真空阀的制作方法

专利名称：真空阀的制作方法
真空阀本发明涉及一种真空阀，包括带阀口的阀体，所述阀口具有轴线；包围阀口的阀 座，所述阀座具有第一阀座主分段和第二阀座主分段，这些阀座主分段在阀口的轴线方向 上相对错开地布置，并且通过第一和第二阀座连接段相互连接；闭合元件，该闭合元件可以 沿着与阀口轴线呈一定角度的闭合方向从阀口被开启时所在的开启位置朝向阀口被密闭 时所在的闭合位置直线移动，并且可以与闭合方向相反地从闭合位置朝向开启位置直线移 动；至少一个布置在闭合元件上的周边封闭的密封件，所述密封件具有对应于第一和第二 阀座主分段以及第一和第二阀座连接段的第一和第二密封件主分段以及第一和第二密封 件连接段，所述密封件在由两个侧壁和一个底壁形成横断面边界的槽中延伸，其中第一密 封件主分段布置在相对于闭合方向靠前的闭合元件前端面上，并且具有中间部分，密封件 在该中间部分中直线延伸。在加工带材尤其是薄膜材料带材的真空设备中，要从卷辊上放开带材，并且在完 成加工之后将其收卷到卷辊上，存在必须在完全放卷或者收卷之后更换卷辊的问题。为此 要将其布置在各自的真空室之中，这些真空室可以通过阀门与在其中进行加工的真空室分 开。可以朝向连续通过的带材材料将阀门闭合。这样就能避免在更换相应卷辊时空气涌进 整个真空设备。为此通常使用斜座阀作为真空阀，将闭合元件朝向倾斜于阀口轴线的阀座 直线移动，即可使真空阀闭合。主要缺点是在阀闭合过程中会使得带材材料弯曲。例如US 4，809，950,US 4，881，717,US 5，909，867 和 US 6，685，163 就公开了上述 类型的真空阀。这些阀具有简单的结构，可以通过闭合元件的直线运动(不同于其它类型 阀门的闭合元件的例如L形的运动)快速将其闭合、开启，但要在闭合元件闭合时避免横向 力作用于密封件，而且在闭合、开启过程中释放出比较少的微粒。这些真空阀中的密封件通常布置在闭合元件上，而且在真空阀处在闭合状态时朝 向真空阀的阀座密封面将其压紧。多数情况下将密封件硫化成型于闭合元件上，因此在密 封件磨损之后的维护费用很大。对于这种类型的阀而言，已知同样也有一种布置于闭合元 件的槽之中的0形密封圈形式的密封件。在上述用于带材涂层设备之中的斜座阀中，为了在朝向通过的带材将阀闭合时获 得更好的密封效果，在闭合元件的端面以及阀座上分别布置有周边封闭的密封件。如果在 没有带材通过的情况下将阀闭合，闭合元件和阀座上的这些密封件就会相互压紧。如果在 带材通过阀口时将阀闭合，密封件的分段两侧就被压紧在带材上。带材的宽度小于周边封 闭密封件的延伸部分，从而使得位于带材两侧的密封件分段被相互压紧。若为用来将真空阀的两个阀体部件相互密封地连接的静态密封件，已知的方式是 将密封件布置在槽之中，由夹紧板形成该槽的两个侧壁的其中一个侧壁，用螺丝将夹紧板 固定在具有密封件的阀体部件上。以前可以采用这种设计结构，以简单方式形成用于固定0 形圈的侧凹槽。现在可以利用CNC铣床直接在实心部件中形成侧凹槽，从而使得利用夹紧 板形成侧凹槽的方式显得比较复杂而且昂贵。如果是一种滑阀，已知还可以用弯曲的钣金件形成阀盘，当真空阀处在闭合状态 时，闭合元件的两个阀盘相互分开，以便将固定于阀盘上的密封件压紧在包围阀口的对面密封面上。在相应的阀盘上将0形圈夹紧在阀盘的弯曲边缘和横断面弯曲的环形固定元件 之间，通过点焊将该固定元件与阀盘连接在一起。以这种方式在弯曲板材制成的阀盘中形 成0形圈固定槽。US 6，899，316公开了一种真空阀，可以使其阀板从阀座上抬起后从开启阀口时所 在的开启位置经由遮盖阀口时所在的中间位置移动到压紧在阀座上时所在的闭合位置之 中。用来在开启位置和中间位置之间进行调整的第一驱动装置可以直线移动支撑阀板的支 撑单元。至少有一个由支撑单元形成的活塞-缸单元可用来在中间位置和闭合位置之间进 行调整，活塞可以在支撑单元的缸孔(Zylinderausnehmimg)中移动。通过第一和第二密封 件相对于支撑单元密封支撑阀板的活塞杆，以便相对于真空阀的真空区域可靠密封施加到 阀杆调整缸室之中的高于大气压的超压。