一种新型低温泵冷伞的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及低温真空栗领域，具体为一种新型低温栗冷伞。
【背景技术】
[0002]低温真空栗一般简称为低温栗或者冷栗(cryopump)，小型制冷机为冷源利用低温面冷凝吸附气体的一种气体捕集式真空栗装置，是由真空和低温技术结合而形成的一种应用技术。在许多试验研究中作为产生高真空高洁净的基础手段在工业生产领域，ic、IXD、HD的生产中，主要作为薄膜沉积工艺真空系统的标准配置，具有广泛和重要的应用领域。低温栗中的制冷机在两个温度级上产生制冷，分别冷却两个低温表面，被抽的气体就被冷却在低温表面上。制冷机的一级通常工作在50K - 70K范围，它用来冷却靠外的冷屏，这个冷屏既为更冷的冷板充当防辐射的屏蔽，同时又用来冷却挡在栗入口处的百叶窗(障板)，当水蒸汽碰到障板上时就被冷冻在它上面。制冷机的二级，即最冷的一级，通常工作在1K -20K之间，用来冷却靠内的冷板，它冷冻穿过百叶窗的N2、02、Ar等气体。不能被这一温度冷冻的气体被位于冷板内部的活性炭吸附。在低温栗中，一级冷板一般由辐射屏和一级挡板组成，同制冷机的一级冷头相连；冷伞与制冷机二级冷头相接，通常工作在10K~20K之间，冷伞的外表面是冷凝抽气，用于抽除Ν2、02、Ar等可凝性气体，而对He、Ne、H2等非凝性气体进行预冷；粘接活性炭的内侧主要以低温吸附的方式抽除He、Ne、Η2。
[0003]由于活性炭直接粘接在冷伞上的接触面积较大，造成粘接的接触面不能吸附气体，因此提出一种新型低温栗冷伞。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型目的是提供一种新型低温栗冷伞，以解决现有活性炭直接粘接在低温栗的冷伞上由于接触面积较大而导致气体吸附减少的问题，增加吸附面积。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为:
[0006]—种新型低温栗冷伞，其特征在于:包括有冷伞本体，冷伞本体上设有冷伞冷板；所述的冷伞冷板上均匀分布有铜球，铜球的表面粘接有活性炭。
[0007]所述的一种新型低温栗冷伞，其特征在于:所述的冷伞冷板和铜球上分别设有螺纹孔，各个铜球分别通过一个螺柱固定在冷伞冷板上。
[0008]所述的一种新型低温栗冷伞，其特征在于:所述的铜球的直径范围是5-20mm，相邻铜球之间的距离为1mm。
[0009]一种新型低温栗冷伞，其特征在于，该方法包括以下步骤:
[0010]1)、使用低温胶将活性炭粘接在铜球上；
[0011]2)、分别在低温栗的冷伞冷板和铜球上打造螺纹孔；
[0012]3)、使用螺柱将布满活性炭的铜球固定在低温栗的冷伞冷板上。
[0013]活性炭有较大的表面面积，能够获得较大的吸附面积，可以提高低温栗的抽气容量，再生过程中在室温下气体能够很容易地脱附。
[0014]铜球导热性能好，活性炭再生过程中气体释放速度快，并且使用低温胶将活性炭粘接在铜球上时，能够使得铜球的每个面都附着活性炭。
[0015]本实用新型的优点是:
[0016]本实用新型通过使用低温胶将活性炭粘接在铜球上，这样铜球的每个面都附着活性炭，避免了直接将活性炭粘接在冷伞面上导致接触面不能吸附气体，从而可以增加活性炭吸附气体的面积，同时再生过程中在室温下由于铜球具有良好的导热性能，使得吸附在活性炭表面的气体能够很快地释放出来，并且使用螺柱分别固定在铜球和冷伞上，便于拆卸。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型的结构示意图。
[0018]图2为本实用新型的冷伞冷板结构示意图。
[0019]图3为本实用新型的冷伞固定铜球结构局部放大图。
【具体实施方式】
[0020]以下结合附图对本实用新型的实施方式进行说明。
[0021]冷伞通过螺钉固定于低温制冷机的二级冷头，冷伞在低温栗中与制冷机二级冷头相接，通过低温制冷机的冷头降温，通常工作在10K~20K之间，冷伞的外表面是冷凝抽气，用于抽除N2、02、Ar等可凝性气体，而对He、Ne、比等非凝性气体进行预冷；粘接活性炭的内侧主要以低温吸附的方式抽除He、Ne、H2。
[0022]如图1-3所示。一种新型低温栗冷伞，包括有冷伞本体1，冷伞本体I上设有冷伞冷板2 ;冷伞冷板2上均匀分布有铜球3，铜球3的表面粘接有活性炭。
[0023]冷伞冷板2和铜球3上分别设有螺纹孔，各个铜球3分别通过一个螺柱4固定在冷伞冷板2上。
[0024]铜球3的直径范围是5-20mm，相邻铜球3之间的距离为1mm。
[0025]一种新型低温栗冷伞的制备方法，该方法包括以下步骤:
[0026]1)、使用低温胶将活性炭粘接在铜球上；
[0027]2)、分别在低温栗的冷伞冷板和铜球上打造螺纹孔；
[0028]3)、使用螺柱将布满活性炭的铜球固定在低温栗的冷伞冷板上。
【主权项】
1.一种新型低温栗冷伞，其特征在于:包括有冷伞本体，冷伞本体上设有冷伞冷板；所述的冷伞冷板上均匀分布有铜球，铜球的表面粘接有活性炭。2.根据权利要求1所述的一种新型低温栗冷伞，其特征在于:所述的冷伞冷板和铜球上分别设有螺纹孔，各个铜球分别通过一个螺柱固定在冷伞冷板上。3.根据权利要求1所述的一种新型低温栗冷伞，其特征在于:所述的铜球的直径范围是5-20mm，相邻铜球之间的距离为1mm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型低温泵冷伞，包括有冷伞本体，冷伞本体上设有冷伞冷板；所述的冷伞冷板上均匀分布有铜球，铜球的表面粘接有活性炭；先使用低温胶将活性炭粘接在铜球上；再分别在低温泵的冷伞冷板和铜球上打造螺纹孔；然后使用螺柱将布满活性炭的铜球固定在低温泵的冷伞冷板上。本实用新型通过将活性炭粘接在铜球上，可以实现铜球的每个面都附着活性炭，避免了活性炭直接粘接在冷板上导致接触面不能吸附气体，增大了活性炭吸附气体的面积，同时由于铜球的良好导热性能，再生过程中吸附在活性炭表面的气体能够很快释放出来，并且拆卸方便。
【IPC分类】F04B39/00, F04B37/08, B23P15/00
【公开号】CN204900195
【申请号】CN201520596960
【发明人】王少恒, 罗高乔, 张雨航, 武义锋
【申请人】安徽万瑞冷电科技有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年8月10日