专利名称：一种油扩散真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种油扩散真空泵，具体涉及一种采用双油室结构的油扩散真空泵。
背景技术：
油扩散真空泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的。扩散真空泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6pa，广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。现有的油扩散真空泵由于在泵体底部设置一个油室，扩散泵油直接加入油室，为了保证泵的相对正常稳定工作，泵内须加入足够多的扩散泵油，额定油的用量就很大，由于油的量大，必然带来以下问题1.扩散泵油需要加热到油的额定工作点才能正常工作，所需加热时间较长，通常为20min以上，使得启动速度慢，影响了工作效率；3.对油进行加热的加热器所需的功率也较大；4.油的氧化概率较高，使整台泵的整备周期较短。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种油扩散真空泵，解决了现有技术中，由于额定油的用量大带来的启动速度慢、加热器功率大、整备周期短的缺陷。
本实用新型所采用的技术方案是，油扩散真空泵，包括泵体、泵体内设置的油室、加热器和泵芯，油室通过各级导油管与各级喷咀连接，泵芯设置于油室油面的上部，还包括副油室，副油室通过连通器与油室连接，泵体的内壁设置有导入副油室的导流面。
本实用新型的特点还在于，副油室与油室之间设置有隔热层。
本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果1.由于采用双油室结构，主副油室分离，使得额定油的用量大大减少。用抽速为300L/S的扩散泵来说(口径为100mm)，现有技术泵的加油量为100～120ml，而本实用新型扩散泵的注油量仅为40ml。
2.由于加热器仅需对主油室的一小部分扩散泵油进行加热，因此缩短了加热时间，提高了启动速度。现有技术扩散泵油加热到额定工作点时间为20min以上，而本实用新型的扩散真空泵大大缩短了这一时间，使泵的启动时间仅为3min。
3.由于加热器仅需对主油室的一小部分扩散泵油进行加热，因此所需功率减小，节约能源。用抽速为300L/S的扩散泵来说(口径为100mm)，现有技术扩散泵的加热器功率一般为300W，而本实用新型扩散真空泵仅为80W(同抽速)。
4.采用主副油室分离，有效保护了扩散泵油，使油的氧化概率大幅度降低，使整备周期由三个月延长到六个月。
5.将泵芯设置在油位以上的位置，保证了冷却后的油能顺利回到副油室进行循环，减少了油扩散泵的级数，使两级泵达到了三级泵的效果。
图1是现有技术扩散泵的结构示意图；图2是本实用新型提供的一种实施例结构示意图，其中，a是主视图，b是a的A-A向视图；图3是本实用新型扩散真空泵的真空度曲线。
图中，1.泵口，2.喷咀，3.导油管，4.水管，5.加热器，6.泵体，7.泵芯，8.油室，9.前级管，10.前级泵，11.隔热层，12.副油室，13.连通器，14.导流面。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。
从图1中可以看出，现有技术的油扩散泵包括泵口1和泵体6，泵体6内底部设置油室8、加热器5和泵芯7，泵芯7部分浸在扩散泵油里，油室8通过各级导油管3与各级喷咀2连接，泵体6的内壁还环绕设置水管4来达到冷却的目的，泵体6还通过前级管9与前级泵10连通。
本实用新型的油扩散真空泵，如图2所示，其特点是，将泵芯7设置于油室8油面的上部，不让其与扩散泵油接触，将油室8作为主油室，再设置一副油室12，副油室12与油室8通过连通器13相连通，副油室12与油室8之间还可设置隔热层11，泵体6的内壁设置导流面14，以使内壁上冷凝的油流入副油室12。
油扩散真空泵是利用高速滚动的蒸气流，将被抽容器中的空气带走而获得真空的装置。工作过程是油蒸发—喷射—凝结，重复循环。由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300～500)，故能有效地带走被抽容器中的气体分子。
本实用新型的工作过程如下将泵口1连通要获得高真空的容器，油室8内装一小部分扩散泵油，下面由加热器5进行加热，当达到油工作温度后形成油蒸汽，油蒸汽沿导油管3高速向上运动，并从喷咀2以超音速喷射到泵体6的内壁上，由于喷射的油蒸汽速度很快，压力及密度逐渐降低，被抽容器中的气体分子从泵口1进入形成向下喷射的气流，导致这些气体分子流散到油蒸汽中被携带到泵的出口，最终通过前级管9被前级泵10抽除，而喷射到泵体6内壁上的油蒸汽经冷却系统冷凝成油滴，沿内壁上设置的导流板14流回到副油室12中，被冷却的扩散泵油在副油室12中被预热，等待随时补充到油室8中投入新一轮的工作。经如此不断的循环，使被抽容器形成高真空。
本实用新型采用将泵芯7设置在油位以上，不让其浸在扩散泵油里，这样的结构不仅减少了因泵芯造成的热量损失，使启动速度加快，而且减少了油的氧化，整备周期得到加长；将原油室8作为主油室，采用主、副油室分离，只在主油室8中加入一部分油，因为需加热的扩散泵油较少，使其达到正常工作的温度的时间就较短，同时设计的导流面14，保证冷却后的油能顺利回到副油室12进行循环。另外，进入主油室8的扩散泵油在副油室12中已经进行了预热，这样提高了工作的效率，参见图3所示的油扩散真空泵真空度曲线。
以下是根据实施例制备得到的油扩散真空泵，技术参数如下极限真空5×10-5Pa，抽气速率168L/sec，加油量100ml，加热功率80W。经测试，其抽气速率是同等扩散泵的1/6；启动速度比同类扩散泵提高10～15分钟；该泵在热态下，20分钟可达到4×10-4Pa。
本实用新型油扩散泵的可靠性高，运行成本低，适应各种行业高真空的需要，对被抽气体无选择，结构简单、无机械运动部件、无噪声、便于操作和维护。
权利要求1.一种油扩散真空泵，包括泵体(6)、泵体(6)内设置的油室(8)、加热器(5)和泵芯(7)，油室(8)通过各级导油管(3)与各级喷咀(2)连接，其特征在于，所述泵芯(7)设置于油室(8)油面的上部，还包括副油室(12)，副油室(12)通过连通器(13)与油室(8)连接，泵体(6)的内壁设置有导入副油室(12)的导流面(14)。
2.按照权利要求1所述的油扩散真空泵，其特征在于，所述副油室(12)与油室(8)之间设置有隔热层(11)。
专利摘要本实用新型公开的油扩散真空泵，包括泵体、泵体内设置的油室、加热器和泵芯，油室通过各级导油管与各级喷嘴连接，泵芯设置于油室油面的上部，还包括副油室，副油室通过连通器与油室连接，泵体的内壁设置有导入副油室的导流面。本实用新型采用双油室即主副油室分离及高位泵芯的结构，使扩散泵的额定油量减少，启动速度大幅度加快，整备周期加长，特别是加热器功率仅为同抽速常规油扩散泵的六分之一。
文档编号F04F9/00GK2918822SQ20062007938
公开日2007年7月4日 申请日期2006年7月14日 优先权日2006年7月14日
发明者闫天佑 申请人:宝鸡市建昌工贸有限责任公司