模块化加热器系统的制作方法

专利名称：模块化加热器系统的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及用在管线中的电加热器，更特别涉及用在气体线 路和泵线路中的电加热器，半导体加工系统作为所述气体线路和泵线 路的示例。
背景技术：
本节内容仅提供有关本发明的背景信息，并不构成现有技术。 从供应件例如油井或水库供应流体诸如油、气和水等，需要借助 导管等输送这些流体。通常需要维持流体在导管内自由或不受限制地 流动，此外还需要维持所述流体处于特定温度或处于特定温度以上。目前，绳缆或带材形式的电加热器，在本领域中称为"伴热(heat trace) 件"，普遍用在导管周围，向导管以及流体提供热量。此外，导管和伴 热件有时以热绝缘护套包围，以减少进入周围环境的热损失。伴热绳缆是加热这种流体导管的常用装置，因为它们相对简单且 成本较低。 一般来说，伴热绳缆沿着导管长度设置，或巻绕在导管周 围，并以带条、保持条或任何其他适当的紧固件在规律的间隔处紧固， 正如授予Montierth等的美国专利No. 5,294,780、授予Barth等的美 国专利No. 5,086,836、授予Montierth等的美国专利No. 4，791，277、 授予Leavines的美国专利No. 4，152，577、授予Horner的美国专利No. 4,123,837、授予Johnson的美国专利No. 3,971,416以及授予Bilbro 的美国专利变更No. 29，332所示。已经发现将伴热绳缆紧固到管道或 导管耗费时间并且繁瑣，尤其对于更换公用设施线路以及连续制造过 程等情况来说更是这样，此时时间是关键因素。为了加速更换公用设施线路，美国专利No. 6,792,200提出了一种 预制伴热管道，其中待加热管道、伴热件和用于将伴热件电连接到电源的连接件预先固结并整体成形，并在需要更换老旧管道之前提前备 好。虽然预制管道对于更换公用设施线路来说节省了一些时间，但是 其要求定制的伴热管道，从而增大了不需要的存放空间以及制造成本 和维护费用。发明内容在一种优选形式中，提出一种模块化加热器系统，其包括伴热组 件，该伴热组件具有限定多个翅片的伴热节段、包围所述伴热节段的 绝缘护套和至少一个设置在所述伴热节段端部的终端构件。所述模块 化加热器系统还包括连接件组件，该连接件组件包括机壳，所述机壳包括多个外壁面和内壁面，两者之间限定腔；和设置在所述机壳内的 配合加热器组件。所述配合加热器组件包括配合适配器、设置在所述 配合适配器周围的伴热节段以及设置在所述配合适配器周围的外軍。在另一种形式中，提出一种模块化伴热组件，其包括限定多个翅 片的伴热节段、包围所述伴热节段的绝缘护套和至少一个设置在所述 伴热节段端部的终端构件。在另一种形式中，提出一种用在加热器系统中的连接件组件，其 包括机壳，所述机壳包括多个外壁面和多个内壁面，两者之间限定腔。 所述连接件组件进一步包括设置在所述机壳内的配合加热器组件，该 配合加热器组件包括配合适配器、设置在所述配合适配器周围的伴热 节段和设置在所述配合适配器周围的外罩。在另一种形式中，提出一种伴热节段，其限定细长形状、弯曲部 分和一对设置在所述弯曲部分端部的相对的锁定边缘。所述伴热节段 还包括半导体聚合物芯部以及包围所述半导体聚合物芯部的介电机 盖，所述介电机盖限定外表面并包括多个从该外表面延伸的翅片。从本文提供的说明中，进一步的应用领域将变得明显。应该理解， 本说明以及具体示例目的仅在于说明，而不是用来限制本发明的范围。


从以下详细说明以及附图中，本发明将得到更为全面的理解，其中图l是显示模块化伴热组件在加热的半导体气体线路和泵线路中 的一个应用的示意图；图2是设置在气体线路和泵线路周围的现有技术伴热绳缆的透视图；图3是现有技术伴热绳缆的透视剖面图；图4是沿着图3所示现有技术伴热绳缆的线3-3切开的截面图； 图5是根据本发明第一实施例固紧到导管系统的模块化伴热组件 透视图；图6是根据本发明教导的图5所示模块化伴热组件分解透视图；图7是根据本发明教导而构造的图5和6所示伴热节段透视图；图8是根据本发明教导的图7所示伴热节段端视图；图9是根据本发明教导的图5和6所示连接件透视图；图IO是根据本发明教导的图9所示连接件顶视图；图lla是根据本发明原理构造的一种实施例的连接件透视图；图llb是根据本发明原理构造的另一种实施例的连接件透视图；图llc是根据本发明原理构造的另一种实施例的连接件透视图；图12是根据本发明第二实施例构造的伴热节段透视图；图13是根据本发明教导的图12所示伴热节段端视图；图14是根据本发明教导构造的总线适配器顶视图；图15是根据本发明第三实施例构造的伴热接头透视图；图16是根据本发明教导构造并用于导管系统肘形接头的图15所示伴热接头替代形式透视图；图17是根据本发明教导构造并用于导管系统T形接头的图15所示伴热接头替代形式透视图；图18是根据本发明第四实施例带有终端结构的伴热节段透视图，所述伴热节段处于脱开状态；图19是根据本发明教导的图18所示伴热节段侧视图；图20是根据本发明教导处于啮合状态的图18所示伴热节段透视图；图21是根据本发明教导的图20所示伴热节段侧视图； 图22是根据本发明教导构造的连接图18至21所示伴热节段的替 代形式侧视图；图23是根据本发明教导的另一种加热器构造，即z方向加热器的 另 一种实施例的透视剖面图；图24根据本发明教导构造的用于加热的导管的热绝缘护套透视图；图25是根据本发明教导构造的带有替代护套结构的热绝缘护套 端视图；图26是根据本发明教导构造的用于加热的导管的热绝缘护套另 一种形式的透视图；图27是根据本发明教导构造的用于加热的导管的热绝缘护套另 一种形式的透视图；图28是根据本发明教导构造的用于加热的导管的热绝缘护套另 一种形式的透视图；图29是根据本发明教导构造的模块化伴热组件另一种形式的透 视图；图30是根据本发明教导构造的图29所示模块化伴热组件的另一 幅透视图；图31是根据本发明教导的图30所示模块化伴热组件分解透视图； 图32是根据本发明教导构造的伴热节段透视图； 图33是根据本发明教导的伴热节段分解透视图； 图34是根据本发明教导构造的包括翅片的伴热节段透视图； 图35是根据本发明教导包括翅片的伴热节段端视图； 图36是根据本发明教导包括翅片并设置在绝缘护套中的伴热节 段端视图；图37是根据本发明教导构造的绝缘护套透视图；图38是根据本发明教导的绝缘护套端视图； 图39是根据本发明教导构造的啮合终端构件的伴热节段透视图； 图40是根据本发明教导的终端构件透视图； 图41是根据本发明教导构造的终端构件的壳体前透视图； 图42是根据本发明教导的壳体后透视图； 图43是根据本发明教导构造的终端构件端盖前透视图； 图44是根据本发明教导的壳体后端视图； 图45是根据本发明教导构造的带内电连接部的壳体后端视图； 图46是根据本发明教导构造并图示电连接部一部分的壳体前端 视图；图47是根据本发明教导构造的模块化伴热组件前端视图； 图48是根据本发明教导构造的连接件组件前透视图； 图49是根据本发明教导的连接件组件后透视图； 图50是根据本发明教导的连接件组件分解透视图； 图51是根据本发明教导构造的配合加热器组件局部透视图； 图52是根据本发明教导构造的配合加热器组件另一局部透视图； 图53是根据本发明教导构造并具有卡扣特征的外机罩替代实施 例透视图；图54是根据本发明教导构造并与机壳构件啮合的机盖透视图； 图55是根据本发明教导与机壳构件啮合的机盖侧视图。 相应的附图数字在附图的若干视图中始终指代相应部件。
