扩散泵的制作方法

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种扩散泵。

背景技术：

扩散泵是目前获得高真空的最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵，扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)时产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出，由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁，经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。扩散泵在使用过程中，加热和冷却是形成高速蒸汽射流与油液体之间循环的动力，热源不足会形成高速蒸汽射流不够影响抽气效率，而冷却不够也会对蒸汽产生冷凝不及时，影响油蒸汽与气体分离，同样影响真空度。在很多场合中，采用电风扇直接风吹真空油扩散泵的弯头部位，来改善扩散泵局部位置的冷却，提高抽气效率，采用电风扇直接吹冷的制冷效果不是很理想，会直接影响蒸汽与气体的分离，影响真空度。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型提供了一种扩散泵，有效的解决了因为冷却不到位而导致的蒸汽与气体的分离不充分，真空度差的问题。

本实用新型提供了一种扩散泵，包括泵体，所述泵体外设有冷水套，所述泵体底部设有盛放油的油腔，所述油腔的底部设有加热装置，所述加热装置上方设有泵芯，所述泵芯上设有喷嘴，所述喷嘴包括一级喷嘴、二级喷嘴、三级喷嘴、四级喷嘴；所述泵体的上端设有进气口；所述泵体下端的一侧设有挡油弯头，所述挡油弯头与管道联通，所述管道的末端设有出气口，所述管道内设有挡雾器；所述挡油弯头的内部设有冷却装置，所述冷却装置包括压缩机，所述压缩机分别与冷凝器、蒸发器连接，所述冷凝器与第一阀、膨胀元件、蒸发器依次连接，所述蒸发器上设有第二阀；所述压缩机与控制单元连接，所述控制单元与第一阀连接，所述第一阀与附加膨胀元件、蒸发器依次连接。

所述泵体为圆柱形。

所述加热装置为内加热丝，所述内加热丝为9组，其中6组为常用加热丝，另外3组为备用加热丝。每组加热丝整体为扇形结构，加热丝沿圆周方向排列，每组加热丝排列一致。

所述加热装置的下端的中心设置有测温探头。

所述泵体下端的一侧设有油位观察窗。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本实用新型提供了一种扩散泵，扩散泵的挡油弯头内设有冷却装置，冷却装置设置有蒸发器，蒸发器用来在下一个压缩机工作期间开始时再填充制冷剂，使制冷得效果达到理想的状态，保证蒸汽与气体的分离充分，形成良好的真空度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中冷却装置的结构示意图；

附图标记：

1、泵体 2、一级喷嘴 3、二级喷嘴 4、三级喷嘴 5、四级喷嘴

6、油腔 7、加热装置 8、油位观察窗 9、挡油弯头 10、冷却装置

11、出气口 12、挡雾器 13、进气口 14、泵芯 15、压缩机

16、冷凝器 17、第一阀 18、膨胀元件 19、蒸发器 20、第二阀

21、附加膨胀元件 22、控制单元 23、冷水套。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当说明的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

如图1、图2所示，本实用新型提供了一种扩散泵，包括泵体1，所述泵体1外部设有冷水套23，所述泵体1底部设有盛放油的油腔6，所述油腔6的底部设有加热装置7，所述加热装置7上方设有泵芯14，所述泵芯14上设有喷嘴，所述喷嘴包括一级喷嘴2、二级喷嘴3、三级喷嘴4、四级喷嘴5；所述泵体1的上端设有进气口13；所述泵体1下端的一侧设有挡油弯头9，所述挡油弯头9与管道联通，所述管道的末端设有出气口11，所述管道内设有挡雾器12；所述挡油弯头9的内部设有冷却装置10。使用扩散泵的时候，泵体1内的油通过加热装置7加热形成油蒸汽，油蒸汽沿着泵芯14上升，进入到各个喷嘴，当油蒸汽从一级喷嘴2喷出蒸汽射流，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，这时泵体1内的气体因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到泵体1的内壁上，因为冷却水套23的设置，在该处工作蒸汽大部分沿内壁流回到油腔6中循环使用，而被抽气体在泵体1内壁堆积压缩，最后被二级喷嘴3、三级喷嘴4和四级喷嘴5的下级射流带走，达到逐级压缩，在挡油弯头9处设置有冷却装置10，使油实现气、液分离，在管道中设置的挡雾器12进一步的对油气、液进行分离，最后被前级泵抽走压缩气体。

所述冷却装置10包括压缩机15，所述压缩机15分别与冷凝器16、蒸发器19连接，所述冷凝器16与第一阀17、膨胀元件18、蒸发器19通过管路依次连接，所述蒸发器19上设有第二阀20；所述压缩机15与控制单元22连接，所述控制单元22与第一阀17连接，所述第一阀17与附加膨胀元件21、蒸发器19通过管路依次连接。在压缩机15的工作期间，控制单元22控制第一阀17开启，从而允许制冷剂到达膨胀元件18但不能到达附加膨胀元件21，在这种情况下第二阀20处于打开的位置，通过从管路流出而到达冷凝器16的制冷剂，从冷凝器16经过第一阀17、膨胀元件18而流至蒸发器19，通过第二阀20从管路再次到达压缩机15；当压缩机15停止时，控制单元22控制第一阀17关闭，从而允许制冷剂到达附加膨胀元件21但不能到达膨胀元件18，同时，第二阀关闭20，在这种情况下，因制冷剂迁移效应而易于从冷凝器16流至蒸发器19的制冷剂经过附加膨胀元件21到达蒸发器19，蒸发器19位于第二阀20和压缩机15之间的管道被充以制冷剂直至管路的输入、输出之间的达到压力的平衡，当压缩机15的管路之间达到压力平衡时，制冷剂迁移的效应完全结束；随着压缩机15工作的开始，第一阀17、第二阀20改变它们的初始位置，将离开冷凝器16的制冷剂引向膨胀元件18，开始另一个工作循环。

所述泵体1为圆柱形。

所述加热装置7为内加热丝，所述内加热丝为9组，其中6组为常用加热丝，另外3组为备用加热丝，每组加热丝整体为扇形结构，加热丝沿圆周方向排列，每组加热丝排列一致。

所述加热装置7的下端的中心设置有测温探头。

所述泵体1下端的一侧设有油位观察窗8。

本实用新型提供了一种扩散泵，扩散泵的挡油弯头内设有冷却装置，冷却装置设置有蒸发器，在冷却装置中，不完全的组织制冷剂的迁移，代替的是，将其引向蒸发器的一部分，通过降低制冷剂迁移在压缩机停用期间时出现的热效应而使制冷的效果更加明显，从而保证蒸汽与气体的分离充分，形成良好的真空度。

以上结合附图详细描述了本实用新型的优选方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型多各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本实用新型的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本实用新型的思想，其同样应当视为本实用新型所公开的内容。