真空阀的制作方法

文档序号:9259397阅读:511来源:国知局
真空阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种一种真空阀,其包括:具有阀座的阀壳体;封闭元件(Verschlussglied),其在关闭位置中在真空阀的关闭的状态中被压紧到阀座处而在打开位置中在真空阀的打开的状态中被从阀座抬起;和手动驱动器(Handantrieb),封闭元件借助于手动驱动器能够在关闭方向上从打开位置线性移动到关闭位置中和逆着关闭方向从关闭位置线性移动到打开位置中并且手动驱动器具有能够由旋转件操纵的螺旋传动装置(Schraubengetriebe),其带有与旋转件相连接的第一驱动件和与封闭元件相连接的第二驱动件,其中,第一和第二驱动件处于螺纹接合中,驱动件中的一个具有外螺纹而另一个具有内螺纹,并且通过旋转件在关闭旋转方向(Schliessdrehsinn)上的旋转位于打开位置中的封闭元件能够在关闭方向上移动而通过旋转件在与关闭旋转方向相反的打开旋转方向上的旋转位于关闭位置中的封闭元件能够逆着关闭方向移动,且其中,存在在封闭元件的关闭位置中在关闭方向上加载封闭元件的闭合弹簧。
【背景技术】
[0002]真空阀(在其中封闭元件通过手动驱动器在打开位置与关闭位置之间被线性调节)尤其以角阀的形式已知。在角阀中,阀壳体的阀开口(其在真空阀的打开的状态中相互连通而在真空阀的关闭的状态中相对彼此密封)的轴线彼此成角度、尤其成直角。在此,阀座通常与阀开口中的一个同轴。在这样的预先已知的真空阀的另一构造形式中,第一和第二阀开口彼此同轴而阀座处在倾斜于此的平面中,其中,封闭元件的线性调节在与阀开口的轴线成角度的方向上实现。
[0003]带有手动驱动器的角阀例如由文件DE 31 25 034 Al和DE 10 2008 003 725Al得悉。与可手动被操纵的旋转件(其以旋钮或手轮的形式来构造)连接有螺纹轴(Gewindespindel),其与阀壳体的具有内螺纹且因此形成(固定的)轴螺母的截段处于螺纹接合中。封闭元件与螺纹轴通过杆相连接。
[0004]在另一预先已知的市场上可获得的带有手动驱动器的角阀中,与旋转件相连接的螺纹轴具有第一和第二螺纹截段。第一螺纹截段被拧入封闭元件的内螺纹中。第二螺纹截段被拧入与封闭元件相连接的阀杆的内螺纹中。在此,封闭元件和阀杆通过在封闭元件与阀壳体之间延伸的盒管(Balg)来防止扭转。这两个螺纹截段具有带有不同旋转方向的螺纹,即右旋的和左旋的螺纹。在旋转件旋转时,由此一方面产生在螺纹轴与阀壳体之间的行程而另一方面产生在相同方向上在螺纹轴与阀杆之间的行程。对于打开和关闭真空阀必需的旋转件的转数由此被减半。
[0005]一种开头所提及的类型的真空阀由文件US 2006/0169940 Al得悉。示出一个以角阀的形式构造的实施例,在其中螺纹轴可旋转地、但是在轴向上不可移动地被支承在阀壳体中。在螺纹轴上布置有抗扭的螺纹螺母且在螺纹螺母与封闭元件之间布置有弹簧。因此,轴螺母经由弹簧作用到封闭元件上。在封闭元件安放在阀座处之后,因此可通过弹簧的相应压缩来实现期望的压紧力。该阀尤其是高真空阀,其中,封闭元件至少在邻接到阀座处的截段中完全由金属构成。
[0006]除了手动运行的角阀之外,经常使用由气动地作用的活塞缸体单元驱动的角阀。这样的真空阀例如由文件 US 2009/0194728 AU DE 40 23 845 Cl 和 US 6, 289, 932 BI 得悉。为了在压力介质失效的情况下保证真空阀的关闭状态设置有闭合弹簧,其在阀壳体与封闭元件之间起作用。
[0007]其它类型的带有可线性调节的封闭元件的真空阀例如由文件US 7,011,294, DE37 17 724 Al和DE 38 31 249 Al得悉。在由文件US 7,011,294已知的真空阀中,封闭元件楔形地来构造。文件DE 37 17 724 Al和DE 38 31 249 Al示出了带有密封件和与其共同起作用的密封面的真空阀,其具有其它三维形状。
[0008]由文件US 6,669, 170 B2得悉一种以角阀的形式构造的具有手动驱动器的真空阀。旋转件设有曲面(Kurvenflaeche),其与布置在阀壳体处的曲面共同作用。共同作用的曲面是一种滑块引导(Kulissenfuehrung),使得旋转件在其扭转时轴向移动。被安装在封闭元件处的阀杆设有法兰。在阀壳体与封闭元件之间作用有闭合弹簧。其在封闭元件的打开位置中将被安装在阀杆处的法兰拉向旋转件的止挡面。在法兰与旋转件之间作用有卡入元件,使得旋转件可在不同的旋转位置中卡入。在封闭元件的关闭位置中,法兰可从止挡面抬起。该真空阀的手动驱动器的构造与提高的制造成本相联系,尤其由于共同作用的曲面和该手动驱动器的另外的共同作用的部件的构造。

