专利名称：快速热处理装置的加热器单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种快速热处理装置的加热器单元，更具体地，涉及一种分离型加热 器单元。
背景技术：
快速热处理装置(RTP)的关键是在短时间内快速地将基板加热到所需的温度。快 速加热是在基板被均勻地加热的条件下执行的。已提出了用以均勻地加热基板的各种布置 加热灯的方式。然而，由于加热器单元是一体形成的，因此，实际上不能根据处理中的变化 来重新布置加热灯。此外，加热器单元消耗大量能量，并因此成为快速热处理装置的主要部件。然而， 由于加热器单元是一体形成的，如果加热器单元的部件由于热量或因其它原因所产生的故 障而被损坏，则不能简单地用新的部件来替换所述部件，由此导致许多维护和修理方面的 问题。使从加热灯射出的光转向基板以提高快速加热效率的挡板(barrier)被安装在 加热灯之间。这些挡板被用作次级间接热源，并因此导致基板加热不均勻。传统的快速热处理装置会导致下述问题，诸如，因加热器单元是一体形成的而导 致的难以维护和修理加热器单元，难以重新布置加热灯，以及因难以冷却而导致基板加热 不均勻。
发明内容
技术问题因此，考虑到上述问题而提出本发明，并且本发明的目的是提供一种快速热处理 装置的分离型加热器单元，所述分离型加热器单元易于维护和修理，便于重新布置加热灯， 并且被部分地冷却以避免基板加热不均勻。技术方案根据本发明的一个方面，上述和其它目的可以通过提供一种快速热处理装置的加 热器单元来实现，所述快速热处理装置的加热器单元包括灯罩，所述灯罩形成为平板形状 并且设置有多个插灯孔，加热灯分别插入所述插灯孔中；插座罩，加热灯的插座插入所述插 座罩中，所述插座罩可分离地覆盖在灯罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在与插灯孔相对 应的位置设置有出光孔，所述反射器罩可分离地安装在所述灯罩的下面，从而使得加热灯 下端分别插入出光孔中，出光孔的侧壁用作挡板，其中，冷却水流过的冷却水槽穿过反射器 罩的出光孔的侧壁形成。冷却水流过的冷却水槽可穿过灯罩的插灯孔的侧壁形成。冷却水入口和冷却水出口可穿过插座罩形成，从而使得冷却水流入插座罩。在0形环插置在插座罩和灯罩之间，以及0形环插置在灯罩和插座罩之间的情况 下，插座罩和灯罩可通过夹具彼此固定，以及灯罩和插座罩可通过夹具彼此固定。
有益效果本发明的加热器单元是分离的，并因此易于维护和修理，并且灯罩和反射器罩注 入有冷却水，正如一个墨盒，并且因此，可以防止加热器单元的部件被热量损坏，并且防止 基板因次级热源的产生而被不均勻地加热。
从下面的结合附图的详细描述中，将更加清楚地理解本发明的上述和其它目的、 特征和其它优点，在附图中图1是图示根据本发明的快速热处理装置的加热器单元的示意图。
具体实施例方式现在，将参照附图详细描述本发明的优选实施例。下面的实施例仅是为了更好地 理解本发明而进行描述的，本领域技术人员应该理解，在不脱离在所附的权利要求中所公 开的本发明的范围和精神的情况下，可以对实施例进行各种改进。图1是图示根据本发明的快速热处理装置的加热器单元的示意图。参照图1，本发 明的加热器单元包括可分离地连接的灯罩50、插座罩30和反射器罩60。灯罩50形成为平板形状，多个插灯孔穿过灯罩50垂直地形成。插座罩30覆盖在 灯罩50的上表面上。在0形环38插置在灯罩50和插座罩30之间的情况下，灯罩50和插座罩30通过 夹具37彼此固定。通过电源10被供应以能量的加热灯40被插入灯罩50中，从而使得加 热灯40的灯座56被插入插座罩30中，并且加热灯40的下端55面向下方。