌上述被镀物10附近的表面处理液20的至少一个的板状的桨叶50。并且，其中，沿着上述表面处理液的深度方向设置的多个方杆沿着上述被镀物以恒定间隔一体地形成于上述桨叶，上述方杆在该方杆的厚度方向的截面中面对上述被镀物地设有曲面。以下详细地说明。

也可以是，上述桨叶50利用例如图1所示那样的固定器具40固定于支柱41，包括用于移动支柱41的动力单元60和轴承70。并且，上述桨叶50设在被镀物10与阳极80之间。

优选上述桨叶50设置为在静止状态下相对于被镀物10平行。另外，上述桨叶50如箭头c那样沿着表面处理槽30的长度方向(x方向)往复移动，但优选与被镀物10平行地往复移动。这是因为，根据以上结构，能够更加均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液20。另外，图1所示的表面处理槽30的x方向为长度，在y方向为长度的表面处理槽的情况下，桨叶50沿着表面处理槽的宽度方向(x方向)往复移动。即与被镀物10平行地往复移动。

另外，除了基于桨叶50进行的搅拌之外，还可以将鼓泡装置安装于表面处理槽30，与基于鼓泡进行的搅拌相组合。根据以上结构，表面处理液中需要氧，适合想增加溶解氧的情况。

另外，在图1中，桨叶50设在被镀物的单侧，但也可以设在被镀物的两侧。根据以上结构，在需要两侧搅拌的情况下，能够高效地进行搅拌。另外，也可以在被镀物的单侧或两侧设置两个以上的桨叶。根据表面处理槽的大小、被镀物的处理数量适当地调整桨叶数量。

接着，利用图2进行说明。图2是对本发明的一实施方式的表面处理装置100从侧面进行观察而得到的概略图。如图2所示，沿着上述表面处理液的深度方向(z方向)设置的多个方杆以恒定间隔一体地形成于在表面处理装置100设置的桨叶50。通过这样，能够提高桨叶50的强度。

另外，在上面已经进行了说明，也可以是，桨叶50利用例如固定器具40固定于支柱41，包括用于移动支柱41的动力单元60和轴承70。此外，也可以设置用于支承动力单元60和轴承70的框架90。

如图2所示，桨叶50如箭头c那样往复移动。此时，优选还包括动力单元60，该动力单元60用于使上述桨叶50以35mm/s～600mm/s的移动速度、50mm～200mm的行程往复移动。对于动力单元60，能够列举出例如马达等，采用公知的单元即可。只要利用所述动力单元调整移动速度、行程即可。

此外，优选被镀物10配置于在桨叶50的静止状态下比桨叶50的端部(上部50u、右部50r、左部50l、下部50b)靠内侧的位置。根据以上结构，能够更加均匀地搅拌被镀物10的各角落处的被镀物附近的表面处理液20。更优选的是，配置于动作状态下的桨叶50的端部(上部50u、右部50r、左部50l、下部50b)的内侧。

本发明的一实施方式的表面处理装置100能够应用于电解镀、化学镀等，特别是优选应用于导通孔填充及/或穿通孔填充。这是因为，在导通孔填充、穿通孔填充用镀敷中，如上述那样高效地搅拌会使光亮剂(日文：ブライトナー)、匀染剂(日文：レベラー)等添加剂高效地发挥作用，使填充性能提高。

此外，本发明的一实施方式的表面处理装置100也能够应用于镀敷前处理、后处理。特别是适合用于要求高效搅拌液体的情况。因此，本发明的一实施方式的表面处理装置100能够通过如上述那样高效地搅拌来使镀液、镀敷前后处理液等表面处理液所含有的添加剂的效果更高效地发挥出来。

另外，对于被镀物10，能够列举出打印基板等板状的被镀物、具有凹凸的被装饰物等。另外，本发明的一实施方式的表面处理装置100对于在被镀物10设有穿通孔、导通孔等孔的情况、特别是深宽比较高的情况、具有凹凸的情况是有效的。

根据以上说明，根据本发明的一实施方式的表面处理装置100，能够均匀地搅拌被镀物10附近的表面处理液20。并且，均匀地搅拌会使被镀物表面的离子交换均等，从而能够使镀敷厚度均匀。并且，能够提供一种强度得到提高的表面处理装置。

[2.桨叶]