具体实施方式
以下说明本质上仅仅是示例性的，并非用来限制本发明内容、应 用场合和使用方式。现在将更为详细地说明根据本发明的加热器结构。首先，应该理 解，本说明书全文中所用术语"导管(conduit)"包括但不限于管道、浆料的构件。本文^斤述;管运送的材料包丄固-、、液体和气体:而i借助示例，可以包括在半导体加工装置中输送的流体。以下参照这种 半导体加工装置说明的优选实施例本质上仅仅是示例性的，不以任何方式限制本发明、其应用场合和使用方式。因此，本发明的教导并不 限于半导体加工装置，而是可以应用于任何导管系统，同时仍处于本发明的范围之内。参照图1，图示了半导体加工系统10，该系统基本上包括加热的 气体线路12，其从远程气体输送系统延伸到加工工具；和加热的泵线 路14，其从该加工工具延伸，穿过多个如图所示的部件，并到达洗涤 器。在操作过程中，气体线路12和泵线路14两者必须根据具体加工 要求进行加热，这通常由图2所示的伴热绳缆16来实现。伴热绳缆 16如图所示沿着气体线路12或泵线路14放置或巻绕，并利用玻璃带 材18或其他固紧装置固紧到气体线路12和泵线路14。此外，绝缘件 20通常置于伴热绳缆16周围，以减小流失到外界环境的热损失。绝 缘件20通常巻绕在伴热绳缆16周围，并借助分开的带材或系材片段 在气体线路12和泵线路14周围紧固就位。参照图3和4，图示了伴热绳缆16的结构和材料，并在以下更为 详细地说明。伴热绳缆16通常包括一对总线导体22，它们被用作加 热元件的半导体聚合材料24包围。介电或绝缘材料26包围半导体聚 合材料24,并且所述介电或绝缘材料26任选由金属编织材料28包围， 如图所示，用于另外的功能，诸如接地层。而且，外护套30包括金属 编织材料28以保护整个组件，且外护套30通常是绝缘材料诸如热塑 性材料。虽然比其他加热器系统成本相对较低，但是伴热绳缆16必须在现 场切割成一定长度，并拼接到适当的连接器或终端中，这样通常耗费 时间且工作繁重。此外，伴热绳缆16不能像其他加热系统那样，沿着 导管长度提供相对均匀的加热效果，原因在于有限的覆盖面积以及将 它们固紧到导管时釆用的相对粗糙的方式。伴热绳缆16仅提供与导管 的随机接触，原因在于它们的刚性以及难于形成导管的形状。现在参照图5至8，示出了根据本发明第一实施例，模块化伴热组件适配成用于半导体加工系统10，且该组件基本上由附图数字50 指代。模块化伴热组件50包括伴热节段52，用于接触并加热半导体 加工系统10的导管13。模块化伴热组件50还包括连接件54，用于固 紧相邻伴热节段52并用于将模块化伴热组件50固紧到半导体加工系 统10的部件，如以下更为详细地说明。伴热部分52优选形成细长形状，如图所示，并包括弯曲部分56 和一对沿着弯曲部分56纵向方向延伸的相对的锁定边缘58。弯曲部 分56具有内表面60，该内表面限定开放沟槽62，用于放置在导管13 周围。内表面60优选与导管13外表面互补，以允许将伴热节段52 固紧到导管13。弯曲部分56优选包围导管13整个外表面至少一半， 从伴热节段52向导管13提供更为均匀的热传递，并允许伴热节段52 借助锁定边缘58自锁在导管13周围。如图所示，锁定边缘58沿着横穿弯曲部分56纵轴线的方向隔开， 这样配置有利于将伴热节段52安装到导管13。由于伴热材料具有挠 性，所以在伴热节段52沟槽62放置在导管13周围时，锁定边缘58 可以向外偏转，然后在释放时被偏压贴靠导管13，将伴热节段52固 紧到导管13。如图进一步所示， 一对导体64设置在伴热节段52内，优选沿着 锁定边缘58设置，如图所示，其中导体64从相对端66和68向外延 伸。配置导体64是用来连接到电源(未示出)以沿着伴热节段52提 供热量。如以下更为详细地说明，导体64还适配成用来连接到相邻的 伴热节段52或连接到相邻的连接件54。虽然在图5至8中未示出， 但是应该理解，伴热节段52包括半导体聚合材料、包围所述半导体聚 合材料的介电或绝缘材料，并且还可以包括任选的材料，用作如前所 述的接地层或外护套。为了清晰起见，这些单独的材料未与伴热节段 52 —起图示。伴热节段52优选预制成尺寸对应于例如导管13的不同尺寸或外 径。伴热节段52还能根据导管13特定节段的希望长度切割成一定的 长度。优选，伴热节段52设置成标准尺寸和长度，便于在导管系统诸如如图所示的半导体加工系统10中进行修理和替换。因此，根据本发明教导的加热器系统模块化结构催生了便于适配导管系统的相对低成 本的加热器系统。现在参照图9至llc，结合图5和6，连接件54设置在伴热节段 52相对端部66或68至少其中之一附近，用来在导管系统10配件70 之间或跨过配件70，将伴热节段52固紧到相邻伴热节段52。优选连 接件54形成所述配件形状，以便于安装和拆卸。此外，设置配合机盖 72来在配件附近覆盖连接件54，所述配合机盖也形成所述配件形状。伴热节段52和连接件54限定配合特征，以允许在伴热节段52 和连接件54之间快速啮合和脱开。在图示实施例种，连接件54设置 有一对相应凹槽58,用来接收伴热类型的加热器中的导体64，该导体 通常为销形式或因剥皮而形成暴露导线，正如以下更为详细地说明。根据本发明的教导，连接件54可以包括多种形式其中之一，用于 电连接和热传递。在图lla所示的第一形式中，连接件54包括绝缘材 料，并包括设置在凹槽58中的电连接件元件74。电连接件元件74基 本上表现为插座形式，并适配成接收如图所示的导体64。电连接件元 件74可以确定尺寸形成干涉配合，或可替代的是，可以根据需要压接 到导体64上。可替代的是，电连接件元件74可以包括挤压连接件， 该连接件还称为绝缘位移连接件或穿刺连接件，包括电触点，该触点 被挠性覆盖物或壳体移动以穿过导体64周围的材料例如绝缘材料、半 导体聚合材料、金属编织材料而接触导体64。 一种示例挤压连接件在 美国专利No. 4,861,278中图示，而且多种这种连接件可以从许多来源 买到，为了简洁，本文未作图示。因此，应该理解，可以采用多种电 连接件，同时仍处于本发明的范围内。还应该理解，也可以采用电连 接元件74之间跨过连接件54的电连接，如虛线75所示，以提供跨过 连接件54的电气连续性，同时仍处于本发明的范围之内。