专利名称：真空系统用流导阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种电动阀门机构，特别是涉及ー种真空系统用流导阀。
背景技术：
各类真空系统通常都能根据使用要求提供一个相对稳定的真空环境，稳定时真空室工作压カ仅与真空室稳态时的总气体出气量以及真空泵的有效抽速有关。如果真空室稳态时的总气体出气量不变，那么仅需调节真空泵的有效抽速即可实现真空室工作压カ的调节。事实上真空泵的有效抽速与真空泵的抽速以及管路流导有夫，当配置的真空泵没有改变的时候，要想调节真空室工作压カ只有调节管路流导，流导的大小说明在管路元件两端的压强差一定的条件下流经管路元件的气流量的多少，而目前常规的管路阀门均无法精确调节管路流动能力。如蝶形阀其流动控制元件是一有倾角的盘，圆盘固定在心轴上，并以能旋转的心轴来控制开闭，开、闭为90度旋转，精度较差；闸板阀是依靠阀杆带动阀板一起升降来调节阀门开度及启闭状态，同样闸板位置不易准确控制，调节精度不够。
发明内容本实用新型的任务在于提供一种结构简单并且可较高精度调节发么开度的电动阀门机构，适用于真空系统中调节真空室工作压力。本实用新型的任务是这样来完成的，真空系统用流导阀，包括阀体，阀杆和步进电机，其特征在于，所述阀杆的一端通过联轴器与步进电机连接，其另一端设有调节盘，调节 盘上布有若干个通孔，所述阀体与调节盘上通孔对应的布有若干个通孔。优选地，所述调节盘上的通孔为沿调节盘周向开设的弧形通孔。有益效果本实用新型提供的技术方案，由步进电机通过阀杆带动调节盘转动ー定的角度，使得调节盘上通孔与阀体上通孔形成一定的重叠，控制步进电机转动角度即可控制通孔重叠程度，进而控制阀门的开度。
图I为本实用新型的实施例结构示意图。图2为调节盘结构示意图
具体实施方式
为了使专利局的审查员尤其是公众能够更加清楚地理解本实用新型的技术实质和有益效果，申请人将在下面以实施例的方式作详细说明，但是实施例的描述均不是对本实用新型方案的限制，任何依据本实用新型构思所作出的仅仅为形式上的而非实质性的等效变换都应视为本实用新型的技术方案范畴。实施例请见附图I及附图2，步进电机I通过联轴器2与阀杆3 —端连接，阀杆3的另ー端固定有调节盘4，沿调节盘4周向开设弧形通孔6，阀体5与调节盘4对应地开设弧形通孔7，阀体5进ロ与出口成90度布置。由步进电机通过阀杆带动调节盘转动一定的角度，使得调节盘上通孔与阀体上通孔形成一定的重叠，控制步进电机转动角度即可控制通孔重叠 程度，进而控制阀门的开度。
权利要求1.真空系统用流导阀，包括阀体(5)，阀杆(3)和步进电机(I)，其特征在于，所述阀杆(3)的一端通过联轴器⑵与步进电机⑴连接，其另一端设有调节盘(4)，调节盘⑷上布有若干个通孔出)，所述阀体(5)与调节盘(4)上通孔(6)对应的布有若干个通孔(7)。
2.根据权利要求I所述的真空系统用流导阀，其特征在于，所述调节盘(4)上的通孔(6)为沿调节盘(4)周向开设的弧形通孔。
专利摘要本实用新型公开了一种真空系统用流导阀，包括阀体，阀杆和步进电机，所述阀杆的一端通过联轴器与步进电机连接，其另一端设有调节盘，调节盘上布有若干个通孔，所述阀体与调节盘上通孔对应的布有若干个通孔。由步进电机通过阀杆带动调节盘转动一定的角度，使得调节盘上通孔与阀体上通孔形成一定的重叠，控制步进电机转动角度即可控制通孔重叠程度，进而控制阀门的开度。
文档编号F16K3/08GK202531877SQ20122013522
公开日2012年11月14日 申请日期2012年4月1日 优先权日2012年4月1日
发明者戴建新 申请人:常熟市虞华真空设备科技有限公司