有一个与大气连通或者可以抽气的通道接入到被 两个密封件包围的空间之中，这样就可以进一步改善相对于缸室中的超压的密封可靠性。本发明的任务在于，提供一种经过改进可用于带材加工真空设备之中的真空阀， 当带材通过阀口时，也可以闭合真空阀并且可以密封阀口。根据本发明，采用一种具有权利要求1所述特征的真空阀，即可解决这一任务。本发明的真空阀至少配有一个布置于闭合元件上的周边封闭的密封件，该密封件 的纵向延展部分的位于第一密封件主分段中间部分中的第一局部区域被夹紧板所夹紧。该 夹紧板固定在闭合元件上，优选用螺丝将其与闭合元件固定在一起，并且形成槽的两个侧 壁的其中一个侧壁，密封件在该槽中伸展。密封件的纵向延展部分的第二局部区域穿过由 闭合元件构成其两个侧壁和底壁的槽，即没有设置单独的夹紧板。当真空阀被闭合且带材穿过阀口时，密封件至少在第一密封件主分段中间部分延 伸的一部分纵向范围内压紧在带材上。尤其当带材温度升高时，可能会导致密封件一定程 度粘着在带材上。利用夹紧板将密封件的纵向延展部分的第一局部区域夹紧，即可在重新 开启真空阀时，防止从槽中拖出密封件。如果特别是在下次闭合真空阀时拖出密封件，就会 使其遭到损坏，从而必须进行维护。在密封件纵向延展部分的第二局部区域内形成整体在闭合元件中构造的槽，可以 在总体上减少制造和装配费用。利用夹紧板将密封件的纵向延展部分的第一局部区域夹紧，该第一局部区域优选 大于第一密封件主分段中间部分的纵向延展部分的三分之二，特别优选大于该纵向延展部 分的90%。这样就能将密封件的第一密封件主分段的中间部分有效固定在槽之中。本发明的一种有益实施方式规定，密封件仅仅在其纵向延展部分的位于第一密封 件主分段中间部分中的第一局部区域内被夹紧板所夹紧，而密封件的其它部位则穿过整体 在闭合元件中构造的槽(即没有单独的夹紧板)，也就是说，密封件纵向延展部分的第二局 部区域在密封件的全部剩余的纵向延展部分范围内延伸(不包括第一局部区域)。在本发明的一种首选实施方式中，第一和第二周边封闭的密封件优选相隔不变的 间距布置在闭合元件上。这些密封件各自具有属于第一、第二阀座主分段和第一、第二阀座 连接段的第一、第二密封件主分段以及第一、第二密封件连接段，并且在各自的槽中延伸。 这两个密封件的纵向延展部分的各自位于第一密封件主分段中间部分中的第一局部区域 被夹紧板所夹紧，该夹紧板固定于闭合元件上，优选用螺丝固定在该闭合元件上。夹紧板分 别形成槽的两个侧壁的其中一个侧壁。比较适宜的方式是给这两个密封件配置一个共用的夹紧板，该夹紧板位于两个密封件之间，并且形成槽的相邻侧壁。在相应密封件的纵向延展 部分第二局部区域内，整体上由闭合元件形成密封件在其中延伸的槽，即这里并未设置夹 紧板。优选针对于布置在闭合元件上的每一个周边封闭的密封件，在阀座上布置周边封 闭的阀座密封件，如果在没有带材通过阀口的情况下将真空阀闭合，当闭合元件处在闭合 位置中时，该阀座密封件就会在其全部纵向延展部分的范围内压紧在闭合元件上的相应密 封件上。当朝向通过阀口的带材将闭合元件闭合时，布置在闭合元件和阀座上的密封件就 会在其一部分纵向延展部分的范围内(带材在这些密封件之间延伸经过该部分)从相对侧 压紧在带材表面上，并且在其纵向延展部分的剩余区域内相互压紧。这样可以减小带材受 损的风险，而且由此当朝向通过阀口的带材将阀闭合时可以改善阀口的密封效果。比较有益的方式是当闭合元件在没有带材通过阀口的情况下处在闭合位置中时， 至少在一部分区域的范围内用夹紧板将至少一个布置在阀座上的阀座密封件夹紧，从而使 其压紧在闭合元件上的相应密封件的第一局部区域上，所述夹紧板构成阀座密封槽的两个 侧壁的其中一个侧壁，阀座密封件在该槽中延伸。如果在闭合元件上并且必要时也在阀座上布置有第一和第二密封件，则优选至少 配置一个抽吸通道，可以通过该抽吸通道将位于闭合元件上的和/或阀座上的第一和第二 密封件之间的间隙中的空气抽出。采用这种中间抽吸方式，尤其当朝向通过阀口的带材将 闭合元件闭合时，可以进一步减小真空阀的泄漏率。以下将根据附图对本发明的其它优点和细节进行解释。附图如下附