在图llb所示的第二种形式中，连接件54包括带上述电连接件元 件74的绝缘材料，并且还包括设置在连接件54主体中的预成形伴热 节段76。因此，伴热节段74为导管系统10的配件70提供所需热量，并且根据如上所述本发明的教导构造。在如图llc所示的第三种形式中，连接件54包括带预成形伴热节 段76的绝缘材料，而非带有电连接件元件74。在这种形式种，导体 64从如图所示的连接件54延伸，接着连接到另一个连接件或终端， 用于电气连接到电源(未示出)。可替代的是，连接件54在本文所示 的各种形式中，还包括离散温度传感器(未示出)，或利用TCR(温 度电阻系数)材料而本身具有温度感知能力，用于改善加热器系统温 度控制。在另一种形式中，热传递化合物诸如硅酮或非硅酮基骨料或片状 热凝胶等设置在连接件54 —侧靠近导管13的一个或多个暴露表面， 以改善热传递。因此，应该理解，可以在连接件54和伴热节段52上 采用多种热界面材料来改善或控制热传递，同时仍处于本发明的范围 内。应该注意，虽然销槽配置用来将伴热节段52连接到连接件54， 但是也可以采用连接两者的其他特征，只要连接件54用来将伴热节段 52固紧到相邻伴热节段52并提供穿过该连接部的电气连续性即可。 例如，作为示例，这些特征可以包括螺钉、栓钉(peg)、卡子、夹子 等，用来对准和/或固紧配合结构。此外，可以釆用除机械元件之外的 零件，诸如电磁零件，同时仍处于本发明的范围内。还应该注意，虽然伴热节段52在第 一实施例中说明了具有弯曲部 分56，但是伴热节段52不限于本文所示的形状和配置。伴热节段52 可以具有任何形状，只要其可以适当固紧到导管13并因此向导管13 提供热量即可。例如，伴热节段52可以为矩形，用来接收矩形导管。 虽然是优选方案，但是不必要求伴热节段52如本文所示和所述那样直 接接触导管13来实现加热导管13的目的。而且，可以在导管13周边 周围采用多件伴热节段13而非本文所示的单件。这种变形应当认为落 入本发明的教导和范围之内。参照图12和13，根据本发明第二实施例的伴热节段基本上由附 图数字100指代。伴热节段100包括多个连接件110以适合大尺寸导管13，并且提供所需热量来加热导管13以及其中的流体。导体110 从相对端112和114沿着伴热节段100纵轴线向外延伸，用来电连接 到电源(未示出)和/或电连接到相邻伴热节段100或电连接到连接件 54。在所示实施例中，示出7块板件102限定管状沟槽106,用来在 其中接收导管13。两块板件102不沿着它们纵向侧104其中之一接合， 以形成如图所示的纵向狭缝108。纵向狭缝108有利于将伴热节段100 安装到导管13。由于伴热节段IOO由挠性材料制成，所以通过向外偏 转限定纵向狭缝108的两块板件102，可以将伴热节段100固紧到导 管13上，类似于前述伴热节段52。如前所述，该实施例的伴热节段100特别适合尺寸较大的导管。 板件102的数目因此取决于待加热导管13的尺寸，并且不限于如图 12和13所示的7块。应该理解，根据导管13的尺寸和加热要求，可 以使用任何数目的导体110和对应板件102，同时仍处于本发明的范 围内。参照图14，图示了总线(bussing)适配器，其用来将图12和13 所示的多导体实施例适配到如前所示的双导体连接件54，该总线适配 器基本上由附图标记150来指代。如图所示，总线适配器150优选表 现为环形，设置在伴热节段100和连接件54之间。总线适配器150 优选为绝缘材料，在一侧包括多个电连接件元件152 (虛线表示)，优 选表现为插座形式，来接收伴热节段100的多个导体110。在相对的 一侧，总线适配器150包括一对导体154，其从总线适配器150主体 延伸，与连接件54的电连接件元件74 (虚线表示)啮合。在总线适 配器150内，电连接件元件74总线连接(未示出)到每个导体154 来提供电气连续性。现在参照图15至17，根据本发明第三实施例，设置与导管系统 10的交叉件或接头一起使用的伴热接头，基本上由附图数字200指代。 如图所示，伴热接头200优选限定交叉结构，具有多条从基础部分202 延伸的臂204。每条臂204具有啮合端206，其上设置一对导体208,用来连接到相邻电源(未示出)或相邻伴热节段或接头。虽然在啮合端206仅示出两个导体208，但是应该理解，根据具体的功率要求可 以采用多个导体，即多于两个导体，同时仍处于本发明的范围之内。 此外，导体208的路径可以根据具体加热要求而变化，并且应该理解， 除本文所述之外的路径，即从一条或两条臂204而非从所示全部4条 臂向下伸展的路径，应该认为落入本发明的教导和范围内。伴热接头200可以形成合适的形状，适当安装到导管系统10的接 头。例如，伴热接头200可以形成肘形210，如图16所示，与导管系 统10的肘形接头(图1所示) 一起使用。可替代的是，伴热接头200 可以形成T形212，如图17所示，与导管系统10的T形接头(未示 出)一起使用。如图进一步所示，导体208可以包括如图16和17所 示的多种配置，取决于将接头连接到相邻伴热节段或连接到连接件的 连接要求。参照图18至21,根据本发明第四实施例的模块化伴热连接件组 件基本上由数字300指代。模块化伴热连接件组件300包括第一伴热 节段302、第一终端结构304、第二伴热节段306和第二终端结构308。 虽然在图18至21中示出第一伴热节段302和第二伴热节段306限定 相对平坦的形状，但是应该理解，各伴热节段302和306可以具有任 何几何形状，诸如前述环状或柱状。因此，所述平坦形状不应该认为 限制本发明的范围。第一伴热节段302和第二伴热节段306各自具有靠接端310和312 和远端314和316。终端结构304和308设置在靠接端310和312处， 并具有配合结构，用来机械或电气耦接在一起。更具体地说，第一终 端结构304具有上啮合部分318和下啮合部分320。第二终端结构308 也具有相应上啮合部分322和相应下啮合部分324。第一终端节结构 304上啮合部分318限定销形配置，而第二终端结构308上啮合部分 322限定插座配置，以有利于上啮合部分318和322之间的啮合。在 一种优选形式中，第一终端结构304上啮合部分318包括一对销326。 第二终端结构308上啮合部分322包括相应的一对插座330，用于在其中接收销326，因此提供机械和电气连接。优选终端结构304和308 由镍材料制成，当然也可以采用其他提供足够电气连续性的材料诸如 铜，同时仍落入本发明的范围之内。如图进一步所示，第一终端结构304下啮合部分320包括一对延 伸件332，上啮合部分318的销326从该对延伸件向上延伸。第二终 端结构308下啮合部分324也包括一对延伸件334，上啮合部分322 的啮合臂328从其延伸。延伸件322和334各自在其中接收伴热节段 302和306的导体336,用于电气连续。虽然未在图中示出，但是第一伴热节段302和第二伴热节段306 的远端314和316可以任选设置有终端结构304或308，连接到额外 的伴热节段或连接到连接件。