反射器罩60形成为平板形状，出光孔66穿过反射器罩60形成在与插灯孔相对应 的位置，并且加热灯40的下端55被插入出光孔66中。反射器罩60和灯罩50通过夹具57 彼此固定，0形环58插置在反射器罩60和灯罩50之间。出光孔66形成为倒圆锥形状，出光孔66的侧壁用作挡板65。为了用作挡板65， 出光孔66的侧壁由可以反射光的材料制成，或者涂覆有这种材料。冷却水入口 69a和冷却水出口 69b形成为穿过反射器罩60，有冷却水流过的冷却 水槽(channel)形成在反射器罩60中。此外，冷却水入口 59a和冷却水出口 59b形成为穿 过灯罩50，并且冷却水流过的冷却水槽形成在灯罩50的插灯孔的侧壁中。这里，附图标记 59和69分别表示注入灯罩50和挡板65的冷却水。使得诸如N2的冷却气体流入灯罩50和插座罩30之间的空间的冷却气体入口 39a 和冷却气体出口 39b穿过插座罩30形成。因此，灯座56被诸如N2的冷却气体冷却。使得诸如N2的环境气体流入位于加热器单元下面的热处理空间的环境气体入口 79a和环境气体出口 79b穿过反射器罩60形成。工业应用性如从上述描述所显而易见的，根据本发明的加热器单元被分为三个部件，S卩，插座 罩30、灯罩50和反射器罩60。因此，即使加热器单元的具体部件由于热量或其它原因而被 损坏，也可以拆卸加热器单元的各个部件，然后容易地修理被损坏的部件。此外，对挡板65 进行冷却，由此可以防止挡板65用作不希望的次级热源。
尽管本发明的优选实施例是为了说明目的而公开的，但是本领域技术人员应该理 解，在不脱离在所附的权利要求中所公开的本发明的范围和精神的情况下，可以对本发明 进行各种改进、增补和替换。
权利要求
一种快速热处理装置的加热器单元，包括灯罩，所述灯罩形成为平板形状，并且所述灯罩设置有多个插灯孔，加热灯分别插入所述插灯孔中；插座罩，所述加热灯的插座插入所述插座罩中，所述插座罩可分离地覆盖在所述灯罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在与所述插灯孔相对应的位置设置有出光孔，所述反射器罩可分离地安装在所述灯罩的下面，从而使得所述加热灯的下端分别插入所述出光孔中，所述出光孔的侧壁用作挡板，其中，冷却水流过的冷却水槽穿过所述反射器罩的所述出光孔的侧壁形成。
2.根据权利要求1所述的加热器单元，其中，所述冷却水流过的所述冷却水槽穿过所 述灯罩的所述插灯孔的侧壁形成。
3.根据权利要求1所述的加热器单元，其中，冷却水入口和冷却水出口穿过所述插座 罩形成，从而使得所述冷却水流入所述插座罩。
4.根据权利要求1所述的加热器单元，其中，在0形环插置在所述插座罩和所述灯罩之 间，以及0形环插置在所述灯罩和所述插座罩之间的情况下，所述插座罩和所述灯罩通过 夹具彼此固定，以及所述灯罩和所述插座罩通过夹具彼此固定。
全文摘要
本发明公开了一种快速热处理装置的分离型加热器单元，包括灯罩，所述灯罩形成为平板形状，并且所述灯罩设置有多个插灯孔，加热灯分别插入所述插灯孔中；插座罩，所述加热灯的插座插入所述插座罩中，所述插座罩可分离地覆盖在所述灯罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在与所述插灯孔相对应的位置设置有出光孔，所述反射器罩可分离地安装在所述灯罩的下面，从而使得所述加热灯的下端分别插入所述出光孔中，所述出光孔的侧壁用作挡板，其中，冷却水流过的冷却水槽穿过所述反射器罩的所述出光孔的侧壁形成。
文档编号H05B3/06GK101919304SQ200880118079
公开日2010年12月15日 申请日期2008年12月1日 优先权日2007年12月3日
发明者沈长禹, 许俊, 金昇龙, 黄大天 申请人:Ap系统股份有限公司