图1为本发明第一种实施例所述真空阀在闭合状态下的斜视图；附图2为附图1所示真空阀的视图；附图3为附图2所示真空阀在开启状态下的视图；附图4为真空阀的一些部件(阀体部件和阀座)被省略之后的斜视图；附图5为另一个视角的斜视图，其中省略了真空阀的一些部件(阀体部件和闭合 元件)；附图6为沿附图2中的剖面线AA剖开的剖面图；附图7为沿附图3中的剖面线BB剖开的剖面图；附图 8d为沿附图2中的剖面线CC剖开的不同夹紧板实施方式的剖面图；附图9为沿附图2中的剖面线DD剖开的剖面图；附图10为沿附图2中的剖面线EE剖开的剖面图；附图11为类似于附图6的视图，但是包括通过阀口的带材，闭合元件已朝向带材 闭合；附图12为用于加工带材的真空设备的示意图，其中使用了本发明所述的阀。附图1 11所示为本发明所述用于加工带材的真空设备之中的真空阀的一种实 施例。真空阀具有阀体1，该阀体包括具有轴线3的通道或阀口 2。阀口 2被阀座所包围， 该阀座具有第一阀座主分段4和第二阀座主分段5。第一和第二阀座主分段4、5在阀口 2 的轴线3方向相对错开地布置。阀座主分段4、5处在相隔一定距离且平行于闭合方向8或 者优选垂直于轴线3的平面之中。第一和第二阀座主分段4、5的纵向延展部分的位于一侧 的末端通过第一阀座连接段6相互连接，第一和第二阀座主分段4、5的纵向延展部分的位于另一侧的末端通过第二阀座连接段7相互连接。第一和第二阀座连接段7、8各自具有U 形走向。阀体1包括第一和第二壳壁部件52、53，这些壳壁部件各自具有开口，该开口形成 穿过阀体1的通道。以下将要描述的闭合元件9位于壳壁部件52、53之间的间隙之中。阀 座布置在阀座部件M上，该阀座部件与阀体1的其它部件刚性相连，例如通过连杆55和连 接螺栓56相连。因此也可以将阀座部件M看成是阀体1的一部分。阀座部件M也可以 与阀体的壳壁部件形成一个整体。真空阀的闭合元件9可以从阀口 2至少部分开启、优选在轴线3方向来看完全开 启(附图3和6)时所在的开启位置，朝向闭合方向8直线移动到阀口被密闭时所在的闭合 位置之中(附图1、2和7)。使得闭合元件9与闭合方向8相反地从其闭合位置移动到开启 位置之中，即可开启真空阀。通常用来进行移动的是至少一个驱动部件57，例如其活塞杆与 闭合元件9相连的活塞-缸单元。闭合方向8与阀口 2的轴线3之间呈一定角度，尤其大致垂直于阀口 2的轴线3， 这里所述的“大致”表示与直角布置之间的偏差小于25°。特别优选采用直角布置形式，如 附图中所示的实施例。用一种弹性材料制成的第一和第二周边封闭的密封件10、11布置在闭合元件9 上，这些密封件在第一和第二槽12、13之中延伸。第一和第二密封件10、11各自具有对应于第一和第二阀座主分段4、5的第一和第 二密封件主分段14、15，也就是说，这些密封件主分段在闭合元件9处在开启位置之中时相 对于闭合方向8位于第一和第二阀座主分段4、5对面，而当闭合元件9处在闭合位置之中 且没有带材38通过阀口 2时则紧贴在第一和第二阀座主分段4、5的密封面上，或者按照附 图所示的实施例紧贴在阀座密封件观、29的分段上，这些分段在第一或第二阀座主分段4、 5范围内延伸，以下还将对此进行描述。相应密封件10、11的第一和第二密封件主分段14、15均通过第一和第二密封件连 接段16、17相互连接。第一和第二密封件连接段16、17对应于第一和第二阀座连接段6、7， 也就是说，这些密封件连接段在闭合元件9处在开启位置之中时相对于闭合方向8位于阀 座连接段6、7对面，而当闭合元件9处在闭合位置之中且没有带材38通过阀口 2时则紧贴 在第一或第二阀座连接段6、7的密封面上，或者紧贴在阀座密封件的相应分段上，这些分 段在阀座连接段范围内延伸。第一和第二密封件10、11的第一密封件主分段14处在相隔一定距离的平行平面 之中。第一和第二密封件10、11的第二密封件主分段15处在相隔一定距离的平行平面之 中。第一密封件主分段14的平面与第二密封件主分段15的平面相互平行。这些平面均平 行于闭合方向8，并且优选垂直于轴线3。第一和第二密封件连接段16、17各自具有U形或 者半圆形或者其它弯曲180°的走向。第二密封件11在其整个周向范围内被第一密封件10所包围。第一密封件主分段14相对于闭合方向8比第二密封件主分段15更加靠前。第一 密封件主分段14在相对于闭合方向靠前的闭合元件9前端面18范围内延伸。第一密封件 主分段14具有中间部分19，密封件10在其中呈直线地并且垂直于闭合方向延伸。前端面 18在中间部分19的延伸范围内指向闭合方向8。