可替代的是，远端314和316可以设置 有适当啮合装置(图中未示出)，用来连接到电源(未示出)。参照图22，图示了用来连接伴热节段340和342的替代连接件， 通常由附图数字344指代。连接件344基本上限定"U"形配置，以 连接所示导体346。挠性导体346如图所示向上拐，以便啮合连接件 344，所述连接件344限定本发明其中一种形式的接收孔(未示出)。 根据本领域已知技术，连接件344可以压力配合、结合或焊接到导体 346上。因此，暴露导体346的伴热节段340和342端部较之前述实 施例更为靠近在一起，因此改善了沿着伴热节段的热传递均匀性。因此，模块化伴热连接件组件300用来将销和插座连接区域定位 成离开伴热节段302和306的热表面，从而减小高温应用场合下所述 销和插座的热疲劳。虽然示出上述模块化加热器组件50具有类似于传统伴热绳缆的 结构，但是应该理解，也可以采用除伴热绳缆之外的其他加热器结构 类型，同时仍落入本发明的范围之内。加热器类型诸如聚合物加热器 或分层膜加热器等，即模块化并在导管系统中便于利用模块化连接件 和本文所述其他实施例进行替换和修理的加热器，应该认为落入本发 明的范围之内。参照图23，图示了根据本发明教导的Z方向加热器实施例，并基本上由附图数字350指代。Z方向加热器350包括一对导体352，其 各自电气连接到箔片元件354。导电聚合材料356设置在如图所示的 箔片元件354之间，且绝缘材料358包围整个组件。Z方向加热器350 为前述模块化结构适配，且增加了箔片元件354,该加热器提供的加 热质量可以根据具体应用场合需求来定制。应该理解，Z方向加热器 350的形状和配置仅作为示例，也可以采用其他形状和额外的元件， 诸如本文所述的形状和元件，例如管状、接地层元件，同时仍落入本 发明范围之内。而且，元件354不限于箔片材料，且在替代形式中包 括栅格或栅网材料。Z方向加热器350优选形成材料片，带有多个导体352和相应箔 片元件354。因此，根据具体应用场合要求，可以从该片材上切割或 取下任何尺寸的z方向加热器350。例如，多段导体352和箔片元件 354，例如各自多于一组，可以横过该片材的宽度取下，并将导体352 和箔片元件354的长度切割成希望的尺寸。现在参照图24，用于伴热导管或加热的导管(未示出)的热绝缘 护套基本上由附图数字400指代。热绝缘护套400优选限定管状绝缘 体402，该绝缘体具有外壁403和内壁404，内壁限定沟槽406以接收 加热的导管，该加热的导管可以是如前所述的伴热导管。内壁404限 定凹腔408，以收容传统伴热绳缆，如前所述，该伴热绳缆沿着导管 长度放置。可替代的是，凹腔408可以表现为任何数目的形状，诸如 图25所示的弧形凹腔410,以收容本文所示和所述的伴热节段52。因 此，凹腔408的形状设计成伴热节段的镜像或符合其形状，无论该形 状是什么。此外，具有凹腔408的热绝缘护套400可以替代地设置有 狭缝412，以使护套400可以变形并置于导管上，而不用沿着导管长 度滑动。而且，结构如图所示的热绝缘护套400可以用来将一个或多 个伴热节段贴靠导管精确定位，以便控制进入大气的热损失。参照图26，用于加热的导管的另一种形式的热绝缘护套基本上由 附图数字420指代。热绝缘护套420优选限定管状绝缘体422，其具 有外壁423和内壁425。管状绝缘主体422形成有多个空气舱424，所述空气舱在外壁423和内壁425之间如图所示纵向延伸。因此，空气 舱424提供了 一个区域来改善沿着伴热节段的热耗散均匀性，并减少 穿过绝缘护套420的热损失。参照图27，用于加热的导管并具有空气舱的另一种形式的绝缘护 套基本上由附图数字430指代。热绝缘护套430优选限定管状绝缘主 体432，该绝缘主体具有外壁433和内壁435。如图所述，管状绝缘主 体432具有形成在内壁435中的多个空气舱434，它们沿着管状绝缘 主体432的纵向以某种程度的随机配置而布置。因此空气舱434减少 了穿过热绝缘护套430的热损失。参照图28，用于加热的导管的另一种形式的热绝缘护套基本上由 附图数字440指代。热绝缘护套440限定管状绝缘体442，其具有纵 向狭缝444，该狭缝由相对的纵向边缘446和448限定。相对的纵向 边缘446和448沿着圆周方向隔开，并适当间隔成允许放置在加热的 导管周围。更具体地说，管状绝缘体442由挠性材料，例如硅酮橡胶 片材或泡沫、氯丁橡胶、聚酰亚胺泡沫或带材等制成，以使纵向边缘 446和448向外偏转，然后压靠在加热的导管上。如图进一步所示，其中一个纵向边缘446设置有挡片452，在热 绝缘护套440放置在加热的导管周围之后，该挡片用于适当啮合另一 个纵向边缘446。利用挡片452来闭合纵向狭缝444，有助于减小进入 外部环境的热损失。优选挡片452由热绝缘材料制成以提供热绝缘。 挡片452可以由粘结带制成，或设置有粘结剂涂层，或者可替代地可 以为Velcro⑥或者包括机械卡扣等固结技术的挡片，以使挡片452固 紧到另 一个纵向边缘448并沿着管状绝缘主体442的外表面固紧。在本文所述各种热绝缘护套实施例中，优选对所述护套进行挤压。 此外，应该理解，可以单独设置任何特征，例如空气舱、尺寸适合伴 热节段几何形状的凹腔、纵向狹缝和挡片，或者彼此相结合地设置这 些特征，同时仍落入本发明范围之内。而且，可以设置多个凹腔以适 合多个伴热节段52,同时未背离本发明的精神和范围。现在参照图29至31，图示了另一种形式的模块化加热器系统，并基本上由附图数字500指代。 一般来说，模块化加热器系统500包 括伴热组件502和连接件组件504。为了清晰，仅示出一个伴热组件 502和一个连接件组件504,但是应该理解，根据终端应用场合，模块 化加热器系统500可以包括多个伴热组件502或多个连接件组件504 或者两者，并且通常也是这样。伴热组件502例如适配于接触并加热如前图1和2所述和所示的 半导体加工系统10的导管13。应该理解，模块化加热器系统500可 以适用于许多终端应用场合，因此所示和所述的半导体加工系统仅作 为示例。因此，所述终端应用场合以下称为模块化加热器系统500的 "目标系统"。连接件组件504例如还适配于接触和加热目标系统的接 头、连接件和其他部件。此外，连接件组件504将相邻的伴热组件502 彼此固紧，并收容目标系统的接头、连接件或其他部件。连接件组件 还用来加热目标系统的部件并阻隔进入外部环境的热损失，以及其他 功能，如以下更为详细地说明。伴热组件502如图32和33所示，伴热组件502包括伴热节段510、绝缘护套 512和终端构件514。 一般来说，绝缘护套512适配于放置在伴热节段 510周围，而终端构件514适配于啮合伴热节段510和绝缘护套512 两者。终端构件514还用来在如前所述的伴热节段510和相邻连接件 组件504之间提供电连接，或在相邻伴热节段510和电源(未示出) 之间提供电连接。