具有搅拌摩擦焊连接的用于真空密封的闭合元件的制作方法

文档序号:12652297阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于真空阀(1)的闭合元件(30、50、60、70),该闭合元件具有:

阀盘(2、31、51、61、71、81),该阀盘借助与设置用于处理体积的所述真空阀(1)的真空阀开口的相互作用来实现所述处理体积的气密性闭合,其中,所述阀盘(2、31、51、61、71、81)包括:

闭合侧(4、34)以及大致平行于所述闭合侧相对安置的后侧(3、33),以及

第一密封面(35),该第一密封面配属至所述闭合侧(4、34)并且尤其在形式和尺寸方面对应于所述真空阀开口的第二密封面,所述第一密封面尤其具有固化的密封材料(36),其中,所述第二密封面围绕所述真空阀开口延伸,以及

横梁(20、40、52、62、72、82),该横梁尤其具有接收机构(21),所述接收机构(21)用于横向于所述横梁的延伸方向的驱动部件,其中,所述横梁(20、40、52、62、72、82)在所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的所述后侧(3、33)在至少一个连接点(23、32、53、73)处连接至所述阀盘(2、31、51、61、71、81),

其特征在于,

在所述至少一个连接点(23、32、53、73)处,所述横梁(20、40、52、62、72、82)与所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的连接包括搅拌摩擦焊连接(55)。

2.根据权利要求1所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述横梁(20、40、52、62、72、82)在两个连接点(23、32、53、73)处连接至所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的后侧,其中,所述两个连接点均借助搅拌摩擦焊连接(55)实现。

3.根据权利要求2所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述接收机构(21)居中地布置或者形成在所述横梁(20、40、52、62)上,所述两个连接点(23、32、53)相对于所述接收机构(21)水平地布置在两侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,在所述至少一个连接点(23、32、53、73)处,所述横梁(20、40、52、62、72、82)包括凹进,所述凹进大致平行于一轴线延伸,该轴线正交于由所述后侧(3、33)或者所述闭合侧(4、43)的形式和/或表面所限定的平面。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,在所述闭合侧(4、34)上,所述阀盘(2、31、51、61、71、81)包括配属至所述至少一个连接点(23、32、53、73)的凹进,其中,所述凹进大致平行于一轴线延伸,该轴线正交于由所述后侧(3、33)或者所述闭合侧(4、43)的形式和/或表面所限定的平面。

6.根据权利要求4或5所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述凹进沿所述轴线的方向延伸限定的深度,其中,所述深度在所述连接点(23、32、53、73)处大于所述横梁(20、40、52、62、72、82)或者所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的材料厚度。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述横梁(20、40、52、62、72、82)的所述凹进以这种方式形成,使得所述凹进延伸穿过所述横梁(20、40、52、62、72、82)并且突出至所述阀盘(2、31、51、61、71、81)中。

8.根据权利要求4至6中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的所述凹进以这种方式形成,使得所述凹进延伸穿过所述阀盘(2、31、51、61、71、81)并且突出至所述横梁(20、40、52、62、72、82)中。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,通过间歇塑化所述横梁(20、40、52、62、72、82)和所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的材料所创建的材料锁合存在于所述连接点(23、32、53、73)处的过渡区域中,其中,通过沿着所述轴线延伸通过所述横梁(20、40、52、62、72、82)与所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的接触点的部分,将所述过渡区域限定在所述连接点(23、32、53、73)处。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的闭合元件(30、50、60、70),其特征在于,所述搅拌摩擦焊连接(55)实施为所述阀盘(2、31、51、61、71、81)和所述横梁(20、40、52、62、72、82)之间的均质材料过渡,尤其是其中,存在无间隙连接(55)。

11.一种用于气密性闭合处理体积的真空阀(1),所述真空阀具有:

阀壳体,该阀壳体包括真空阀开口以及围绕所述真空阀开口延伸且包括第二密封面的阀座,

阀盘(2、31、51、61、71、81),该阀盘用于利用第一密封面基本气密性闭合所述真空阀开口,所述第一密封面对应于所述第二密封面,

横梁(20、40、52、62、72、82),该横梁尤其具有接收机构,所述接收机构用于横向于所述横梁(20、40、52、62、72、82)的延伸方向的驱动部件,其中,所述横梁在所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的后侧(3、33)在至少一个连接点(23、32、53、73)处连接至所述阀盘(2、31、51、61、71、81),

驱动单元,该驱动单元尤其借助所述接收机构连接至所述阀盘(2、31、51、61、71、81),所述驱动单元以这种方式实现,使得所述阀盘(2、31、51、61、71、81)能够从打开位置至闭合位置以及从闭合位置至打开位置来回调节,尤其是至少大致沿着几何学纵向轴线沿纵向关闭方向能够来回调节:在该打开位置,所述阀盘释放所述真空阀开口,在该关闭位置,所述阀盘(2、31、51、61、71、81)的所述第一密封面被按压至所述第二密封面,并且所述真空阀开口以基本气密性方式被闭合,

尤其,作为所述阀盘(2、31、51、61、71、81)大致沿着与所述纵向轴线成直角延伸的几何学横向轴线来回移动的能力的结果,其沿横向关闭方向能够调节到中间位置,在所述中间位置,所述阀盘(2、31、51、61、71、81)覆盖所述真空阀开口,并且所述阀盘的闭合侧置于与所述阀座相距一间距的相对位置,

其特征在于,所述横梁(20、40、52、62、72、82)和所述阀盘(2、31、51、61、71、81)之间在所述至少一个连接点(23、32、53、73)处的所述连接包括搅拌摩擦焊连接(55),尤其其中,包括所述阀盘(2、31、51、61、71、81)和所述横梁(20、40、52、62、72、82)的闭合元件(30、50、60、70)根据权利要求1至10中任一项实现。

12.一种用于生产闭合元件(30、50、60、70)的方法,所述闭合元件(30、50、60、70)具有用于真空阀的横梁(20、40、52、62、72、82),所述闭合元件具有:

物理第一部件,以及

物理第二部件,

其中,所述第一部件和所述第二部件实施为阀盘(2、31、51、61、71、81)和所述横梁(20、40、52、62、72、82),并且其中,

接合工具装备有所述第一部件和所述第二部件,

所装备的所述接合工具被引入接合机器,尤其被引入焊接机器,焊接机器尤其是搅拌摩擦焊接机器,以及

所述横梁(20、40、52、62、72、82)和所述阀盘(2、31、51、61、71、81)之间的搅拌摩擦焊连接通过所述接合机器与所述第一部件和所述第二部件之间的相互作用而生产。

13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,

所述接合机器包括连接工具(56、86),尤其是从肩部突出的销(56),

所述连接工具(56、86)借助所述接合机器而绕线性移动轴线进行旋转,尤其绕所述连接工具(56、86)的纵向轴线同轴旋转,以及

旋转的所述连接工具(56、86)沿着所述移动轴线被深压至所述第一部件中,使得

所述连接工具(56、86)沿所述移动轴线的方向穿过所述第一部件的厚度,以及

所述连接工具(56、86)贯穿所述第二部件的主体。

14.根据权利要求13所述的方法,其特征在于,当所述第一部件的材料和所述第二部件的材料处于能塑性变形的状态时,所述连接工具(56、86)正交于所述移动轴线沿着一限定轨迹(87、87’)被引导,尤其在正交于所述移动轴线的平面中以圆形或者螺旋形方式被引导。

15.一种通过实施根据权利要求12至14中任一项所述的方法而获得的闭合元件(30、50、60、70),尤其其中,产生根据权利要求1至11中任一项所述的闭合元件(30、50、60)。

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