紧邻第一密封件主分段14的中间部分19两侧是侧面部分20、21，第一密封件主 分段14的中间部分19通过这些侧面部分与相应的密封件连接段16、17相连。在侧面部分 20,21中，相应的密封件10、11倾斜于闭合方向8 (也就是在平行方向和垂直方向之间有一 定的角度)，与闭合方向8之间的角度范围优选在30° 60°之间。两个侧壁M、24' ；25和一个底壁沈形成第一和第二槽12、13横断面的边界(参 见附图8a d、9和10)。密封件10、11分别以形锁合方式固定在槽12、13之中。第一和第 二槽12、13为此具有侧凹形状。密封件10、11在附图所示的实施例中为0形圈形式，因此具有圆形的横断面。槽 12、13将密封件10、11周边的一半以上围住，以便以形锁合方式将其固定于槽12、13之中。相应的密封件10，11的纵向延展部分的位于第一密封件主分段14的中间部分之 内的第一局部区域22被夹紧板23所夹紧。夹紧板23通过螺丝27固定在闭合元件9上。 夹紧板23构成相应槽12、13的侧壁。另一个侧壁25和底壁沈由闭合元件9的材料 构成。本首选实施例中的两个密封件10、11配有一个共用的夹紧板23。夹紧板23位于 两个密封件10、11之间，并且构成两个槽12、13的相邻侧壁。也可以给每一个密封件 10、11配置一个单独的夹紧板23。第一密封件主分段14的中间部分19在阀口 2的宽度延展部分的方向上延伸，且 宽度延展部分比与其垂直的高度延展部分大三倍以上。宽度延展部分和高度延展部分分别 垂直于轴线3。第一密封件主分段14的中间部分19优选至少在阀口 2的90%的宽度延展 部分的范围内延伸。为了将相应的密封件10、11在中间部分19的区域内可靠固定于相应 的槽12、13之中，第一局部区域22适宜在中间部分19的三分之二以上的纵向延展部分的 范围内延伸，优选在中间部分19的四分之三以上的纵向延展部分的范围内延伸。在相应密封件10、11的纵向延展部分的第二局部区域的范围内，在闭合元件9中 形成全部的槽12、13，也就是说，形成相应的槽12、13边界的两个侧壁M、25和底壁沈均 由闭合元件9构成或者形成材料相同的整体(参考附图9和10)。侧壁和底壁M、25J6 在第二局部区域内的横断面为连续形状，也就是没有例如由相邻部件或材料引起的中断部 位。如图所示，侧壁和底壁M、25J6连续地相互邻接。例如，相应的槽12、13的横断面在 整体上可以呈圆弧形。在附图所示的实施例中，第二局部区域由相应密封件10、11的纵向延展部分的全 部区域构成，位于第一密封件主分段14中间部分19之中的第一局部区域22除外。而且除了第一局部区域22之外，可想而知也可以通过夹紧板将相应的密封件10、 11夹紧在另一个局部区域中，并且可以、但优选仅在第一局部区域22中规定进行这种夹紧。第一和第二周边封闭的阀座密封件观、四均布置在阀座上，这些密封件对应于布 置在闭合元件9上的相应密封件10、11。当闭合元件9处在闭合位置中时，如果没有朝向 通过阀口 2的带材闭合(参见以下说明)，则布置在闭合元件9上的第一密封件10在其全 部纵向延展部分的范围内压紧在第一阀座密封件观上，并且布置在闭合元件9上的第二密 封件11在其全部纵向延展部分的范围内压紧在第二阀座密封件四上。阀座密封件观、29 由此在构造上对应于布置在闭合元件9上的第一和第二密封件10、11。在布置于闭合元件
