可调移动垫铁的制作方法

文档序号:5682786
专利名称:可调移动垫铁的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种移动垫铁,特别涉及一种可调整高度并且具有自锁及防 振功能的可调移动垫块。
背景技术
目前,在光刻机整机集成过程中,大多数设备都需要可调移动垫铁,将其移 动和提升到安装位置,实现机械接口的连接。可调移动垫铁就是一个移动和提 升部件。
因而在设备的安装时常常会使用调整垫铁,但是传统的调整垫铁不能够随时 整个移动,从而无法水平移动待安装的设备。
另夕卜,在狭小空间内移动和安装精密设备时,被移动和提升的设备本身体积 就较大,而且在设备周围有许多已经安装好的精密部件,因而造成安装空间有 限。而传统的调整垫铁不具备减振和自锁功能,因而无法保证设备在安装时稳 定不动,也无法保证设备在晃动中不与其他精密部件相碰撞,不能满足安装要 求。
因此,需要提供一种可调移动垫铁,来实现狭小空间设备安装的要求。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可调移动垫铁,以水平移动待安 装设备,并且在移动和提升设备时,特别是在狭小空间移动和提升设备时,保 证设备稳定运行,在安装设备时保证设备稳定不动。
为了解决上述技术问题,本实用新型是这样实现的 一可调移动垫铁,包 括一具有下斜面的上块, 一具有上斜面的下块,该上斜面与该下斜面可相对滑
动,及一螺杆,该螺杆的一端安装在该下块的一侧,其进一步包括 数个压入型钢珠滚轮,其安装在该下块的下方;其中该螺杆的 一端安装有一六角法兰螺母,并且该螺杆的另 一端沿轴向延 伸入该上块的内部。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括 一安装在该上块上方的垫片。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括该下块的上方部位沿轴向具有一导 轨槽,该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括该垫片为有机材料并且可使用强力 胶水安装在该上块的上方。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括该下块的底面与该上块的顶面均水 平设置并且保持平行。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括上述上斜面与下斜面均为倾斜角度 大于自锁角度的斜面。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括该压入型钢珠滚轮的数量为4个。
上述的可调移动垫铁,其进一步包括上述数个压入型钢珠滚轮,其经由 过盈配合的方式安装在该下块的下方。
本实用新型由于采用了上述的技术方案,使之与现有技术相比,具有以下 的优点和积极效果
1、 当该上块与下块自锁后,经由数个压入型钢珠滚轮的滚动,可水平移动 待安装设备;
2、 在移动和提升设备时,特别是在狭小空间移动和提升设备时,保证设备 稳定运行,在安装设备时保证设备稳定不动;
3、 整个装置结构紧凑,移动方便,调整灵活。


本实用新型的可调移动垫铁由以下的实施例及附图给出。
图1为本实用新型的可调移动垫铁主视图2为本实用新型的可调移动垫铁的俯视图3为本实用新型的可调移动垫铁的右视图4为本实用新型的可调移动垫铁的上块移动到最低点的示意图。
具体实施方式

以下将对本实用新型的可调移动垫铁作进一步的详细描述。
如图1至图3所示,该可调移动垫铁10包括下块1,上块2,垫片3,六角 薄螺母4,六角法兰螺母5,螺杆6及数个压入型钢珠滚轮7。该下块l的上方 中央部位沿轴向具有一导轨槽011,该螺杆6的一端依次安装有六角法兰螺母5 及该六角薄螺母4,并且该螺杆6安装在该下块1的一侧。该螺杆6的另 一端沿 轴向延伸入该上块2的内部,因而该上块2通过该螺杆6安装在该下块1的该 导轨槽011中。该下块1的底面与该上块2的顶面均水平设置并且保持平行。 该下块1的一上斜面012与该上块2的一下斜面022均为倾斜角度大于自锁角 度的斜面,该上斜面012与该下斜面022能经由该螺杆6的转动而相对运动。 该垫片3为有机材料并且可使用强力胶水安装在该上块2的上方,以起到设备 的减振作用。该压入型钢珠滚轮7的表面071是球面,经由过盈配合的方式安 装在该下块l的下方,在本实用新型中,该压入型钢珠滚轮7的数量为4个。
在安装设备的过程中,该可调移动垫铁IO运用于精密仪器的狭小空间中, 将设备放在该垫片3的上方,由于该上块2可通过该螺杆6的转动在该下块1 的导轨槽中滑动,从而在提升或降低设备的过程中可减小整个可调移动垫铁10 的占用空间。
当要提升设备时,顺时针转动该螺杆6使该上块2的下表面022沿该导轨 槽011相对该下块1的上表面012向上移动,从而将该可调移动垫铁10高度增 加以调整到合适位置。
当使用该可调移动垫铁IO将设备从精密仪器中移除时,逆时针转动该螺杆 6使该上块2的下表面022沿该导轨槽011相对该下块1的上表面012向下移动, 从而将该可调移动垫铁10高度减少以调整到合适位置。
提升或移动设备完毕后,锁紧六角法兰螺母5,从而可调移动垫铁10的高 度固定,设备不产生晃动。
经由该数个压入型钢珠滚轮4的滚动,可以轻松随意移动该可调移动垫铁 IO到合适的位置,以安装或拆除"i殳备。
权利要求1.一可调移动垫铁,包括一具有下斜面的上块,一具有上斜面的下块,该上斜面与该下斜面可相对滑动,及一螺杆,该螺杆的一端安装在该下块的一侧,其特征在于进一步包括数个压入型钢珠滚轮,其安装在该下块的下方;其中该螺杆的一端安装有一螺母,并且该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部。
2. 如权利要求1所述的可调移动垫铁,其特征在于进一步包括 一安装在 该上块上方的垫片。
3. 如权利要求1或2所述的可调移动垫铁,其特征在于该下块的上方部 位沿轴向具有一导轨槽,该上块通过该螺杆安装在该下块的导轨槽中。
4. 如权利要求3所述的可调移动垫铁,其特征在于该垫片为有机材料并 使用强力胶水安装在该上块的上方。
5. 如权利要求3所述的可调移动垫铁,其特征在于该下块的底面与该上 块的顶面均水平设置并且保持平行。
6. 如权利要求5所述的可调移动垫铁,其特征在于上述上斜面与下斜面 均为倾斜角度大于自锁角度的斜面。
7. 如权利要求6所述的可调移动垫铁,其特征在于该压入型钢珠滚轮的 数量为4个。
8. 如权利要求6所述的可调移动垫铁,其特征在于上述数个压入型钢珠 滚轮,其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。
专利摘要本实用新型提出了一种可调移动垫铁,其包括一具有下斜面的上块,一具有上斜面的下块,该上斜面与上述下斜面可相对滑动;一螺杆,该螺杆的一端安装在该下块的一侧,并且该端依次安装有一六角法兰螺母,该螺杆的另一端沿轴向延伸入该上块的内部;复数个压入型钢珠滚轮,其经由过盈配合的方式安装在该下块的下方。该可调移动垫铁可水平移动待安装设备,并且在移动和提升设备时,特别是在狭小空间移动和提升设备时,保证设备稳定运行,在安装设备时保证设备稳定不动。
文档编号F16M7/00GK201141505SQ20072007604
公开日2008年10月29日 申请日期2007年11月13日 优先权日2007年11月13日
发明者育 刘, 吴荣基, 袁志扬 申请人:上海微电子装备有限公司
再多了解一些
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1