因此，引导导线516 (仅局部示出并为了清晰起见， 示为平直部段)离开终端构件514以建立这些邻近的电连接。参照图34-36,图示了伴热节段510，现在更为详细地说明。如图 所示，伴热节段510限定细长形状，并包括弯曲部分520和一对沿着 伴热节段510纵向延伸的相对的锁定边缘522。弯曲部分520限定内 表面524，该内表面包围开放沟槽526,例如用于放置在如图5和6 所示和前面所述的导管13周围。内表面524优选地与导管13的外表 面互补，以改善伴热节段510和导管13之间的热传递以及连接关系。 弯曲部分520优选包围导管13整体外表面至少一半，以提供更为均匀地热传递并允许伴热节段510借助锁定边缘522自锁在导管13周围。 锁定边缘522用途与前面所示和所述的锁定边缘58(图7和8)相同， 因此以下不再赘述。此外，伴热节段510还包括如图所示的导体528， 该导体作用与前面所示和所述导体64 (图7和8)相同，因此以下同 样不再赘述。类似于前面所述伴热节段52 (图7和8 )，伴热节段510优选预成 形为尺寸对应于例如导管13的不同尺寸或外周边。伴热节段510优选 进行挤压，并且也能根据导管13特定节段所用的长度切割为一定的长 度。优选伴热节段510设置成标准尺寸和长度，便于在导管系统诸如 前面所示和所述的半导体加工系统10中进行修理和替换。因此，根据 本发明教导的加热器系统模块化结构有利于成本相对较低的加热器系 统，其例如易于适配导管。如图进一步所示，伴热节段510优选包括半导体聚合物芯部530, 其被介电覆盖物532包围。虽然未示出，但是伴热节段510还可以包 括任选的材料用作接地层和外盖，以及其他功能材料，如前所述。具有优势的是，伴热节段510限定多个绝缘隔离件(stand-off), 优选表现为如图所示的翅片540形式，从介电覆盖物532外表面542 和锁定边缘522优选沿着如图所示法线方向，向绝缘护套512内表面 513延伸。翅片540优选如图所示那样从根部节段544到梢部节段546 渐缩，并在多个翅片540和绝缘护套512之间限定通道548。在伴热 节段510如图36所示组装到绝缘护套512中时，所述通道如图所示以 空气形式提供绝缘，以使操作中从伴热节段510进入外部环境的热损 失进一步减小。此外，改善的绝缘效果为绝缘护套512外侧提供了 "接 触安全"的温度，以使模块化加热器系统500操作过程中，使用者可 以接触伴热组件502。应该理解，可以采用任何数量的翅片540以及除如图所示渐缩几 何形状之外的翅片540不同几何配置，同时仍处于本发明的范围之内。 例如，如图35所示，弯折翅片540，(虛线示出)可以用来提供贴靠 绝缘护套512内表面513的"刮擦"动作，以改善通道548相对于相邻通道548的密封效果。而且，也可以使用其他几何配置诸如"S"或 "Z"形截面，而非翅片540的截面，或者除翅片540截面之外再增 加这些截面，同时仍处于本发明范围之内。通道548可以交替填充绝 缘材料诸如泡沫或聚酰亚胺泡沫等材料，而不采用本文所示和所述的 空气，同时仍处于本发明的范围之内。现在参照图37和38，图示了绝缘护套512，现在更为详细说明。 如图所示，绝缘护套512优选包括两个部段550和552，它们优选对 称，以使相同的部段可以用于组装好的绝缘护套512，因此，部段550 和552可以互换。每个部段550和552限定与前面所述伴热节段550 相适应的形状，即本文实施例所述的环形。部段550和552进一步包 括舱554，其在外壁556和内壁558之间纵向延伸，所述外壁和内壁 由支撑件559分开。舱554如图所示以空气提供绝缘，以使操作过程 中从伴热节段510进入外部环境的热损失进一步减少。优选绝缘护套 512也进行挤压，并以本发明其中一种形式包括半刚性聚合材料，诸 如聚碳酸酯。可替代的是，绝缘护套512可以包括其他材料诸如以上 针对图24-28所示替代热绝缘护套所述的那些材料。如图进一步所示，绝缘护套512包括铰链和卡扣特征，以使绝缘 护套512易于安装到伴热节段510并从其拆卸。更具体的说，每个部 段550和552各自包括相对的弯曲唇部562和564和相邻的相对锁定 凸片566和568,它们沿着绝缘护套512相对的铰链570和572纵向 延伸。其中一个锁定凸片566首先啮合在相邻弯曲唇部562中，然后 两个部段550和552围绕绝缘护套512纵轴线X旋转，直到相对的锁 定凸片568啮合并卡在相邻的弯曲唇部564上。因此，绝缘护套512 易于安装到伴热节段510,而不需要额外的部件或硬件。为了拆下绝 缘护套512，简单地围绕纵轴线X彼此相向旋转两个部段550和552， 以使锁定凸片568从弯曲唇部564脱开。因此，绝缘护套512优选为 弹性并相对挠性的材料，诸如上述半刚性聚碳酸酯，以实现这种铰链 和卡扣特征。在替代形式中，两个部段550和552各自优选在如图所示的铰链570和572附近包括凹陷的外表面580。凹陷的外表面580收容带材 582的片段(为了清晰，仅示出带材582的一段片材)，这样提供了额 外的绝缘效果并进一步将两个部段550和552固紧在一起。优选带材 582为非导电性的，且材料诸如聚酯或聚酰亚胺仅作为例举。应该理 解，带材的图示和说明仅用作示例，且其他固紧构件诸如Velcro⑧等 也可以采用，同时仍落入本发明的范围之内。参照图37,至少其中一个部段，即如图所示的部段552进一步包 括形成于端部部分586和588附近的狭槽584。所述狭槽584收容图 32和33所示的终端构件514的特征，这些特征将在以下更为详细地 说明。参照图39和40，终端构件514适配于连接到伴热节段510(以及 未示出的绝缘护套52)并包括凸台590，该凸台为引导导线516提供 出口并用作引导导线516的应变释放件。凸台590因此用于放置在前 面所示和所述的绝缘护套512的狭槽584中。如图进一步所示，凸台 590包括相邻的平台592和594,它们被凹槽596分开，其中所述凹槽 596在从相邻平台592和594内的通道(未示出)引出的两条引导导 线516之间提供介电隔离。优选凸台590与终端构件514整体形成， 且终端构件514优选为绝缘材料，诸如聚合物或含氟聚合物，作为示 例。在本发明一种形式中，终端构件514包括壳体600和固紧到壳体 600的端盖602。 一般来说，端盖602用来覆盖和绝缘壳体600收容电 气连接部的内部部分，正如以下更为详细说明。更具体来说，并参照 图41-43，端盖602包括弹性臂604和606，所述弹性臂如图所示在其 端部部分各自包括锁定延伸件608和610。相应地，壳体600包括收 容弹性臂604和606的凹槽612和614和^f皮锁定延伸件608和610啮 合的表面616。随着端盖602滑到壳体600上，其中弹性臂604和606 沿着沟槽612和614渐进地滑动，则弹性臂604和606向外偏转。