89上的相应密封件10、11的纵向延展部分的其中具有其密封件主分段14、15及其密封件连 接段16、17的区域内，阀座密封件观、29由此同样也具有第一和第二密封件主分段以及第 一和第二密封件连接段。在布置于闭合元件9上的相应密封件10、11的第一密封件主分段 14的中间部分19的区域内，对应的阀座密封件观、四具有平行于相应密封件10、11的中间 部分19延伸的中间部分。第一和第二阀座密封件观、四在第一和第二阀座密封槽30、31之中延伸。由两个 侧壁32、32' ；33和一个底壁34形成相应阀座密封槽30、31的横断面边界。阀座密封件 28,29分别以形锁合方式固定在阀座密封槽30、13之中。第一和第二阀座密封槽30、31为 此具有侧凹形状。阀座密封件观、四在附图所示的实施例中为0形圈形式，因此具有圆形的横断面。 阀座密封槽30、31将阀座密封件观、四周边的一半以上围住，以便以形锁合方式将其固定 在阀座密封槽30、31之中。如果在没有带材38通过阀口 2的情况下将闭合元件9闭合，当闭合元件9处在闭 合位置中时，相应的阀座密封件观、四就会在其纵向延展部分的第一局部区域35内(参见 附图幻被阀座密封件夹紧板36所夹紧，从而使其在该局部区域的范围内连续压紧在第一 或第二密封件10、11的第一局部区域22上。该阀座密封件夹紧板36构成相应阀座密封槽 30,31的侧壁32'，并且以形锁合方式固定相应的阀座密封件观、29，防止将其从其阀座密 封槽30、31向外拉出。阀座密封件夹紧板36通过螺丝51固定在阀座上。优选设置有一个共用的阀座密封件夹紧板36，用来夹紧两个阀座密封件观、29， 该夹紧板布置在第一和第二阀座密封件观、四之间，并且构成阀座密封槽30、31的相邻侧 壁 32'。在相应阀座密封件观、29的纵向延展部分的第二局部区域中一该第二局部区域 优选是相应阀座密封件观、29的全部剩余纵向延展部分，第一局部区域35除外一，相应的 阀座密封件观、四并不通过夹紧板来夹紧，而是全部构造于阀座部件M之中，也就是说，形 成相应阀座密封槽30、31边界的侧壁32、33和底壁34均由阀座部件M构成，或者形成相 同材料的整体。第一和第二阀座密封槽30、31的侧壁32、33和底壁34在第二局部区域中 的横断面呈连续形状，也就是没有例如由不同的相邻部件或材料引起的中断部位。如图所 示，侧壁和底壁32、33、34可以连续地相互邻接。例如，相应阀座密封槽30、31的横断面在 整体上来看可以呈圆弧形。附图fe 8d所示为夹紧板23和阀座密封件夹紧板36的构造实施例。由夹紧板 23或者阀座密封件夹紧板36形成的侧壁或32'可以具有不同的侧凹形状，以便以形 锁合方式固定密封件10、11或阀座密封件观、29，防止将其从槽12、13或阀座密封槽30、31 向外拉出。相应底壁沈、34的一部分也可以由夹紧板23或阀座密封件夹紧板36构成。在 沿槽12、13或阀座密封槽30、31的横向测定的相应密封件10、11或阀座密封件洲、四的最 大延伸范围的上方(相对于从相应的槽底部朝向相应的槽外侧方向)，夹紧相应的密封件 10、11或阀座密封件观、29。为了简单起见，在附图8a 8d中绘出的是密封件10、11或阀 座密封件观、四未经压缩的形状(因此与夹紧板23或阀座密封件夹紧板36搭接)，但实际 上这些密封件均相对于其未压缩状态相应地有所变形。
通过由相应夹紧板23或阀座密封件夹紧板36形成的侧壁,32'的形状，在侧 壁或32'与相应密封件10、11或阀座密封件观、四之间形成自由空间37，也就是说， 槽12、13或阀座密封槽30、31的横断面大于在槽12、13或阀座密封槽30、31之内的未压缩 密封件10、11或阀座密封件观、29的横断面部分。当闭合元件9闭合从而压缩相应的密封 件10、11或阀座密封件观、四时，或者当这些密封件因为温度升高而膨胀时，这些密封件就 会伸入到该自由空间之中。相应的槽12、13或阀座密封槽30、31的横断面通常在没有通过夹紧板23或阀座 密封件夹紧板36进行夹紧的第二局部区域中，也大于在槽12、13或阀座密封槽30、31之内 的未压缩密封件10、11或阀座密封件观、29的横断面部分，以便当闭合元件9闭合时可以 使得相应的密封件10、11或阀座密封件观、四可以延展开来。但是，相应的槽12、13或阀 座密封槽30、31的横断面在相应的第一局部区域22或35中大于相应的第二局部区域中的 横断面。因此当朝向通过阀口 2且具有较高温度的带材闭合真空阀时，就能在第一局部区 域22或35中容纳相应密封件10、11或阀座密封件观、29的足够大的热膨胀部分。