【发明内容】

[0009]本发明的目的是提供一种开头所提及的类型的操作可靠的且成本有利地构造的真空阀。根据本发明,这通过一种带有权利要求1的特征的真空阀来实现。
[0010]在根据本发明的真空阀中,闭合弹簧在阀壳体与封闭元件之间起作用且还在封闭元件的打开位置中在关闭方向上加载封闭元件。另外,第一驱动件可平行于关闭方向相对阀壳体移动,其中,在封闭元件的打开位置中封闭元件借助于支撑止挡(旋转件的或第一驱动件的止挡面贴靠在其处)被保持以防由闭合弹簧的力引起的在关闭方向上的移动。在封闭元件的关闭位置中,支撑-止挡被从旋转件的或第一驱动件的止挡面抬起(=相间隔),也就是说第一驱动件相对在封闭元件的打开位置中所占据的位置逆着关闭方向被移动。因此,可由闭合弹簧单独地来施加足够的闭合力,以该力将封闭元件在关闭位置中压紧到阀座处,使得真空阀被密封。在此,第一驱动件可以是没有力的。由闭合弹簧所施加的闭合力由闭合弹簧直接引入阀壳体中。
[0011]以该方式可实现带有较少数量单独部件的真空阀的非常简单的构造。在根据本发明的真空阀中,成本可被保持得非常低,其中,在这样的批量生产中较小的成本节省已相当重要。
[0012]同时,根据本发明的真空阀可特别操作可靠地来构造。尤其可避免由于旋转件的太强的拉紧施加在封闭元件的关闭位置中密封真空阀的弹性密封圈的过度的应力负荷。必需的密封力可由闭合弹簧单独来施加且由此可实现非常良好地限定的密封力。
[0013]为了还在触觉上告知用户真空阀的完全关闭的状态,从而避免这两个驱动件无意地彼此完全旋开到分离的状态中,有利地存在限制-止挡,其限制旋转件在关闭旋转方向上的旋转。为了在此防止施加太大的附加的在关闭方向上作用的力(通过其尤其可能损坏在其关闭的状态中密封真空阀的弹性密封圈)到封闭元件上,优选地设置成,限制-止挡在超过在关闭旋转方向上作用到旋转件上的转矩的极限值的情况下可驶越、尤其无破坏地。限制-止挡即仅直至作用到旋转件上的转矩的极限值起作用。有利地,该力(在该力的情况下限制-止挡打开(被驶越))小于由闭合弹簧在关闭位置中施加到封闭元件上的力。
[0014]在本发明的一可能的实施形式中,限制-止挡由至少一个凸起(其布置在弹簧臂处且其与在旋转件处或在第一驱动件处的止挡面共同作用)形成。
[0015]在另一可能的实施形式中,为了构造限制-止挡,布置在这两个驱动件中的一个处的凸起可贴靠在这两个驱动件中的另一个的止挡面处。
[0016]根据本发明的真空阀可构造为角阀。其它构造(在其中封闭元件在打开位置与关闭位置之间被线性移动)也是可考虑的且可能的。
【附图说明】
[0017]接下来根据附图来阐述本发明的另外的优点和细节。其中:
图1显示了根据本发明的真空阀的一实施例的斜视图;
图2和3显示了侧视图和俯视图;
图4显示了在封闭元件的打开位置中沿着图2的线AA的剖面;
图5显示了沿着图2的线AA的剖面,但是在封闭元件在真空阀关闭时贴靠到阀座处的位置中;
图6显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图2的线AA的剖面;
图7显示了沿着图3的线BB的剖面,封闭元件在与在图5中相同的位置中;
图8显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图3的线BB的剖面;
图9显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图3的线BB的剖面,其中,限制-止挡被旋转件驶越;
图10显示了布置在阀座的区域中的密封单元的斜视图;
图11和12显示了真空阀在不同观察方向上的分解图示;
图13显示了本发明的另一实施形式的示意性图示。
[0018]附图标记清单 I阀壳体
Ia基体 Ib壳体盖 Ic阀接管 Id阀接管 2螺栓 2a头部 3密封单元 3a支架 3b密封件 3c密封件 4阀座 5第一阀开口 6第二阀开口 7轴线 8轴线 9封闭元件 10关闭方向 11旋转件 12旋转轴线 13,13’第一驱动件 14,14’第二驱动件 15导向套 16闭合弹簧 17支撑-止挡 18,18’限制-止挡 19止挡面 20关闭旋转方向
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