1.一种吸气剂泵，包括壳体(21、21’；311；411)，所述壳体(21、21’；311；411)的形状为具有旋转轴(26；46)的旋转体，并且包括安装在所述吸气剂泵壳体(21、21’；311；411)内的多个吸气剂筒(10、100；22、23、24、25；314、315；42、43)，每个筒(10、100；22、23、24、25；314、315；42、43)包括线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)和安装在所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)上的间隔开的吸气剂元件(12、12’、…、12n)，正交于所述旋转轴(26；46)并且与线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)的中点相交的平面被定义为吸气剂筒的定位平面(222、232、242、252；422、432)，所述吸气剂泵的特征在于，由所述定位平面(222、232、242、252；422、432)相对于所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)形成的角(α、α’、α”、α”’；β、β’)为35°至75°，优选地40°至70°。
2.根据权利要求1所述的吸气剂泵，其中，由所述定位平面(222、232、242、252；422、432)相对于所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)形成的所述角(α、α’、α”、α”’；β、β’)中的至少之一不同于所述角(α、α’、α”、α”’；β、β’)中的其它角中的一者或更多者。
3.根据权利要求1或2所述的吸气剂泵，其中，所述旋转体为截头圆锥。
4.根据权利要求3所述的吸气剂泵，其中，所述吸气剂筒(42、43)的所述线形中心支承件(421、431)平行于所述截头圆锥壳体(411)的壁(41、41’)。
5.根据前述权利要求中的任一项所述的吸气剂泵，其中，每个筒(10、100；22、23、24、25；314、315；42、43)的所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)的至少第一端接触所述壳体(21、21’；311；411)。
6.根据权利要求5所述的吸气剂泵，其中，至少一个筒(10、100；22、23、24、25；314、315)的所述线形中心支承件(11；221、231、241、251)的第二端接触内支承元件(27)。
7.根据权利要求1至3中的任一项所述的吸气剂泵，其中，每个筒(314、315)的第一端连接至内支承元件(27)，第二端连接至外支承元件(316)。
8.根据权利要求6或7所述的吸气剂泵，其中，所述内支承元件(27)与所述旋转轴(26)同轴。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的吸气剂泵，其中，所述间隔开的吸气剂元件(12、12’、…、12n)由包含至少30％的钛、锆、钇中的一者或更多者的金属或合金制成。
10.根据前述权利要求中的任一项所述的吸气剂泵，其中，所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)的长度为4cm至30cm，所述线形中心支承件(11；221、231、241、251；421、431)优选地每厘米承载2至7个吸气剂元件(12、12’、…、12n)。
11.根据前述权利要求中的任一项所述的吸气剂泵，其中，所述壳体(311)在一个端部处被基部封闭，在相反的端部处被真空法兰封闭。
12.根据权利要求1至10中的任一项所述的吸气剂泵，其中，所述壳体(21、21’；411)是端部开放式的。
13.根据前述权利要求中的任一项所述的吸气剂泵，其中，吸气剂筒(10、100；22、23、24、25；314、315；42、43)的数目为2至100个，优选地4至25个。
14.根据权利要求1所述的吸气剂泵在包括不同类型的真空泵的泵吸系统中的用途。
15.根据权利要求1所述的吸气剂泵在根据权利要求14所述的系统中的用途，其中，所述真空泵包括选自以下的真空泵：溅射离子泵、涡轮分子泵、低温泵、NEG泵。