真空阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空阀。
【背景技术】
[0002]当在真空处理装置的真空腔室中安装着涡轮分子栗等真空栗时，一般会插入真空阀。
[0003]专利文献1记载的真空阀使滑动板滑动而相对于流路拔插，由此来进行流量调整。在使阀为完全关闭的状态的情况下，通过使设置着密封环的环状密封体抵接于插入到流路中的滑动板的缘部，来阻断流路。
[0004]专利文献1记载的密封体包含将所述密封环与环状的活塞加以连接且在周向上设置着多个的螺栓。使用弹簧及压缩空气来驱动该活塞，由此进行密封体对滑动板的抵接及背离。
[0005][现有技术文献]
[0006][专利文献]
[0007][专利文献1]美国专利第5577707号说明书
【发明内容】
[0008][发明所要解决的问题]
[0009]伴随阀的动作，可能引起密封环的固定部与活塞的固定部的周向上的位置关系的偏离等。专利文献1记载的发明中，因上述原因，存在螺栓的密封环侧的固定位置与活塞侧的固定位置所连结的线不与密封体的移动方向平行的可能性。该情况下，当然螺栓也不会与密封体的移动方向平行。
[0010]虽然在螺栓的周面与收纳螺栓的空间的壁面之间设置着0形环，但如上所述，在螺栓不与密封体的移动方向平行的情况下，0形环局部接触，从而使0形环的密封性劣化。结果，压缩空气或大气会向真空系统侧泄漏，或发生因螺栓与螺栓周围的壁面的接触而引起的动作不良，从而无法确保作为真空阀的性能。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]本发明的优选的形态的真空阀包括:框体，形成着相向的一对开口部；阀体，在一对开口部之间拔插；以及环状密封体，在框体内沿一对开口部的相向方向滑动移动，抵接于插入到一对开口部之间的阀体而成为阀关闭状态。框体上形成着环状收容部，所述环状收容部具备内周侧壁面及外周侧壁面并且收容滑动移动的密封体。在环状密封体的内周面及外周面分别设置着:将密封体与内周侧壁面的间隙加以密封的第一密封材，及将密封体与外周侧壁面的间隙加以密封的第二密封材。
[0013][发明的效果]
[0014]根据本发明，可提高真空阀的密封体的密封性。
[0015]综上所述，本发明提供一种真空阀，其密封体的密封性及动作良好。真空阀包括:框体，形成着相向的一对开口部；阀体，在一对开口部之间拔插；以及环状密封体，利用压缩空气、弹簧或磁力的压力而在框体内沿一对开口部的相向方向滑动移动，且抵接于插入到一对开口部之间的阀体而成为阀关闭状态。框体上形成着环状收容部，所述环状收容部具备内周侧壁面及外周侧壁面并且收容滑动移动的密封体。在密封体的内周面及外周面分别设置着将密封体与内周侧壁面的间隙加以密封的密封材，及将密封体与外周侧壁面的间隙加以密封的密封材。
[0016]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0017]图1是表示本发明的一实施方式的真空阀的立体图。
[0018]图2是本发明的一实施方式的真空阀的局部剖面图。
[0019]图3(a)?图3(c)是表示本发明的一实施方式的真空阀的凸缘、活塞部及密封环的剖面图。
[0020]图4(a)?图4(c)是表示本发明的一实施方式的真空阀的活塞部的图。
[0021]图5(a)?图5(c)是表示本发明的一实施方式的真空阀的密封环的图。
[0022]图6(a)?图6(d)是用以说明本发明的一实施方式的真空阀的活塞部与密封环的卡合的图。
[0023]图7(a)?图7(c)是本发明的一实施方式的变形例的真空阀的局部剖面图。
[0024]图8是比较例的真空阀的局部剖面图。
[0025]图9是比较例的真空阀的密封体的螺栓周边的放大图。
[0026][符号的说明]
[0027]1、60:真空阀
[0028]2:框体
[0029]3:凸缘
[0030]3A、6:紧固面
[0031]4:框体基部
[0032]5:收容部
[0033]7、61:密封体
[0034]8:阀体(滑动板)
