专利名称：可调移动垫铁的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种移动垫铁，特别涉及一种可调整高度并且具有自锁及防 振功能的可调移动垫块。
背景技术：
目前，在光刻机整机集成过程中，大多数设备都需要可调移动垫铁，将其移 动和提升到安装位置，实现机械接口的连接。可调移动垫铁就是一个移动和提 升部件。
因而在设备的安装时常常会使用调整垫铁,但是传统的调整垫铁不能够随时 整个移动，从而无法水平移动待安装的设备。
另夕卜，在狭小空间内移动和安装精密设备时，被移动和提升的设备本身体积 就较大，而且在设备周围有许多已经安装好的精密部件，因而造成安装空间有 限。而传统的调整垫铁不具备减振和自锁功能，因而无法保证设备在安装时稳 定不动，也无法保证设备在晃动中不与其他精密部件相碰撞，不能满足安装要 求。
因此，需要提供一种可调移动垫铁，来实现狭小空间设备安装的要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可调移动垫铁，以水平移动待安 装设备，并且在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保 证设备稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动。
为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的 一可调移动垫铁，包 括一具有下斜面的上块， 一具有上斜面的下块，该上斜面与该下斜面可相对滑
动，及一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，其进一步包括 数个压入型钢珠滚轮，其安装在该下块的下方；其中该螺杆的 一端安装有一六角法兰螺母，并且该螺杆的另 一端沿轴向延 伸入该上块的内部。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括 一安装在该上块上方的垫片。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括该下块的上方部位沿轴向具有一导 轨槽，该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括该垫片为有机材料并且可使用强力 胶水安装在该上块的上方。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括该下块的底面与该上块的顶面均水 平设置并且保持平行。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括上述上斜面与下斜面均为倾斜角度 大于自锁角度的斜面。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括该压入型钢珠滚轮的数量为4个。
上述的可调移动垫铁，其进一步包括上述数个压入型钢珠滚轮，其经由 过盈配合的方式安装在该下块的下方。
本实用新型由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下 的优点和积极效果
1、 当该上块与下块自锁后，经由数个压入型钢珠滚轮的滚动，可水平移动 待安装设备；
2、 在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保证设备 稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动；
3、 整个装置结构紧凑，移动方便，调整灵活。
本实用新型的可调移动垫铁由以下的实施例及附图给出。
图1为本实用新型的可调移动垫铁主视图2为本实用新型的可调移动垫铁的俯视图3为本实用新型的可调移动垫铁的右视图4为本实用新型的可调移动垫铁的上块移动到最低点的示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的可调移动垫铁作进一步的详细描述。
如图1至图3所示，该可调移动垫铁10包括下块1,上块2，垫片3,六角 薄螺母4，六角法兰螺母5，螺杆6及数个压入型钢珠滚轮7。该下块l的上方 中央部位沿轴向具有一导轨槽011，该螺杆6的一端依次安装有六角法兰螺母5 及该六角薄螺母4，并且该螺杆6安装在该下块1的一侧。该螺杆6的另 一端沿 轴向延伸入该上块2的内部，因而该上块2通过该螺杆6安装在该下块1的该 导轨槽011中。该下块1的底面与该上块2的顶面均水平设置并且保持平行。 该下块1的一上斜面012与该上块2的一下斜面022均为倾斜角度大于自锁角 度的斜面，该上斜面012与该下斜面022能经由该螺杆6的转动而相对运动。 该垫片3为有机材料并且可使用强力胶水安装在该上块2的上方，以起到设备 的减振作用。该压入型钢珠滚轮7的表面071是球面，经由过盈配合的方式安 装在该下块l的下方，在本实用新型中，该压入型钢珠滚轮7的数量为4个。
在安装设备的过程中，该可调移动垫铁IO运用于精密仪器的狭小空间中， 将设备放在该垫片3的上方，由于该上块2可通过该螺杆6的转动在该下块1 的导轨槽中滑动，从而在提升或降低设备的过程中可减小整个可调移动垫铁10 的占用空间。
当要提升设备时，顺时针转动该螺杆6使该上块2的下表面022沿该导轨 槽011相对该下块1的上表面012向上移动，从而将该可调移动垫铁10高度增 加以调整到合适位置。
当使用该可调移动垫铁IO将设备从精密仪器中移除时，逆时针转动该螺杆 6使该上块2的下表面022沿该导轨槽011相对该下块1的上表面012向下移动， 从而将该可调移动垫铁10高度减少以调整到合适位置。
提升或移动设备完毕后，锁紧六角法兰螺母5，从而可调移动垫铁10的高 度固定，设备不产生晃动。
经由该数个压入型钢珠滚轮4的滚动，可以轻松随意移动该可调移动垫铁 IO到合适的位置，以安装或拆除"i殳备。
权利要求1.一可调移动垫铁，包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与该下斜面可相对滑动，及一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，其特征在于进一步包括数个压入型钢珠滚轮，其安装在该下块的下方；其中该螺杆的一端安装有一螺母，并且该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部。
2. 如权利要求1所述的可调移动垫铁，其特征在于进一步包括 一安装在 该上块上方的垫片。
3. 如权利要求1或2所述的可调移动垫铁，其特征在于该下块的上方部 位沿轴向具有一导轨槽，该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
4. 如权利要求3所述的可调移动垫铁，其特征在于该垫片为有机材料并 使用强力胶水安装在该上块的上方。
5. 如权利要求3所述的可调移动垫铁，其特征在于该下块的底面与该上 块的顶面均水平设置并且保持平行。
6. 如权利要求5所述的可调移动垫铁，其特征在于上述上斜面与下斜面 均为倾斜角度大于自锁角度的斜面。
7. 如权利要求6所述的可调移动垫铁，其特征在于该压入型钢珠滚轮的 数量为4个。
8. 如权利要求6所述的可调移动垫铁，其特征在于上述数个压入型钢珠 滚轮，其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。
专利摘要本实用新型提出了一种可调移动垫铁，其包括一具有下斜面的上块，一具有上斜面的下块，该上斜面与上述下斜面可相对滑动；一螺杆，该螺杆的一端安装在该下块的一侧，并且该端依次安装有一六角法兰螺母，该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部；复数个压入型钢珠滚轮，其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。该可调移动垫铁可水平移动待安装设备，并且在移动和提升设备时，特别是在狭小空间移动和提升设备时，保证设备稳定运行，在安装设备时保证设备稳定不动。
文档编号F16M7/00GK201141505SQ20072007604
公开日2008年10月29日 申请日期2007年11月13日 优先权日2007年11月13日
发明者育 刘, 吴荣基, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司