然 后，随着锁定延伸件608和610行进通过凹槽612和614中，弹性臂 604和606向内偏转回来，并且锁定延伸件608和610啮合壳体600的表面616，从而将端盖602固紧到壳体600。虽然图示并说明了弹性 臂604和606啮合壳体600外部，但是应该理解，弹性臂604可以替 代地贴靠壳体600内部设置，同时仍落入本发明范围内。此外，端盖602包括凸缘620和622,它们确定尺寸来配合相应 壳体600相应内轮廓表面624和626。所述凸缘620和622主要用于 总体终端构件514的额外介电功能，同时因挡住了任何触及终端构件 514内侧电连接部的视线而改善了外观。在这方面，壳体600进一步 包括从表面616向后延伸的壁面627和628，这些壁面也为所述电连 接部提供介电绝缘。应该理解，凸缘620和622作为介电延伸件的具 体形状和位置仅用作示例，端盖602的这种介电延伸件的其他形状和 位置，以及用于其他部件的介电延伸件(例如，壳体600)也可以采 用，同时仍落入本发明的范围之内。现在参照图44-46，以及图42,壳体600背侧包括内腔630和632 和一组上孔634和636以及一组下孔638和640来收容所述电连接部。 一般来说，引导导线516穿过凸台590延伸，穿过上孔634和636并 进入内腔630和632。延伸导线650和652连接到伴热节段510 (未示 出)的导体528并延伸入内腔630和632。引导导线516则优选利用 如图所示的巻曲件654和656连接到延伸导线650和652。因此，引 导导线516和伴热节段510之间的电连接部设置在腔630和632中， 且由壳体600的壁面627和628提供介电保护。回头参照图39和41,以及图46-47,壳体600前侧包括多个以狭 槽662隔开的外延伸件660。外延伸件660适配于放置在伴热节段510 周围，更具体地说，啮合伴热节段510外表面542。优选外延伸件660 设计有轻微的拔模锥度(draft angle)以使其提供贴靠伴热节段510 外表面542的正啮合力。外延伸件660还用于在伴热节段510和外部 环境之间提供额外的介电分离。伴热节段510的翅片540则如图所示 嵌接在狭槽662中并在全部组装的情况下靠接终端构件514的表面 616。为了进一步促成这种嵌接，外延伸件660优选包括如图所示的倾 斜表面664，从而在外延伸件660和翅片540之间提供更为密切的接触。壳体600进一步包括异型内延伸件670，其限定弧形上部672和 下节段674与676。异型内延伸件670如图所示啮合伴热节段510内 表面524，进一步将伴热节段510固紧到终端构件514。异型内延伸件 670还用于提供类似于外延伸件660的额外介电分离。优选弧形上部 672从表面616处的较厚部分到较薄端部678限定渐缩截面，如图所 示。较薄端部678因此有利于更为容易地组装伴热节段510和终端构 件514。此外，下节段674和676如图所示配置成啮合翅片540外表 面。连接件组件504现在参照图48-50,连接件组件504包括机壳700，该机壳优选包 括多个机壳构件702和704。机壳构件702和704优选可以互换，以 使它们如图所示用于机壳700上部706和机壳700下部708两者。机 壳构件702和704 —起分别限定外轮缘710和712，其中轮缘710和 712适配于放置在如图30所示的伴热组件502上。轮缘710和712提 供额外的热绝缘并减少触及模块化加热器系统500内侧连接部的视 线，以改善外观。此外，上轮缘714和下轮缘716分别形成在机壳构 件702和704周围，它们还适配于放置在另一个伴热组件502上。类 似地，上轮缘714和下轮缘716提供额外的热绝缘并减少触及连接件 组件504内侧连接部的视线，以改善外观。机壳构件702和704还包括外壁720和内壁722，它们限定以支 撑件726隔开的腔724。腔724提供额外的绝缘，以减少进入外部环 境的热损失，同时还在机壳700外部提供接触安全的温度。机壳构件 702和704 —般包括多个如图所示的外壁和内壁，以限定各种腔，用 于绝缘、介电隔离和接触安全的温度。相应地，为了清楚起见，这些 如图所示的额外壁面和腔在下文中不进行更加详细地描述。此外，机壳构件702和704包括铰链元件730和如图所示啮合凹 口 734的挠性凸片732。因此，上部706和下部708围绕铰链元件730 旋转，而设置在外轮缘710端部的挠性凸片732啮合设置在外轮缘712端部的凹口 734，从而将才几壳部分706和708锁在一起。优选外轮缘 710和712确定尺寸，在伴热组件502外侧提供正啮合力。如图进一步示出，机壳构件704包括额外的保持零件诸如挠性凸 片740，其啮合穿过机壳构件702内壁722形成的开口 742。因此，挠 性凸片740和开口 742在相邻机壳构件702和704之间提供更为牢固 的连接。此外，机壳构件702包括外壁延伸件746，其如图所示啮合 机壳构件704相应外壁凹部748。因此，外壁延伸件746和相应外壁 凹部748为进行组装而使机壳构件702和704对准，此外还提供热绝 缘以及减少视线来改善外观。机壳构件702和704优选为绝缘材料并 优选以温度较高的材料诸如热塑性聚合物模制而成。但是，应该理解， 也可以采用其他材料和处理方法，同时仍落入本发明的范围之内。设置在机壳700内侧的是连接件组件504的额外部件，包括配合 加热器组件750，其在图50-52中最佳示出。配合加热器组件750包 括配合适配器752、伴热节段754以及外罩756，该外罩优选为两件式 形式，如图所示。配合适配器752限定开口 760，该开口确定尺寸来 配合目标系统(未示出)中相邻的配件或部件。因此，应该理解，本 文所示和所述的开口 760的尺寸和形状仅作为示例，而不应该理解为限制本发明的范围。配合适配器752还限定凹陷的外周边762 ，该外周边具有凹槽764, 两者确定尺寸以收容伴热节段754的几何形状，如图所示。优选配合 适配器752为导电材料诸如铝，但是也可以采用其他材料，同时仍落 入本发明的范围之内。可替代的是，配合适配器752还包括狭缝768 (虛线示出)，以用于适应开口 760膨胀，因此更为密切地接触目标系 统相邻配件。优选外軍756设置成对称的可互换零件，如图所示。外罩756包 括外壁770和内壁772，两者之间限定导管774。导管774为引导导线 (未示出)提供通道来连接到伴热节段754。外罩756还包括铰链元 件776,该铰链元件776与机壳构件702和704的铰链元件730协作， 后者也在图49中示出。因此，铰链元件776优选包括销778,其适配于放置在机壳构件铰链元件730的孔731 (图50 )内。此外，导管774 穿过铰链元件776延伸，如图所示，为连接到伴热节段754上的引导 导线提供出口。优选铰链元件776设置在延伸件779上，如图所示， 其中延伸件779用作引导导线的应变释放件。