平衡缸及使用了平衡缸的工件搬送装置的制作方法

本发明涉及一种使用于工件的搬送作业等的平衡缸及使用了平衡缸的工件搬送装置。

背景技术：

以往，在汽车等的制造工厂中，为了将具有重量的工件向所希望的作业场所搬送，广泛利用具有抵消工件重量的平衡功能及作为卷扬机的升降功能的平衡缸(参照日本特开2009-62186号公报和日本特开2006-297504号公报)。作为平衡缸的驱动方式，有电动式、压缩空气式、真空泵式、液压式等，在具有爆炸或引火的危险性的作业环境中使用压缩空气式。例如，压缩空气式的平衡缸以轴向沿着铅垂方向的方式安装于工件搬送装置，操作员操作控制器来控制压缩空气向缸筒内的供排。由此，通过由压缩空气的供给而产生的铅垂上方向的力，能够抵消或减轻平衡缸的自重及工件的重量的合计的铅垂下方向的力，因此，操作员能够以微小的力抬起工件而简单地进行搬送。

上述平衡缸例如在活塞杆固定于工件搬送装置、在缸筒侧保持工件的情况下，在压缩空气的供给作用下，缸筒与工件一起沿铅垂方向升降。具体而言，当向缸筒内供给压缩空气时，缸筒上升，当停止压缩空气的供给时，缸筒停止，当从缸筒内排出压缩空气时，缸筒由于平衡缸的自重及工件的重量而下降。但是，在缸筒过度下降的情况下，在下降时的行程终端，活塞与杆罩碰撞，因此，有损伤平衡缸的危险。

技术实现要素：

在此，本发明的目的在于提供一种平衡缸及使用了平衡缸的工件搬送装置，能够在缸筒下降时的行程终端的附近位置可靠地停止，并在该停止位置成为锁定状态。

本发明的平衡缸以轴向沿着铅垂方向的方式安装于具有压力流体供给源的工件搬送装置，该平衡缸具备：缸筒，该缸筒具有被盖罩及杆罩封闭两端的缸室；活塞，该活塞将缸室划分为杆罩侧的第一缸室和盖罩侧的第二缸室；活塞杆，该活塞杆在内部形成有连通压力流体供给源和第一缸室的流路，该活塞杆的一端部与活塞连结，并且在该活塞杆的外周面设有多个卡定槽；移动阀，该移动阀设置为能够沿活塞杆的轴向位移；以及卡定部件，该卡定部件设置于移动阀，并选择性地与卡定槽中的任一个卡合。在缸筒下降时的行程终端的附近位置，在杆罩与移动阀抵接，并且使卡定部件的卡合位置从一个卡定槽向另一个卡定槽移动时，连通压力流体供给源和第一缸室的流路被封闭。

根据本发明的平衡缸，能够在缸筒下降时的行程终端的附近位置可靠地停止动作，在该停止位置成为锁定状态。即，随着缸筒的下降，使移动阀相对于活塞杆的卡合位置变更，并且切断第一缸室和压力流体供给源的连通状态，使第一缸室内成为密闭状态，由此能够在到达行程终端之前停止。因此，能够避免活塞与移动阀碰撞。另外，由于能够在停止位置使活塞杆与缸筒之间成为锁定状态，因此能够得到能够容易地进行平衡缸的维护的效果。

在本发明的平衡缸中，活塞具有：销收容孔，该销收容孔形成为在轴向上贯通活塞；以及解除销，该解除销的一端部面对第一缸室，该解除销的另一端部面对第二缸室，该解除销收容于销收容孔并能够沿轴向位移，杆罩具有连通路，该连通路能够连通第一缸室和压力流体供给源。而且，也可以构成为，随着从连通路向第一缸室供给压力流体，在缸筒上升时的行程终端的附近位置，盖罩经由解除销按压移动阀，使卡定部件的卡合位置从另一卡定槽向一个卡定槽移动。由此，通过从连通路供给压力流体(压缩空气)，能够使卡定部件的卡合位置返回到与通常的使用状态(锁定解除状态)对应的位置而解除流路的封闭状态，因此能够容易地解除活塞杆与缸筒之间的锁定状态。