接着，对本发明的一实施方式的表面处理装置100所使用的桨叶50进行说明。本发明的一实施方式的桨叶50是相对于被镀物10往复移动且用于搅拌上述被镀物10附近的表面处理液的板状的桨叶。如图3所示，其中，沿着一方向设置的多个方杆以恒定间隔一体地形成于上述桨叶50，上述方杆在该方杆的厚度方向的截面中设有曲面。

采用上述的本发明的一实施方式的桨叶50的构造，能够均匀地搅拌表面处理液，除此之外，还具有这样的特征：在镀敷时不产生遮蔽效果。有的桨叶形状会产生遮蔽效果，因此采用本发明的一实施方式的表面处理装置100所使用的桨叶50的形状较好。

另外，图4表示桨叶50的a－a’线剖视图。如图4所示，方杆51、52、53、54(54之后的附图标记省略)在该方杆的厚度方向的截面(a－a’线截面)中面对上述被镀物10地设有曲面。优选该曲面以相对于上述被镀物10而言朝左和朝右交替的方式设置。即，如图4所示，具有朝左的曲面的方杆51和具有朝右的曲面的方杆52交替设置，相邻的方杆51、52、53、54的截面形状彼此左右对称。由此，在使桨叶往复移动时，对于x轴方向上的左右任一移动方向，都能够获取表面处理液，能够更加均匀地搅拌。

接着，利用将图4中的50a所示的部分放大了的图5更详细地说明上述桨叶50。沿着上述表面处理液的深度方向设置的多个方杆沿着上述被镀物10以恒定间隔一体地形成于上述桨叶50(50a)。优选上述方杆51、52、53、54是5mm～10mm见方。如果用图5中的符号表示，则四边形的4边中没有形成曲面的边a＝5mm～10mm、b＝5mm～10mm。根据以上结构，成为最适合搅拌表面处理液的尺寸，能够更加均匀地搅拌表面处理液，从而能够使镀敷厚度均匀，并且使强度进一步提高。而且，桨叶的强度也得到提高。另外，优选c＝2mm～5mm、d＝2mm～5mm。

在上述方杆51、52、53、54的边a及/或b小于5mm时，方杆变小，因此会存在搅拌力降低的情况。另一方面，在大于10mm时，搅拌力提高，但可能会加重装置的重量。

另外，优选上述方杆的上述间隔形成为10mm～30mm。如果用图5中的符号表示，则e＝10mm～30mm、f＝10mm～30mm。根据以上结构，桨叶50不会相对于阳极80而言遮蔽掉被镀物10，能够确保自阳极80向被镀物10的通电，并且能够均匀地搅拌表面处理液，使镀敷厚度更加均匀。如果上述间隔小于10mm，则在镀敷时会产生相对于阳极80而言的遮蔽效果，无法确保自阳极80向被镀物10的通电，还存在难以使镀敷厚度均匀的情况。另一方面，如果大于30mm，则设于桨叶50的上述方杆的根数自身减少，因此也存在难以高效地搅拌被镀物10附近的表面处理液的情况。

优选上述曲面的r为3mm～10mm。如果用图5中的符号表示，则h＝3mm～10mm。根据以上结构，成为最合适的桨叶的曲面，能够进一步高效地获取表面处理液，进行更均匀地搅拌，从而能够使镀敷厚度均匀，并且使桨叶50的强度进一步提高。如果上述曲面的r小于3mm，则曲面的面积减小，而存在无法更加高效地获取表面处理液的情况。另一方面，如果大于10mm，则会存在桨叶50的强度降低的情况。

方杆以恒定间隔一体地形成于本发明的一实施方式的表面处理装置100所使用的桨叶50，该方杆设有曲面。即，桨叶50(50a)的截面形状为图5所示的方杆51～54。在此，也可以考虑搅拌表面处理液的形状不是图5所示的截面形状，而是例如梯形·菱形、三角形、月牙形、单是l字、t字等以往技术所示的形状，但梯形·菱形、三角形都难以高效地获取表面处理液，而难以有效地进行搅拌。另外，月牙形在强度方面存在隐患。因此，为图5所示的截面形状的桨叶能够最有效地搅拌表面处理液，并且能够提高桨叶50、进而装置100的强度。

另外，优选上述桨叶50(50a)与上述被镀物10之间的距离为10mm～30mm。如果用图5中的符号表示，则g＝10mm～30mm。如果上述距离小于10mm，则桨叶与被镀物接触的可能性变高。如果大于30mm，则被镀物10与桨叶50之间的距离增大，因此会存在搅拌力降低的情况。