附图l、2、6、8a 8d、9和10所示为真空阀在没有带材通过阀口 2的情况下的闭 合状态。在这种情况下，第一密封件10压紧在第一阀座密封件观上，第二密封件11压紧 在第二阀座密封件四的相应的全部纵向延展部分上。附图11所示为真空阀的闭合状态，包括类似于附图6所示通过阀口 2的带材38。 带材38处在垂直于闭合方向8的平面之中。第一和第二密封件10、11以及第一和第二阀 座密封件观、四均相对地压紧在带材38的两个侧面39、40上，而且在阀口 2的宽度延展部 分的有带材38在其中延伸的区域内。在带材38旁边的区域中，第一密封件10、第一阀座密 封件观、第二密封件11和第二阀座密封件四重新相互压紧在一起。带材38的厚度优选小于1mm。带材38也可以称作带状薄膜。附图10所示为穿过阀体延伸的抽吸通道41的横断面，如果在没有带材38通过阀 口 2的情况下将真空阀闭合，可通过该抽吸通道将第一密封件10和第一阀座密封件28之 间的相对接触区与第二密封件11和第二阀座密封件四之间的相对接触区之间的间隙中的 空气抽出。当朝向通过阀口 2的带材38将真空阀闭合时，通过抽吸通道41对分别紧贴在 带材38的其中一个侧面40上的在第一和第二阀座密封件观、四之间的间隙进行抽吸。为 了对分别紧贴在带材38的另一个侧面39上的在第一和第二密封件10、11之间的间隙进行 抽吸，可以配置至少一个穿过闭合元件9通入到该间隙之中的抽吸通道。采用在第一和第 二阀座密封件观、四之间和/或在第一和第二密封件10、11之间进行抽吸的方式，可以在 真空阀闭合的状态下减少经过阀口 2的剩余气流。附图12所示为一种在真空条件下对带材38进行加工(例如涂层)的真空设备示 意图。例如在生产镀膜太阳能电池、LED或OLED时就可以使用这些真空设备。从第一卷辊 39上放出带材18，完成加工之后将其收卷到第二卷辊40上。所述带材尤其是一种带状薄 膜。使带材38在第一和第二卷辊39、43之间经过至少一个在其中执行加工步骤的真空室 44、45、46。卷辊39、43布置在独立的真空室44、45、46、45之中，这些真空室分别通过本发 明所述的真空阀46与其它真空室41 43相连。当卷辊39中的带材38用尽时，就朝向通过的带材38闭合真空阀46，并且放入新 的卷辊42，将该卷辊的带材始端与上一个卷辊的带材末端相连。抽出真空室44、45、46中的空气，并且开启真空阀49。如果要将收卷了已加工带材的卷辊43更换成空卷辊，则按照相 似方式进行操作。这样就可避免在更换卷辊42、43时空气涌入真空室44 46。在其中执行加工步骤的真空室43 46之间只能布置连接件50，或者也可以至少 部分地布置本发明所述的真空阀49，从而也能够对这些真空室44 46的其中某一个进行 维修，且不会有空气涌入整个系统。密封件10、11和阀座密封件28、四可以用例如Viton(FKM)制成，或者用另一种适 当的弹性材料例如FFKM制成。可想而知，附图所示的实施例可以有不同的改进方式，且不会脱离本发明的范畴。 例如可以仅仅设置有布置于闭合元件9上的密封件和布置于阀座上的阀座密封件，当真空 阀处在闭合状态时，这些密封件相互压紧或者部分地相互压紧，并且从相对两侧压紧在通 过阀口 2的带材38上。也可以省去至少一个阀座密封件观、29，在阀座上布置有密封面，如果在没有带材 38通过阀口 2的情况下闭合真空阀，当真空阀处在闭合状态时，该密封面压紧至少一个布 置在闭合元件上的密封件10、11的全部纵向延展部分上。当真空阀闭合且带材38通过阀 口 2时，则在这种情况下，带材38的一个侧面39就会紧贴在至少一个密封件10、11的中间 部分19中，另一个侧面40则紧贴在第一阀座主分段4的中间部分上。密封件10、11或阀座密封件观、29也可以具有不同于0形圈的其它横断面形状。 应当相应地匹配槽12、13或阀座密封槽30、31的形状，其中密封件10、11和阀座密封件观、 29以形锁合方式重新固定在槽12、13或阀座密封槽30、31之中，且至少在第一局部区域中 被夹紧板23或阀座密封件夹紧板36所夹紧。附图标记说明29第二阀座密封件
30第一阀座密封槽
1阀体31第二阀座密封槽