在本发明的平衡缸中，活塞杆的另一端部也可以固定于构成工件搬送装置的支承机构。由此，活塞杆侧不会在铅垂方向上位移，而缸筒侧在铅垂方向上位移，因此，不需要使构成压力流体供给源的管等追随缸筒的升降动作而移动。即，能够对活塞杆稳定地供排压力流体。另外，在活塞杆与压力流体供给源的连结部分设置于工件搬送装置的上方区域时，能够在在支承机构的下方区域升降的缸筒的周围确保大的作业空间。

本发明的平衡缸也可以在杆罩与移动阀之间具备冲击吸收机构，该冲击吸收机构吸收接触时的冲击。由此，在缸筒下降时的行程终端的附近位置，通过冲击吸收机构吸收与杆罩接触时的冲击，使其缓慢停止，并能够使活塞杆与缸筒之间在该停止位置成为锁定状态。

在本发明的平衡缸中，盖罩也可以具有：通气口，该通气口在盖罩的外周面开口地形成，并将第二缸室与大气连通；以及消音部件，该消音部件安装于通气口，并能够使空气通过。由此，第二缸室内的空气经由消音部件被排出到大气中，因此能够降低排气音。

本发明的工件搬送装置具备：平衡缸；支承机构，该支承机构以轴向沿着铅垂方向的方式支承平衡缸；压力流体供给源，该压力流体供给源向平衡缸供给压力流体；导向件，该导向件引导构成平衡缸的缸筒的沿铅垂方向的动作；以及工件搬送用部件，该工件搬送用部件装卸自如地连结于缸筒。平衡缸具有：缸筒，该缸筒具有被盖罩及杆罩封闭两端的缸室；活塞，该活塞将缸室划分为杆罩侧的第一缸室和盖罩侧的第二缸室；活塞杆，该活塞杆在内部形成有连通压力流体供给源和第一缸室的流路，该活塞杆的一端部与活塞连结，并且在该活塞杆的外周面设有多个卡定槽；移动阀，该移动阀设置为能够沿活塞杆的轴向位移；以及卡定部件，该卡定部件设置于移动阀的内部，并选择性地与卡定槽中的任一个卡合。在缸筒下降时的行程终端的附近位置，在杆罩与移动阀抵接，并使卡定部件的卡合位置从一个卡定槽向另一个卡定槽移动时，连通压力流体供给源和第一缸室的流路被封闭。

根据本发明的工件搬送装置，能够在缸筒下降时的行程终端的附近位置可靠地停止动作，并在该停止位置成为锁定状态。即，随着构成平衡缸的缸筒的下降，使移动阀相对于活塞杆的卡合位置变更，并且切断第一缸室和流路之间的连通状态，使第一缸室内成为密闭状态，由此，能够在到达行程终端之前停止。因此，能够避免活塞与移动阀碰撞。另外，由于能够在停止位置使活塞杆和缸筒之间成为锁定状态，因此能够得到能够容易地进行平衡缸的维护的效果。另外，通过具备沿铅垂方向引导构成平衡缸的缸筒的导向件，能够在缸筒升降时抑制工件搬送用部件及工件的摆动，从而能够确保稳定的动作。进而，由于将工件搬送用部件装卸自如地连结于平衡缸，因此能够与形状和大小不同的工件对应地使用。

根据本发明，能够提供一种能够在缸筒下降时的行程终端的附近位置可靠地停止，并在该停止位置成为锁定状态的平衡缸及使用了平衡缸的工件搬送装置。

根据与附图协同的以下的对优选实施方式例的说明，上述目的、特征以及优点将变得更加清楚。

附图说明

图1是表示安装有第一实施方式的平衡缸的工件搬送装置的外观图。

图2是表示图1所示的平衡缸的通常的使用状态的纵剖视图。

图3是表示在图1所示的平衡缸中，缸筒下降而到达行程终端的附近位置时的平衡缸的锁定状态的纵剖视图。

图4是图1所示的平衡缸的局部省略分解立体图。

图5是图2所示的平衡缸的局部省略放大剖视图。

图6是图3所示的平衡缸的局部省略放大剖视图。

图7是表示图3所示的平衡缸即将解除锁定之前的状态的局部省略放大剖视图。

图8是表示第二实施方式的平衡缸的通常的使用状态的纵剖视图。

图9是图8所示的平衡缸的局部省略分解立体图。

图10是表示在图8所示的平衡缸中，缸筒下降而到达行程终端的附近位置时的平衡缸的锁定状态的局部省略放大剖视图。

具体实施方式

关于本发明所涉及的平衡缸，在与使用该平衡缸的工件搬送装置的关系上列举优选的实施方式，以下，参照附图进行详细说明。

图1是表示安装有第一实施方式的平衡缸10的工件搬送装置100的外观图，图2是表示图1所示的平衡缸10的通常的使用状态的纵剖视图，图3是表示在图1所示的平衡缸10中，缸筒22下降而到达行程终端的附近位置时的平衡缸10的锁定状态的纵剖视图，图4是图1所示的平衡缸10的局部省略分解立体图。