外罩756还优选包括隔离件780，其从所述外罩外表面782延伸， 如图所示。这些隔离件780用来使配合加热器组件750在机壳700中 正确对中或定位。在外罩756 —种替代形式中，如图53所示，卡扣零件用来彼此牢 固连接两个外罩756。(为了清晰，仅示出 一个外軍756 )。更具体地说， 外罩756包括挠性锁止件580,其从凸起781延伸，两者优选与外壳 756整体形成。挠性锁止件780限定渐缩端部782，该端部包括相对平 坦的横向表面783，如图所示。如图进一步所示，孔784穿过相对的 凸起785延伸，所述凸起也优选与外罩756整体形成。沉孔786 (虛 线示出)也形成在相对的凸起785中，该凸起限定了内肩部787 (虚 线示出)。随着渐缩端部782啮合在相对的外罩756(未示出)的孔784 中，各挠性锁止件780向内朝向彼此偏转，以使挠性锁止件780和渐 缩端部782可以横移经过孔784的长度。随着渐缩端部782进入沉孔 786，挠性锁止件780向外偏转回来，并且冲黄向表面783啮合内肩部 787，以使外罩756固紧在一起。为了分开两个外罩756，挠性锁止件 780经过沉孔786向内偏转，直到横向表面783离开内肩部787，此后 可以将两个外罩756拉开。应该理解，这种连接设备仅作为示例，因 此用于外罩756的其他连接设备也可以采用，同时落入本发明的范围 之内。现在参照图49-50和54-55,如果连接部如图所示为肘形结构或T 形结构(未示出)，则连接件组件504还设置有机盖800，其中相邻伴 热组件502不设置在连接件组件504 —侧。因此，机盖800在配合加 热器组件720和外部环境之间提供额外的介电绝缘，同时还提供接触 安全的温度并改善外，见。如图53和54更为清晰地示出，才几盖800包 括外壁802和内壁804，两者之间限定间隙806，用于绝缘或介电隔离。机盖800进一步包括挠性夹子808，其适配于放置在机壳构件702外 壁810上，将机盖800固紧到整个连接件组件504上。应该理解，本文所示和所述的示例连接件组件504配置成用于目 标系统中的肘形连接，连接件组件504的几何形状和特征及其各部件 可以根据目标系统中采用的连接部而变化。例如，如果连接件组件504 适配于放置在T接头或交叉接头上，或者甚至放置在单独的部件诸如 用作示例的泵上，则连接件组件540部件的尺寸和形状可以相应调节。 因此，本文所述和所示连接件组件540的具体设计不应该理解为限制 本发明的范围。在本发明另一种形式中，伴热组件502和连接件组件504"匹配"， 以实现穿过它们界面的均匀温度。更具体地说，在连接件組件504和 伴热组件502上可能需要不同的功率密度，因此，为它们考虑了不同 的功率密度。在另一种形式中，可以沿着绝缘套512的内表面513和/或机壳构 件702和704提供反射表面涂层，以减小所需功率并降低模块化加热 器系统500部件的外表面温度。这种反射表面涂层优选具有较低的辐 射系数，并且作为示例可以包括铝箔或其他借助气相沉积处理施加的 低辐射系数材料。本发明的说明在本质上仅作为示例，因此不背离本发明精神的变 形应该包括在本发明范围之内。例如，用于伴热节段的导电聚合材料 可以是半导体材料，以便自身调节温度，或者可以为非半导体材料， 从而不经由材料调节温度而是经由控制系统来进行。此外，热绝缘护 套可以与任何形状或几何形态的外机壳诸如刚性塑料外机壳配合，以 防止热绝缘护套受到外部环境破坏。这种变形不能认为背离本发明的 精神和范围。
权利要求
1.一种用于加热导管系统的伴热组件，包括至少一个预制伴热节段，其适配成放置在所述导管系统至少一部分的周围，所述伴热节段限定细长主体，该主体具有其中接收所述导管系统的导管的沟槽和一对沿着所述伴热节段的纵轴线延伸从而将所述伴热节段固紧到所述导管的锁定边缘；和连接件，其固紧到所述伴热节段并适于将所述伴热节段耦接到相邻伴热节段；其中，所述伴热节段和所述连接件能够快速安装到所述导管系统并且从所述导管系统拆卸。
2. 如权利要求1所述的伴热组件，进一步包括多个预制伴热节段 和相应的多个连接件。
3. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述伴热节段进 一步包括至少两个导体，用于施加电力。
4. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述伴热节段进 一步包括两个以上的导体，用于大尺寸导管。
5. 如权利要求4所述的伴热组件，进一步包括设置在所述伴热节 段和所述连接件之间的总线适配器，以将所述两个以上的导体总线连 接在所述连接件上。
6. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述连接件限定 符合所述导管系统的配件的形状。
7. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述连接件包括 绝缘材料，并进一步包括电连接件构件，用于连接到所述伴热节段。
8. 如权利要求7所述的伴热组件，其特征在于，电连接件构件从 以下组成的组中选择挤压连接件、压接插座连接件和干涉配合插座 连接件。
9. 如权利要求l所述的伴热组件，其特征在于，所述连接件包括 形成于所述连接件内的预制伴热节段。
10. 如权利要求1所述的伴热组件，进一步包括施加到所述连接件和所述伴热节段中的至少之一上的热传递化合物。
11. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述连接件进 一步包括设置在所述连接件内的温度传感器。
12. 如权利要求1所述的伴热组件，其特征在于，所述伴热组件 包括介电机盖，所述介电机盖限定外表面并包括多个从所述外表面延 伸的绝缘隔离件。
13. 如权利要求12所述的伴热组件，其特征在于，所述隔离件是 翅片。
14. 一种伴热接头，其限定交叉结构并包括多条从所述伴热接头 中部延伸的臂，其中，所述多条臂可形成为形状符合导管系统内的接 头。
15. 如权利要求14所述的伴热接头，其特征在于，所述伴热接头 形成肘形接头。
16. 如权利要求14所述的伴热接头，其特征在于，所述伴热接头 形成T形接头。
17. —种Z方向加热器，包括 一对导体；一对导电元件，其电连接到所述一对导体并基本上彼此平行延伸； 导电聚合材料，其设置在所述一对导电元件之间；和 绝缘材料，其包围所述半导体聚合材料、所述一对导电元件以及 所述一对导体。
18. 如权利要求17所述的加热器，其特征在于，所述导电聚合材 料是半导电的，以自调节所述加热器的温度。
19. 如权利要求17所述的加热器，其特征在于，所述导电元件从 箔片和栅格组成的组中选择。
20. —种用于加热的导管的热绝缘护套，包括 具有外壁和内壁的挤压主体；和 多个空气舱，其形成于所述外壁和所述内壁之间。