2阀口32,32'侧壁
3轴线33侧壁
4第一阀座主分段34底壁
5第二阀座主分段35第一局部区域
6第一阀座连接段36阀座密封件夹紧板
7第二阀座连接段37自由空间
8闭合方向38带材
9闭合元件39侧面
10第一密封件40侧面
11第二密封件41抽吸通道
12第一槽42卷辊
13第二槽43卷辊
14第一密封件主分段44真空室
15第二密封件主分段45真空室
16第一密封件连接段46真空室
17第二密封件连接段47真空室
18前端面19中间部分20侧面部分21侧面部分22第一局部区域23夹紧板24,24'侧壁25 侧壁洸底壁27 螺丝观第一阀座密封件
48真空室 49真空阀 50连接件 51螺丝 52壳壁部件 53壳壁部件 54阀座部件 55连杆 56连接螺栓 57驱动部件
权利要求
1.一种真空阀，包括带阀口(2)的阀体(1)，所述阀口具有轴线(3)；包围阀口( 的阀座，所述阀座具第一阀座主分段(4)和第二阀座主分段(5)，这些阀 座主分段在阀口( 的轴线(3)的方向上相对错开地布置，并且通过第一和第二阀座连接 段(6,7)相互连接；闭合元件(9)，该闭合元件可以沿着与阀口⑵的轴线(3)呈一定角度的闭合方向⑶ 从阀口(2)被开启的开启位置朝向阀口被密闭的闭合位置直线移动，并且可以与闭合方向 (8)相反地从闭合位置朝向开启位置直线移动；至少一个布置在闭合元件(9)上的周边封闭的密封件(10，11)，所述密封件具有对应 于第一和第二阀座主分段G，5)以及第一和第二阀座连接段(6，7)的第一和第二密封件主 分段(14，15)以及第一和第二密封件连接段(16，17)，所述密封件在槽(12，1 中延伸，该 槽的横断面边界由两个侧壁04，；25)和一个底壁06)形成，第一密封件主分段(14)布置在闭合元件(9)的相对于闭合方向(8)靠前的端面(18) 上，并且具有中间部分(19)，密封件(10，11)在该中间部分中直线延伸，其特征在于，密封件(10，11)至少在其纵向延展部分的位于第一密封件主分段的中间 部分(19)中的第一局部区域0 的范围内被夹紧板所夹紧，该夹紧板固定在闭合元 件(9)上，并且形成槽(12，13)的两个侧壁)的其中一个侧壁，并且至少在密封件(10，11)的纵向延展部分的第二局部区域的范围内，形成槽(12， 13)的边界的两个侧壁04，25)和底壁06)由闭合元件(9)构成。
2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，第一密封件主分段(14)的中间部分 (19)在阀口(2)的宽度延展部分的方向上延伸，且宽度延展部分比与其垂直的阀口(2)的 高度延展部分大三倍以上。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，夹紧板03)将密封件(10，11)的 纵向延展部分的第一局部区域0 夹紧，该第一局部区域大于第一密封件主分段(14)的 中间部分(19)的纵向延展部分的三分之二。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的真空阀，其特征在于，密封件(10，11)仅仅在其 纵向延展部分的位于第一密封件主分段(14)的中间部分(19)中的第一局部区域02)内 被夹紧板所夹紧。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的真空阀，其特征在于，槽(12，13)的横断面在第 一局部区域02)中大于第二局部区域中的横断面。