如图1所示，工件搬送装置100具备：平衡缸10、配置在上方的支承机构12、在内侧收容平衡缸10的导向件14、向平衡缸10供给压力流体(压缩空气)的压力流体供给源16以及载置工件w的工作台18。

平衡缸10以轴向沿着铅垂方向(图中箭头a方向、箭头b方向)的方式安装于支承机构12。导向件14具有沿铅垂方向延伸的一对导轨14a、14b和导向部件14c。导轨14a、14b的一端部与支承机构12连结，另一端部插通于导向部件14c。导向部件14c与平衡缸10的杆罩20一体地连结，沿着导轨14a、14b滑动。由此，导向件14引导缸筒22的沿铅垂方向的动作。压力流体供给源16与平衡缸10的活塞杆28连结。工作台18装卸自如地安装于盖罩24，可根据工件w的大小适当选择。

如图2所示，平衡缸10具有杆罩20、缸筒22、盖罩24、活塞26、活塞杆28、移动阀30、解除销32以及例如由烧结体构成的消音部件34a～34c。

缸筒22在内部具有缸室36，该缸室36的两端被杆罩20及盖罩24封闭。活塞26被收容于缸室36，将缸室36划分成第一缸室36a和第二缸室36b这两个室。活塞26具有销收容孔26a和衬垫安装部26b(参照图4)。

销收容孔26a是沿活塞26的轴向延伸且从活塞26的中心轴偏移的贯通孔，将解除销32与环状的销用罩33一起收容。解除销32的一端部面对第一缸室36a，另一端部面对第二缸室36b。销用罩33允许解除销32在轴向位移，但与解除销32一起封闭销收容孔26a。衬垫安装部26b在活塞26的外周面形成为环状槽。在衬垫安装部26b安装有封闭活塞26的外周面与缸筒22的内壁面之间的活塞衬垫27(参照图3)。因此，压力流体不能在第一缸室36a和第二缸室36b之间移动。

活塞杆28的一端部经由活塞螺母29与活塞26连结，另一端部固定于构成工件搬送装置100的支承机构12(参照图1)。在工件搬送装置100的支承机构12与活塞杆28的连结部分连接有压力流体供给源16。另外，在活塞杆28的内部形成有压力流体的流路，该压力流体的流路由第一流路28a和第二流路28b构成，连通压力流体供给源16和第一缸室36a。第一流路28a沿着缸筒22的轴向(铅垂方向)延伸。第二流路28b在活塞26的附近位置连通第一流路28a和第一缸室36a。本实施方式中的第二流路28b从活塞杆28的中心轴指向径向外侧，绕轴以90度间隔形成四条。

在杆罩20形成有杆保持孔20a和从该杆保持孔20a偏移的连通路20b，连通路20b的一端部被塞子20c封闭。杆保持孔20a在杆罩20的中央形成为贯通轴向，将活塞杆28保持成移动自如。连通路20b形成为与杆保持孔20a平行。塞子20c装卸自如地安装于连通路20b的一端部、即大气侧的入口(箭头a方向)。在后述的平衡缸10的锁定解除动作时，能够拆下塞20c，并在连通路20b的一端部连接压力流体供给源16的未图示的管。在杆保持孔20a的第一缸室36a侧的端部安装有封闭活塞杆28与杆罩20的间隙的环状的衬垫20d。

盖罩24具有活塞螺母收容孔24a和三个通气口24b～24d。活塞螺母容纳孔24a与第二缸室36b连通，在缸筒22上升时、即活塞杆28相对收缩时收容活塞螺母29。通气口24b在轴向上开口，通气口24c、24d在径向上开口。通气口24b～24d经由活塞螺母收容孔24a与第二缸室36b连通(参照图3)。

移动阀30形成为圆筒状，与活塞杆28的外周嵌合。移动阀30可相对于活塞杆28沿轴向位移。在移动阀30形成有指向径向的贯通孔即棘轮收容孔30a。棘轮收容孔30a收容后述的定位用棘轮38。在移动阀30的外周与缸筒22的内周之间，设置有压力流体能够自由移动的间隙。

