本发明大体上涉及一种隔离阀，该隔离阀在真空泵停止运转的情况下与真空泵一起使用以保护关联的真空系统。更具体地，本发明涉及受真空泵内部的气体压力驱动而关闭的隔离阀。
背景技术：
各种系统包括需要在高真空(非常低，低于大气压)水平(例如，低于10-3torr)下操作的一个或多个内部室。这些系统例如包括光谱测定系统、泄漏测试系统、显微镜(例如电子显微镜)系统、微细加工(例如真空沉积)系统等。这些系统的内部真空室由一个或多个真空泵抽真空。例如，真空系统可以包括“粗抽”泵或“前级”泵，这些泵构造用于使真空系统降低至粗真空度，例如降至约10-3torr。真空系统还可以包括一个或多个高真空泵，这些高真空泵构造成使真空系统进一步降低至高真空度。在这种系统中，粗抽泵用作真空泵的第一级并且可能需要由高真空泵实施的高真空抽空的另一级的操作。
真空系统可以包括真空泵隔离(vpi)阀，该阀构造成在前级泵断电的情况下自动将高真空系统的部件与高压(例如环境压力或大气压)隔离并且保护高真空系统的部件免受高压的影响，然后仅在前级泵重启后重新打开并且产生足够的真空度，该真空度对于高真空系统的部件的进一步操作而言是安全的。例如，诸如涡轮分子泵之类的高真空泵如果在全速操作时暴露于约200mtorr以上的压力下，将被损坏到难以修理。通常，vpi阀与前级泵分离并与环境(即，前级泵外部的环境和真空系统的其余部分)相连通。因此，使用常规vpi阀导致非密封的系统。
图1是利用常规vpi阀114的真空系统100的示例的示意图。真空系统100包括前级泵118，该前级泵经由vpi阀与真空系统100的高真空级122连通。前级泵118通常是机械泵，例如涡旋泵、旋转叶片泵、隔膜泵、罗茨鼓风机(容积式瓣(positivedisplacementlobe))等。高真空级122包括与前级泵118连通的一个或多个真空室126，即要抽真空的内部空间。高真空级122还包括一个或多个高真空泵130(例如，涡轮分子泵、溅射离子泵等)，该高真空泵构造用于将一个(或多个)真空室126抽空至超过仅由前级泵118可实现的真空度的真空度。在真空系统110的正常操作期间，vpi阀114打开，即，提供从高真空级122到前级泵118的入口134的不受限制的工作气流路径。vpi阀114通常可移动活塞，该活塞在真空系统100的正常操作期间打开(抬起)。前级泵118将其出口138处的气体排放到排气管线142中。
真空系统100还包括提供环境和vpi阀114之间(具体地说，环境与vpi阀活塞的和工作气流路径相对的一侧之间，该工作气流路径位于高真空级122和前级泵118之间)的选择性连通的另一个阀，例如电磁阀146。电磁阀146需要电力被主动地保持在将vpi阀114与环境隔离的关闭状态，在这种意义上，电磁阀146通常是常开阀。可以使用相同的电源来向电磁阀146和前级泵118供电。在真空系统100的正常操作期间，电磁阀146关闭。然而，如果前级泵118断电，则电磁阀146打开，从而允许环境空气150流入vpi阀114中。由于前级泵118停止运转，vpi阀114的活塞两端的最终压差迫使活塞就位，从而关闭高真空级122和前级泵118之间的工作气流路径并且将高真空级122与产生的较高压力隔离。
在美国专利no.4,785,851中描述了上述vpi构造的更具体的示例。
从前述可以看出，由于操作的隔离/保护阶段需要暴露于环境中，真空系统100的常规构造是非密封的。然而，存在暴露于环境下是不利的许多应用，例如需要使氦气或某些化学品再循环的应用，在该应用中，空气不应进入该系统并且工作气体不应离开该系统。因此，需要使用密封的vpi阀的真空系统。
技术实现要素：
为了解决本领域技术人员可能已经观察到的全部或部分上述问题和/或其他问题，本公开提供了方法、过程、系统、装置、仪器和/或装置，如在下述实施方式中通过示例的方式所描述的。
根据一个实施例，真空泵隔离(vpi)阀包括：泵入口壳体，其包围入口内部；阀元件，其设置在入口内部，阀元件构造用于在vpi阀的打开状态和vpi阀的关闭状态之间切换并且构造用于响应于压力而切换到关闭状态，其中，在打开状态下，阀元件允许经由入口内部在真空泵和真空室之间的流体流动，并且在关闭状态下，阀元件阻止在真空泵和真空室之间的流体流动；和导向阀，其构造用于将入口内部与真空泵的内部排气管线相连通，导向阀能够在打开导向阀位置和关闭导向阀位置之间切换，其中，在打开导向阀位置，导向阀允许来自内部排气管线的排气向阀元件施加有效地将阀元件切换至关闭状态的压力，并且在关闭导向阀位置，导向阀阻止从内部排气管线到阀元件的排气流动。