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的真空阀，其特征在于，第一和第二周边封闭的 密封件(10，11)布置在闭合元件(9)上，这些密封件各自具有对应于第一、第二阀座主分段 (4,5)和阀座连接段(6，7)的第一、第二密封件主分段(14,1 和第一、第二密封件连接段 (16，17)，并且分别在槽(12,13)中延伸，该槽的横断面边界由两个侧壁(24,24' ；25)和 一个底壁06)形成，其中第一密封件主分段(14)布置在闭合元件(9)的相对于闭合方向 ⑶靠前的端面上，并且分别具有中间部分(19)，相应的密封件(10，11)在该中间部分中直 线延伸，并且第一和第二密封件(10，11)分别至少在其纵向延展部分的位于第一密封件主 分段(14)的中间部分(19)中的第一局部区域02)的范围内被夹紧板03)所夹紧，该夹 紧板固定在闭合元件(9)上，并且形成相应的槽(12，13)的两个侧壁)的其中一个侧壁，并且在相应的密封件(10，11)的纵向延展部分的第二区域的范围内，形成相应的槽 (12，13)的边界的两个侧壁04，25)和底壁06)由闭合元件(9)构成。
7.根据权利要求6所述的真空阀，其特征在于，第一和第二密封件(10，11)分别在其纵 向延展部分0 的位于第一密封件主分段(14)的相应中间部分(19)中的第一局部区域 (22)内被一块布置于两个密封件(10，11)之间的共同的夹紧板所夹紧，该夹紧板在第 一和第二密封件(10，11)的纵向延展部分的第一局部区域0 中构成两个槽(12，13)的 相邻侧壁)。
8.根据权利要求1 7中任一项所述的真空阀，其特征在于，用螺丝将夹紧至少一个密 封件(10，11)的夹紧板03)与闭合元件(9)固定在一起。
9.根据权利要求1 8中任一项所述的真空阀，其特征在于，针对于每一个布置于闭合 元件(9)上的周边封闭的密封件(10，11)，在阀座上布置周边封闭的阀座密封件08二9)， 当闭合元件(9)在没有带材(38)通过阀口⑵的情况下处在闭合位置中时，该阀座密封件 就会在其全部纵向延展部分的范围内压紧在闭合元件(9)上的相应密封件(10，11)上，并 且在具有两个侧壁(32，32' ；33)和一个底壁(34)的阀座密封槽(30，31)之中延伸。
10.根据权利要求9所述的真空阀，其特征在于，相应的阀座密封件( ，29)至少在其 纵向延展部分的第一局部区域(3 的一部分的范围内被阀座密封件夹紧板(36)所夹紧， 当闭合元件(9)在没有带材(38)通过阀口⑵的情况下处在闭合位置中时，就会将阀座密 封件压紧在闭合元件(9)上的相应密封件(10，11)的第一局部区域02)上，所述阀座密封 件夹紧板固定在阀体(1)上，并且形成阀座密封槽(30，31)的两个侧壁(32')的其中一个 侧壁，在相应阀座密封件08二9)的纵向延展部分的第二局部区域的范围内，形成阀座密 封槽(30，31)的边界的两个侧壁(32，33)和底壁(34)由阀体(1)构成，或者由与该阀体刚 性连接的阀座部件(54)构成。
11.根据权利要求10所述的真空阀，其特征在于，第一和第二阀座密封件( ，29)分 别在其纵向延展部分的第一局部区域(3 中被一个布置在两个阀座密封件( ，29)之间 的共用的阀座密封件夹紧板(36)所夹紧，该阀座密封件夹紧板在第一和第二阀座密封件 (28,29)的纵向延展部分的第一局部区域(3 中构成两个阀座密封槽(30，31)的相邻侧壁 (32')。
12.根据权利要求6 11中任一项所述的真空阀，其特征在于，配置有至少一个抽吸通 道(41)，可以通过该抽吸通道将位于两个密封件(10，11)和/或阀座密封件( ，29)之间 的间隙中的空气抽出。
全文摘要
真空阀包括带阀口的阀体、包围阀口的阀座、闭合元件和至少一个置于其上的周边封闭密封件，密封件具有与在阀口轴线方向错开布置的第一和第二阀座主分段及第一和第二阀座连接段对应的第一和第二密封件主分段及第一和第二密封件连接段，并在由两个侧壁和一个底壁形成其横断面边界的槽中延伸，第一密封件主分段布置在闭合元件的相对于其闭合方向靠前的端面上，并具有密封件在其中直线延伸的中间部分。密封件至少在其纵向延展部分的位于第一密封件主分段中间部分中的第一局部区域范围内被夹紧板夹紧，夹紧板固定在闭合元件上，并形成槽的两个侧壁之一。至少在密封件纵向延展部分的第二局部区域范围内，由闭合元件构成形成槽边界的两个侧壁和底壁。
文档编号F16K3/30GK102141160SQ201010625099
公开日2011年8月3日 申请日期2010年12月14日 优先权日2009年12月15日
发明者M·韦斯, O·梅尔, T·梅瑟利 申请人:Vat控股公司