如图4所示，定位用棘轮38具有钢球38a、弹簧38b和塞子38c，定位用棘轮38确定移动阀30相对于活塞杆28的位置。钢球38a以面向活塞杆28的外周面的方式配置。钢球38a落座于弹簧38b的一端部。塞子38c从外侧封闭棘轮收容孔30a，并支承弹簧38b的另一端部。定位用棘轮38通过弹簧38b的弹力对钢球38a朝向活塞杆28的外周面施力。

在刻设于活塞杆28的外周面的环状槽，以在轴向上从两侧夹入第二流路28b的方式嵌合有环状的第一密封部件40a及第二密封部件40b。第一密封部件40a及第二密封部件40b随着缸筒22的下降，在活塞杆28的一部分到达移动阀30的内部的规定的位置将第二流路28b封闭。在该情况下，在活塞杆28的外周面，在比第二流路28b及第一密封部件40a靠近杆罩20的位置形成有作为环状槽的第一卡定槽28c及第二卡定槽28d(参照图4)。因此，通过使定位用棘轮38的钢球38a与第一卡定槽28c或第二卡定槽28d嵌合，从而以规定的保持力将移动阀30保持于活塞杆28。另外，卡定槽的数量也可以是三个以上。即，定位用棘轮38有选择地与多个卡定槽中的任一个卡合。

活塞杆28的外周面上的第一密封部件40a、第二密封部件40b、第二流路28b、第一卡定槽28c及第二卡定槽28d的相对位置关系和移动阀30的轴向的长度被设定为，平衡缸10能够根据定位用棘轮38的卡合位置而切换“通常的使用状态(锁定解除状态)”和“锁定状态”。

消音部件34a～34c安装于盖罩24的通气口24b～24d。如上所述，消音部件34a～34c以烧结金属为材质，且流体(空气)能够通过其内部。通过消音部件34a～34c，能够降低流体的排气音。

接着，在以下，通过与工件搬送装置100的关系对上述那样构成的平衡缸10的动作、作用进行说明。在通常的使用状态下，定位用棘轮38与活塞杆28的第一卡定槽28c卡合，在移动阀30的内周面与活塞杆28的外周面的间隙仅插入有配置在上方侧的第一密封部件40a，活塞杆28的第二流路28b与第一缸室36a连通。

当在活塞杆28的第一流路28a没有供排压力流体时，即，当第一流路28a与外部之间被切断时，活塞杆28处于停止的状态。此时，第一缸室36a内的流体被压缩，并且压力提高了与缸筒22、工作台18及工件w合计的重量相对应的量。

在使缸筒22从停止状态上升时，如图5的一点划线箭头所示，从压力流体供给源16向活塞杆28的第一流路28a供给压力流体。通过了第一流路28a的压力流体在多个第二流路28b分支，从而流入被移动阀30和活塞26夹着的第一缸室36a的下方区域。

流入到下方区域的压力流体通过移动阀30的外周面与缸筒22的内壁面的间隙，流入被移动阀30和杆盖20夹着的第一缸室36a的上方区域。

通过向第一缸室36a供给压力流体，第一缸室36a内的压力上升。因此，在缸筒22产生铅垂向上方向的推力，从而缸筒22上升。此时，经由盖罩24与缸筒22连结的工件w也与上述缸筒22一起上升，例如用于搬送。

另一方面，在使缸筒22从停止状态下降时，使第一缸室36a的压力流体经由第一流路28a、第二流路28b以及未图示的阀向大气中开放。由此，第一缸室36a的压力降低，从而缸筒22因自重而下降。

关于以上的缸筒22的停止、上升及下降的各动作，是通过例如操作员通过目视确认工件w的位置，同时操作未图示的控制器，控制压力流体的供排来执行的。在该情况下，当缸筒22达到期望的高度时，如果操作员停止压力流体的供排，则缸筒22在该位置停止。

接着，对缸筒22过度下降时的平衡缸10的锁定动作进行说明。例如，在将具有重量的工件w载置于工作台18而进行作业时，在操作员过度进行排出压力流体的操作时，缸筒22下降直至移动阀30与杆罩20抵接。通过该抵接，定位用棘轮38的钢球38a被推回而从第一卡定槽28c脱离。其结果是，卡定状态被解除，移动阀30相对于活塞杆28向铅垂下方向位移，钢球38a与第二卡定槽28d嵌合。即，阻止缸筒22进一步下降位移。