此外，对于上述桨叶50的曲面的参数的追加例，也可以如图6所示那样为a、b＝5～10、h＝1～15、j＝－15～15、k＝－15～15(其中，j·k在方杆55的外侧为+，在内侧为－)。例如图6的(a)所示的方杆55的曲面的参数为a＝6、b＝8、h＝8、j＝3、k＝2。另外，例如图6的(b)所示的方杆56的曲面的参数为a＝10、b＝10、h＝15、j＝－15、k＝5。另外，为了方便起见，上述曲面以正圆示出，但也可以如图6的(c)所示那样设于方杆57、57’的曲面为椭圆、抛物线。只要像这样具有曲面即可。

根据以上说明，采用本发明的一实施方式的桨叶50，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀并且能够提高强度的桨叶。

对于本发明的一实施方式的桨叶50的其他实施方式，除图3所示的格子状之外，也可以为图7所示的形状。图7所示的桨叶150为板状，其中，在左右方向及上下方向的列设有多个贯通孔，在设有上述贯通孔的区域以外的区域设有球状的多个锪孔(凹部)。另外，上述锪孔也可以设于与上述贯通孔相邻的位置及/或上述贯通孔彼此相对的对角位置。

图8的(a)表示图7中的a－a’线剖视图，图8的(b)表示b－b’线剖视图，图8的(c)表示c－c’线剖视图，图8的(d)表示d－d’线剖视图。可以如图8的(a)及图8的(c)所示那样在沿着左右方向及上下方向设有贯通孔的列设置多个锪孔。并且，也可以如图8的(b)及图8的(d)所示那样在沿着左右方向及上下方向没有设置贯通孔的列也追加设置多个锪孔。如上述那样在左右方向及上下方向的一直线上设有锪孔能够更均匀地搅拌，并且锪孔加工也较容易。另外，对于锪孔，在通过截面进行观察时可以不是正圆而是椭圆等，只要具有曲面即可。

也可以是，上述贯通孔为四边形、圆形。优选上述贯通孔的大小为10mm～30mm。也可以是，上述锪孔的深度为3mm～8mm且r＝3mm～8mm。优选上述桨叶的板的厚度为5mm～10mm。

通过这样，图7中的z方向上的搅拌也能够有效地进行。在该情况下，在由于空间较窄而无法沿着表面处理槽的长度或宽度方向往复运动的情况下特别有效。

另外，也可以如图9所示那样贯通孔呈交错状设于桨叶200。根据以上结构，z方向上的搅拌也能够有效地进行，而且，呈交错状设置贯通孔与不呈交错状设置时相比横框部分难以始终遮蔽阳极，因此能够使镀敷厚度更加均匀。另外，优选的贯通孔的形状、大小、锪孔的深度如上述那样。

[3.表面处理方法]

接着，对本发明的一实施方式的表面处理方法进行说明。本发明的一实施方式的表面处理方法使用至少一个的板状的桨叶，该桨叶相对于被镀物往复移动，并用于搅拌所述被镀物附近的表面处理液。

并且，其中，沿着上述表面处理液的深度方向设置的多个方杆沿着上述被镀物以恒定间隔一体地形成于上述桨叶，上述方杆在该方杆的厚度方向的截面中面对上述被镀物地设有曲面。

本发明的一实施方式的表面处理方法所使用的桨叶50的特征如上述那样。另外，也可以使用图7、图9所示的桨叶150、200。本发明的一实施方式的表面处理方法能够应用于镀敷(电解镀、化学镀)、镀敷前处理、后处理中的需要搅拌的情况。另外，能够应用的或者优选的被镀物如上述那样。

在本发明的一实施方式的表面处理方法中，除了基于桨叶进行的搅拌之外，也可以与基于鼓泡进行的搅拌相组合。根据以上结构，表面处理液中需要氧，适合想增加溶解氧的情况。

采用本发明的一实施方式的表面处理方法，能够提供一种通过均匀地搅拌被镀物附近的表面处理液来使镀敷厚度均匀且使桨叶的强度提高并能够长时间搅拌的表面处理方法。

另外，如上述那样详细地说明了本发明的各实施方式，但能够进行实质上不脱离本发明的技术方案及效果的多种变形，这对于本领域技术人员而言，应该能够很容易地理解。因而，这样的变形例全都包含在本发明的范围内。

例如，在说明书或附图中，至少一次与相对广义或同义的不同用语一起记载的用语在说明书或附图中的任意部位都能替换成其不同的用语。另外，表面处理装置、表面处理方法及桨叶的构成、动作也不限定于本发明的各实施方式所说明的那样，能够实施各种变形。