21. 如权利要求20所述的热绝缘护套，其特征在于，所述空气舱 限定纵向舱。
22. 如权利要求20所述的热绝缘护套，其特征在于，所述空气舱限定多个形成于所述内壁中的空气凹腔。
23. —种用于加热的导管的热绝缘护套，包括 包括纵向狭缝的主体；和 设置在所述纵向狭缝附近的挡片；其中，在所述热绝缘护套设置在所述加热的导管周围时，所述挡 片放置在所述纵向狭缝上。
24. 如权利要求23所述的热绝缘护套，其特征在于，所述挡片从 以下用于将所述挡片固紧到所述主体的材料组成的组中选择粘性涂 层材料、Velcro 、和卡扣。
25. 如权利要求23所述的热绝缘护套，其特征在于，所述主体受 到挤压。
26. —种用于加热的导管的热绝缘护套，包括限定有外壁和内壁 的主体，所述主体包括沿着所述内壁设置、用来收容伴热节段形状的 凹腔。
27. 如权利要求26所述的热绝缘护套，其特征在于，所述凹腔是 矩形的。
28. 如权利要求26所述的热绝缘护套，其特征在于，所述凹腔是 弧形的。
29. —种模块化加热器系统，包括 伴热组件，其包括限定多个翅片的伴热节段； 包围所述伴热节段的绝缘护套；和 至少一个终端构件，其设置在所述伴热节段端部;和 连接件组件，其包括机壳，所述机壳包括多个外壁和内壁，两者之间限定腔；和 配合加热器组件，其设置在所述机壳内并包括配合适配器、设置在所述配合适配器周围的伴热节段和设置在所述配合适配器周围 的外罩。
30. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述绝 缘护套包括多个对称部段。
31. 如权利要求30所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述对 称部段包括相对的弯曲唇部和相对的锁定凸片，所述锁定凸片沿着所 述绝缘护套的相对的铰链延伸。
32. 如权利要求30所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述对 称部段进一步包括凹陷的外表面，以收容紧固构件。
33. 如权利要求32所述的模块化伴热组件，进一步包括作为紧固 构件的绝缘带材。
34. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述绝 缘护套进一步包括狭槽来收容所述终端构件至少一部分。
35. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述绝 缘护套进一步包括沿着内表面的反射表面涂层。
36. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，进一步包括位于所述 伴热节段的各端部的终端构件。
37. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述终 端构件包括用作引导导线出口的凸台。
38. 如权利要求37所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述凸 台包括以凹槽隔开的相邻平台。
39. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述终 端构件包括壳体和紧固到所述壳体的端盖。
40. 如权利要求39所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述壳 体包括内腔和多个孔来收容电连接部。
41. 如权利要求39所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述壳 体进一步包括多个延伸件。
42. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳包括多个机壳构件。5
43. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳构件包括铰链元件。
44. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳构件包括至少一个挠性凸片和至少一个相应凹口 ，所述挠性凸片啮 合所述凹口，从而将所述机壳构件紧固在一起。
45. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳构件包括至少一个挠性凸片和至少一个相应开口，所述挠性凸片啮 合所述开口，从而将所述机壳构件紧固在一起。
46. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳构件可以互换。
47. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，进一步包括沿着所述 机壳至少一个内表面的反射表面涂层。
48. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述机 壳包括多个轮缘，所述轮缘适配成啮合相邻伴热节段。
49. 如权利要求48所述的模块化伴热组件，进一步包括机盖，其 适配于啮合在所述轮缘中。
50. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述外 罩包括内腔，其收容引导导线。
51. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述外 罩进一步包括铰链元件。
52. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述外 罩进一步包括用于引导导线的应变释放件。
53. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述外 罩包括两个外罩，这两个外罩各自包括连接设备，从而将这两个外罩 彼此紧固。
54. 如权利要求29所述的模块化伴热组件，其特征在于，所述配 合适配器进一步包括至少一个狭缝，用于所述配合适配器的膨胀。
全文摘要
提供一种用于加热导管的模块化伴热组件(50)，其包括至少一个预制伴热节段(52)，该伴热节段限定细长主体，该主体具有沟槽和一对锁定边缘，用于将所述伴热节段固紧到所述导管。连接件(72)固紧到所述伴热节段，用于耦接相邻伴热节段，且所述伴热节段和所述连接件具有匹配的机械特征，以允许所述伴热节段快速连接到所述导管系统或者从所述导管系统断开。在一种形式中，所述伴热节段限定多个绝缘隔离件，其优选表现为翅片形式。
文档编号F16L53/00GK101283213SQ200680037489
公开日2008年10月8日 申请日期2006年8月9日 优先权日2005年8月9日
发明者A·博尔特, C·C·拉纳姆, E·E·埃利斯, L·P·施泰因豪泽, S·L·莱宁格尔 申请人:沃特洛电气制造公司