图6是图3所示的平衡缸10的局部省略放大剖视图，表示缸筒22下降时的行程终端附近的锁定状态。如图6所示，在锁定状态下，定位用棘轮38卡定于第二卡定槽28d。像这样，随着定位用棘轮38的卡合位置的变更，第一密封部件40a及第二密封部件40b位于移动阀30与活塞杆28的间隙，其结果是，第二流路28b被封闭而处于锁定状态。成为锁定状态的位置由活塞杆28的轴向的第二卡定槽28d、第二流路28b、第一密封部件40a及第二密封部件40b的位置关系决定，活塞26和移动阀30位于分离的位置。像这样，在缸筒22过度下降的情况下，移动阀30与杆罩20碰撞而变更与活塞杆28卡合的卡合位置，并且自动地停止压力流体的排出。即，压力流体从第一缸室36a向第二流路28b的流动被切断，第一缸室36a成为密闭状态，由此，抑制了缸筒22相对于活塞杆28进一步位移。其结果是，由于缸筒22在下降时的行程终端的附近位置、即到达行程终端之前可靠地停止，因此活塞26不会与移动阀30碰撞，从而能够抑制施加过大的载荷。另外，在平衡缸10的锁定动作时，解除销32的另一端部从活塞26的底面向铅垂下方向(箭头b方向)突出，在后述的锁定状态的解除动作时被使用。

最后，对上述那样的锁定状态的解除动作进行说明。为了解除锁定状态，使操作员能够再次进行压力流体的供排操作，首先，将图3所示的塞子20c从杆盖20拆下，使第一缸室36a向大气开放，使缸筒22成为能够上升的状态。

接着，将压力流体供给源16的未图示的管与连通路20b的一端侧、即大气侧的入口(箭头a方向)连接，开始压力流体的供给。由此，经由连通路20b向第一缸室36a供给压力流体，在维持锁定状态下，缸筒22上升。

图7是表示图3所示的平衡缸10即将被解除锁定之前的状态的局部省略放大剖视图。当缸筒22在维持锁定状态下持续上升时，如图7所示，缸筒22到达上升时的行程终端的附近位置。此时，从活塞26的底面突出的解除销32的另一端部与盖罩24抵接。其结果是，盖罩24将解除销32的另一端部向铅垂上方向(箭头a方向)按压。由此，解除销32的一端部从活塞26的上表面向铅垂上方向突出，将移动阀30向杆罩20侧按压。因此，与锁定动作时相反，移动阀30相对于活塞杆28向铅垂上方向位移，构成定位用棘轮38的钢球38a从第二卡定槽28d脱离后，与第一卡定槽28c嵌合。由此，第二流路28b再次与第一缸室36a连通，其结果是，平衡缸10的锁定状态被解除。

像这样，根据本实施方式的平衡缸10，能够在缸筒22下降时的行程终端的附近位置可靠地停止工作，在该停止位置成为锁定状态。即，伴随着缸筒22的下降，使移动阀30相对于活塞杆28的卡合位置变更，并且切断第一缸室36a和第二流路28b的连通状态，使第一缸室36a内成为密闭状态，由此，能够在到达行程终端之前停止。因此，能够避免活塞26与移动阀30碰撞。另外，由于能够在停止位置使活塞杆28与缸筒22之间成为锁定状态，因此能够得到能够容易地进行平衡缸10的维护的效果。

另外，在本实施方式的平衡缸10中，活塞26具有：销收容孔26a，该销收容孔26a形成为沿轴向贯通；以及解除销32，该解除销32的一端部面对第一缸室36a，另一端部面对第二缸室36b，该解除销32以能够沿轴向位移的方式收容于销收容孔26a。另外，杆罩20具有能够连通第一缸室36a和压力流体供给源16的连通路20b。并且，随着从连通路20b向第一缸室36a供给压力流体，在缸筒22上升时的行程终端的附近位置，盖罩24经由解除销32按压移动阀30，使定位用棘轮38(卡定部件)的卡合位置从第二卡定槽28d向第一卡定槽28c移动。即，通过从连通路20b供给压力流体，使定位用棘轮38(卡定部件)的卡合位置返回与通常的使用状态(锁定解除状态)对应的位置(第一卡定槽28c)，能够解除第二流路28b的封闭状态，因此，能够容易地解除活塞杆28与缸筒22之间的锁定状态。