[0035]8a:阀体
[0036]9:连接器
[0037]10:驱动部
[0038]11:盖
[0039]12:取出口
[0040]31:开口部
[0041]33、64a、713、715A、716A、726A、727A、728A:凹部
[0042]34、7 lb:筒部
[0043]34A:筒部的外周面(收容部的内周侧壁面)
[0044]34B:下端
[0045]41:开口部
[0046]42:通气口
[0047]43:内周面
[0048]44:框体基部的内周面(收容部的外周侧壁面)
[0049]50:压缩弹簧
[0050]52:它磁铁
[0051]62:活塞
[0052]63:螺栓
[0053]63a、71c:凸部
[0054]64、720:密封环
[0055]65、66:壁面
[0056]71、72:基部
[0057]71a:受压部
[0058]71d、72b:卡合部
[0059]72a:槽
[0060]72c:圆环部
[0061]630:虚线
[0062]631、641、642、711、712、714、721、722、723:密封材
[0063]710:活塞部
[0064]715:大径部
[0065]716:小径部
[0066]717:上表面(端面)
[0067]718、729:连接面
[0068]726:外周面
[0069]727:内周面
[0070]728:端面
[0071]G:气体
[0072]Θ:开度
【具体实施方式】
[0073]-实施方式-
[0074]图1、图2是表示本发明的一实施方式的真空阀1的图。图1是表示真空阀1的外观的立体图，图2是图1的A-A剖面图。
[0075]真空阀1包括框体2及驱动部10。框体2包括凸缘3、由紧固面6 (参照图2)及连接器(coupler) 9形成的框体基部4、以及在框体基部4内滑动驱动的阀体8 (滑动板8)。在真空处理装置的真空腔室中固定着凸缘3的紧固面3A，紧固面6上固定着真空栗。虽省略图示，但在驱动部10上设置着对阀体8进行摆动驱动的电动机、及对电动机进行驱动控制的控制部。
[0076]图1所示的Θ表示阀体8的Θ开度。图中所示的“ Θ = 0”表示使凸缘3的开口部31完全关闭的Θ开度，“Θ = Θ max”表示使凸缘3的开口部31完全打开的Θ开度。虚线所示的阀体8a表示完全打开(Θ = Θ max)时的阀体8。阀体8利用驱动部10的电动机摆动驱动且对Θ开度进行调节，由此对从真空处理装置向真空栗流动的气体的流量进行调节。
[0077]框体2具有设置着能够开闭的盖11的取出口 12。设置取出口 12是为了无须将真空阀1从真空处理装置或真空栗卸下，便可更换设置于框体2内的零件。
[0078]图2是图1的A-A剖面图。然而，与图1不同的是，仅表示阀体8完全关闭(Θ =0)时的情况。
[0079]凸缘3具有紧固面3A、开口部31、凹部33、及筒部34。框体基部4具有连接器9、通气口 42、开口部41、及紧固面6。另外，虽未图不，但凸缘3与框体基部4被螺固。
[0080]开口部31与开口部41彼此相向。阀体8在开口部31与开口部41之间拔插。另夕卜，以下，将开口部31与开口部41的相向方向(图2的图示上下方向)的紧固面3A侧(图2的图示上侧)简称为“紧固面3A侧”，将开口部31与开口部41的相向方向的紧固面6侧(图2的图示下侧)简称为“紧固面6侧”。
[0081]框体2在凸缘3与框体基部4之间具有筒状的收容部5。收容部5包括具有后述筒部34的外周面34A的筒状的内周侧壁面、及具有后述内周面43的筒状的外周侧壁面。收容部5中收容密封体7。
[0082]密封体7包含活塞部710及密封环720。此处，使用图3(a)?图3(c)对活塞部710与密封环720的构造进行进一步说明。图3(a)是凸缘3的轴方向剖面图。图3 (b)是活塞部710的轴方向剖面图。图3(c)是密封环720的轴方向剖面图。如图3(a)?图3(c)所示，凸缘3、活塞部710、密封环720分开制作。
[0083]如图3(b)所示，活塞部710具有基部71、密封材711、及密封材71