一种真空管道过滤器的制造方法
【专利摘要】一种真空管道过滤器，包括环状的底座和过滤网，所述过滤网安装于所述底座上，所述过滤网凸出于所述底座呈立体结构，且所述立体结构在所述底座上的正投影位于所述底座内部；所述过滤网为不锈钢致密过滤网，其网目范围为200-400目，内部由安装于所述底座上的支架支撑定型。本实用新型能有效去除气体中存在的固体杂质包括块状和粉尘状杂质，并让杂质堆砌在底座上，既能防止杂质进入真空泵内又能防止进气口被堵塞，有利于改善真空泵内的气体质量提高真空度，提高真空泵的性能，降低其能耗和维护成本，延长其使用寿命。
【专利说明】一种真空管道过滤器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及管道过滤器【技术领域】，具体涉及一种真空管道过滤器。
【背景技术】
[0002]在太阳能电池片生产工艺中，镀减反射膜这道工序对所使用的设备如真空泵的真空度要求极高，真空管道过滤器是镀减反射膜这道工序中对真空泵起防护作用的的实用性装置，用于防止过程产物进入真空泵内。
[0003]现有的真空管道过滤器结构如图1所示，整体呈平面结构，包括环形底座1，套于环形底座外围的密封圈3和张于环形底座内环孔中的过滤网1，该真空管道过滤器放置于真空泵与管道的连接处，通过铁丝网格过滤网I阻挡块状过程产物进入真空泵内。
[0004]上述真空管道过滤器具有如下缺点:1)由于整个过滤器为平面结构，当有块状的氧化硅和氮化硅被阻挡滞留在过滤网上后，会影响真空泵的抽速；
[0005]2)上述过滤网的网格间距大，无法阻挡氮化硅和氧化硅粉尘进入真空泵，氮化硅和氧化硅粉尘长期积累会使真空泵卡死。
实用新型内容
[0006]本实用新型的发明目的是提供一种立体结构的真空管道过滤器，使用该过滤器不易出现因块状氧化硅和氮化硅在过滤网上滞留影响真空泵抽速的问题。
[0007]本实用新型的发明目的通过如下技术方案实现:一种真空管道过滤器，包括环状的底座和过滤网，所述过滤网安装于所述底座上，其特征在于，所述过滤网凸出于所述底座呈立体结构，且所述立体结构在所述底座上的正投影位于所述底座内部。
[0008]由于本实用新型采用了立体结构的过滤网，一方面，立体结构过滤网的侧壁由于不直接与流动空气中的块状氧化硅和氮化硅相迎，不易出现块状氧化硅和氮化硅在过滤网上滞留的问题，另一方面，立体结构的过滤网大大增大了过滤器的进气口面积，所以采用本实用新型的过滤器不会影响到真空泵的抽速。
[0009]作为本实用新型的一种改进:所述过滤网为不锈钢致密过滤网，其网目范围为200-400目，内部由安装于所述底座上的支架支撑定型。不锈钢致密过滤网设计，使本实用新型的真空管道过滤器能有效的阻挡氮化硅和氧化硅粉尘进入真空泵，使真空泵不会出现因粉尘长期积累卡死的问题。
[0010]作为本实用新型的推荐实施方式:所述过滤网在所述底座上的正投影距离所述底座的外边缘的距离范围为15?25mm。
[0011]所述过滤网呈圆柱形或圆锥形或圆台形或横截面为方形或菱形或正多边形等其它形状的柱形，这些结构的过滤网特别是柱形结构的过滤网，使块状过程产物氮化硅和氧化硅在过滤时都堆积在过滤网的底座上，所遮挡的进气口面积很小，不影响泵的抽速。
[0012]围绕所述底座的外环壁设有一环形槽，所述真空管道过滤器还包括密封圈，所述密封圈套于所述底座外环壁上的所述环形槽中。
[0013]相对现有技术，本实用新型具有如下有益效果:本实用新型结构设计新颖，能有效去除气体中存在的固体杂质包括块状和粉尘状杂质，并让杂质堆砌在底座上，既能防止杂质进入真空栗内又能防止进气口被堵塞，有利于改善真空栗内的气体质量提闻真空度，提高真空泵的性能，降低其能耗和维护成本，延长其使用寿命；本实用新型还具有易拆装清理,可重复多次使用的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明:
[0015]图1是现有技术中真空管道过滤器整体结构示意图；
[0016]图2是本实用新型较佳实施例的整体结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]如图2所示，本实用新型的真空管道过滤器包括环状的底座1、过滤网2和密封圈3。过滤网2安装于底座I上，过滤网2凸出于底座I呈立体结构。
[0018]围绕底座I的外环壁设有一环形槽，密封圈3套于底座I外环壁上的环形槽中。本实用新型的真空管道过滤器在安装上同于现有的真空管道过滤器，皆安装在真空泵与管道的连接处,立体结构的过滤网2则伸入管道内部。立体结构过滤网2在底座I上的正投影位于底座I内部，以便与管道内壁之间保持间隙，增大过滤器的进气口面积。过滤网2在底座I上的正投影距离底座I的外边缘的距离范围推荐在15?25mm。
[0019]本实用新型的过滤网2为不锈钢致密过滤网，其网目范围为200-400目，内部由安装于底座I上的支架支撑定型。本实用新型中的过滤网I滤孔远小于现有技术中的过滤网，可以有效的阻挡氮化硅和氧化硅粉尘进入真空泵，使真空泵不会出现因粉尘长期积累卡死的问题，同时，又由于本实用新型立体结构的过滤网大大增大了过滤器的进气口面积，使真空泵抽速不受过滤网I限制。
[0020]本实施例中的过滤网I呈圆柱形，如图2所示，圆柱高度为250mm，直径为70mm。该结构的过滤网I使块状过程产物氮化硅和氧化硅在过滤过程中堆积在过滤网的底部，所遮挡的进气口面积很小，不影响泵的抽速。显然，本实用新型的中的过滤网也可以为圆锥形或圆台形或横截面为方形或菱形或正多边形等其它形状的柱形。本实用新型的上述实施例，不应成为本实用新型【具体实施方式】的限制，凡依本实用新型专利保护范围和说明书内容所作简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种真空管道过滤器，包括环状的底座和过滤网，所述过滤网安装于所述底座上，其特征在于，所述过滤网凸出于所述底座呈立体结构，且所述立体结构在所述底座上的正投影位于所述底座内部。
2.根据权利要求1所述的真空管道过滤器，其特征在于，所述过滤网为不锈钢致密过滤网，其网目范围为200-400目，内部由安装于所述底座上的支架支撑定型。
3.根据权利要求2所述的真空管道过滤器，其特征在于，所述过滤网在所述底座上的正投影距离所述底座的外边缘的距离范围为15?25mm。
4.根据权利要求3所述的真空管道过滤器，其特征在于，所述过滤网呈圆柱形或圆锥形或圆台形或横截面为方形或菱形或正多边形的柱形。
5.根据权利要求4所述的真空管道过滤器，其特征在于，围绕所述底座的外环壁设有一环形槽，所述真空管道过滤器还包括密封圈，所述密封圈套于所述底座外环壁上的所述环形槽中。
【文档编号】F04B39/16GK204163961SQ201420493326
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年8月29日 优先权日:2014年8月29日
【发明者】姜文明, 王利国, 刘屹, 谢俊伟, 王永亮 申请人:晶澳（扬州）太阳能科技有限公司