进而，在本实施方式的平衡缸10中，活塞杆28的另一端部固定于构成工件搬送装置100的支承机构12。由此，活塞杆28侧不会在铅垂方向上位移，而缸筒22侧在铅垂方向上位移，因此，不需要使压力流体供给源16的未图示的管追随缸筒22的升降动作而移动。即，能够对活塞杆28稳定地供排压力流体。另外，如图1所示，在活塞杆28与压力流体供给源16的连结部分设置于工件搬送装置100的上方区域时，能够在支承机构12的下方区域升降的缸筒22的周围确保大的作业空间。

进而，本实施方式的平衡缸10的盖罩24具有：通气口24b～24d，该通气口24b～24d在盖罩24的外周面开口地形成，将第二缸室36b与大气连通；以及消音部件34a～34c，该消音部件34a～34c安装于通气口24b～24d，能够使空气通过。由此，第二缸室36b内的空气经由消音部件34a～34c向大气中排出，因此能够降低排气音。

另外，安装有本实施方式的平衡缸10的工件搬送装置100具备沿着铅垂方向引导构成平衡缸10的缸筒22的导向件14。因此，在缸筒22升降时，能够抑制工作台18及工件w的摆动，从而能够确保稳定的动作。进而，由于将工作台18作为工件搬送用部件经由盖罩24装卸自如地连结在平衡缸10的缸筒22，因此，能够与工件w的大小对应地进行选择。另外，在想要悬挂搬送工件w时，也可以代替工作台18而将例如钩状的工件搬送用部件安装于平衡缸10。能够根据工件w的形状和大小进行选择。

接着，对第二实施方式的平衡缸50进行说明。另外，对与上述第一实施方式的平衡缸10相同的构成要素标注相同的参照符号，并省略其详细的说明。

图8是表示第二实施方式的平衡缸50的通常的使用状态的纵剖视图，图9是图8所示的平衡缸50的局部省略分解立体图。如图8和图9所示，本实施方式的平衡缸50与上述第一实施方式的不同点在于，在杆罩20和移动阀30之间具备吸收接触时的冲击的冲击吸收机构42。冲击吸收机构42由作为弹性部件的弹簧42a、支承弹簧42a的一端部的弹簧压板42b、将弹簧压板42b在轴向上定位于规定位置的挡圈42c构成。弹簧42a的一端部落座于弹簧压板42b的凸缘部，弹簧42a的另一端部落座于移动阀30的一面。挡圈42c与刻设于活塞杆28外周面的环状槽嵌合，阻止弹簧压板42b的移动。

下面，对平衡缸50的锁定动作进行说明。图10是表示在图8所示的平衡缸50中，缸筒22下降而到达行程终端的附近位置时的平衡缸50的锁定状态的局部省略放大剖视图。例如，在将具有重量的工件w载置于工作台18进行作业时，操作员进行排出压力流体的操作，在缸筒22过度下降的情况下，冲击吸收机构42的挡圈42c与安装于杆罩20的杆保持孔20a的衬垫20d抵接。当缸筒22进一步下降时，弹簧42a弹性变形而收缩，弹簧压板42b的另一端部落座于移动阀30的一面。通过弹簧42a的弹力，使缸筒22的下降速度减速。

当移动阀30以规定以上的力与冲击吸收机构42抵接时，定位用棘轮38的钢球38a被推回而从第一卡定槽28c脱离，当移动阀30进一步向铅垂下方向移动时，钢球38a与第二卡定槽28d嵌合。此时，第一密封部件40a和第二密封部件40b介于移动阀30的内周面与活塞杆28的外周面之间的间隙，由此，第一缸室36a和第二流路28b的连通被切断，第一缸室36a内成为密闭状态。其结果是，缸筒22在到达下降时的行程终端之前停止，在该停止位置成为锁定状态。

像这样，根据本实施方式的平衡缸50，在缸筒22下降时的行程终端的附近位置，通过冲击吸收机构42吸收与杆罩20接触时的冲击，使其缓慢停止，并能够使活塞杆28与缸筒22之间在该停止位置成为锁定状态。

另外，本发明的平衡缸不限于上述的实施方式，在不脱离本发明的主旨的情况下，当然可以采用各种结构。例如，在上述实施方式中，在构成工件搬送装置100的支承机构12固定有活塞杆28，但也可以构成为在支承机构12固定缸筒22，工件w与活塞杆28一起升降。