根据另一个实施例，真空泵包括：根据本文所公开的任何实施例的vpi阀；泵体，其中，内部排气管线设置在泵体内；第一排气输送管线，其在内部排气管线和导向阀之间提供流体连通；以及第二排气输送管线，其在导向阀和控制容积室之间提供流体连通。
根据另一个实施例，真空隔离(vpi)阀包括：阀座，其设置在入口内部中；活塞，其设置在入口内部中，活塞能够在打开活塞状态和关闭活塞状态之间移动，其中，在打开活塞状态下，活塞允许经由入口内部在真空泵和真空室之间的流体流动，并且在关闭活塞状态下，活塞接触阀座并阻止真空泵和真空室之间的流体流动；控制容积室，其设置在入口内部中并且至少部分由活塞界定，其中，活塞的移动改变控制容积室的容积；和导向阀，其构造成与控制容积室和真空泵的内部排气管线相连通，导向阀能够在打开导向阀位置和关闭导向阀位置之间切换，其中，在打开导向阀位置，导向阀允许来自内部排气管线的排气将控制容积室加压至有效地使活塞移动到关闭活塞状态的压力，并且在关闭导向阀位置，导向阀阻止从内部排气管线到控制容积室的排气流动。
根据另一个实施例，真空泵包括：根据本文所公开的任何实施例的vpi阀；泵体，其中，内部排气管线设置在泵体内；第一排气输送管线，其在内部排气管线和导向阀之间提供流体连通；和第二排气输送管线，其在导向阀和入口内部之间提供流体连通。
根据另一实施例，真空系统包括：真空泵，其包括内部排气管线；真空室；和根据本文所公开的任何实施例的vpi阀。
真空泵可以包括泵送级，其设置在泵体中并且与入口内部和内部排气管线相连通。泵送级可以包括一个或多个静止泵送元件和移动泵送元件。可以通过真空泵的马达(例如，电动机)来驱动(激励)移动的一个(或多个)泵送元件。在一些实施例中，真空泵是涡旋泵。涡旋泵可以具有涡旋泵送级。如本领域技术人员所理解的，涡旋泵送级可以包括静止涡旋盘和能够被驱动为相对于静止涡旋盘进行轨道运动的轨道运行涡旋盘。
通过查看以下附图和详细描述，本发明的其它装置、设备、系统、方法、特征和优点对本领域技术人员而言将会或将变得显而易见。所有这些附加系统、方法、特征和优点旨在包含于本说明书内、落入本发明的范围内并且由所附权利要求来保护。
附图说明
通过参考以下附图可以更好地理解本发明。附图中的部件不一定按比例绘制，而是将重点放在说明本发明的原理上。在附图中，相同的附图标记表示不同视图中的相应部分。
图1是利用常规的真空泵隔离(vpi)阀的真空系统的示例的示意图。
图2是根据本文所公开的实施例的真空系统的示例的示意图。
图3a是根据本文所公开的实施例的真空泵的一部分的示例的局部剖视立体图，其示出了处于打开位置的真空泵的vpi阀。
图3b是类似于图3a的视图但是示出了处于关闭位置的vpi阀的真空泵的局部剖视立体图。
图4是图3a和图3b所示的真空泵的局部剖视侧视图。
图5是图3a、图3b和图4中示出的真空泵的局部剖视俯视图，其中vpi阀和真空泵的相关泵入口被去除。
具体实施方式
如本文所使用的，术语“真空室”包括如下所述的室(即，能够以真空密封的方式流体密封的封闭空间)：该室作为本文所公开的真空泵的一部分或者与该真空泵流体连通。根据操作的背景或阶段，由于对真空泵进行操作(即真空室已被抽真空)，“真空室”处于真空压力下(例如，处于低至10-9torr以下的次大气压下)，或者由于作为真空泵的一部分或者与真空泵流体连通，“真空室”至少能够被抽空到真空压力。通常，根据应用，真空室可以是利用抽空区域的任何装置或系统(诸如科学仪器或制造工具等)，或者是这些装置或系统的一部分。科学仪器的示例包括但不限于：质谱仪、离子迁移谱仪、气体泄漏检测器和电子显微镜。制造工具的示例包括但不限于：利用抽真空反应室来制造用于微电子学的部件的仪器、微机电系统(mems)、微流体等。这样的制造工具例如可以利用本领域技术人员所理解的涉及真空沉积、等离子体产生、电子束产生、分子束产生、离子注入等的技术。
图2是根据本文所公开的实施例的真空系统200的示例的示意图。真空系统200包括至少一个真空泵。在本实施例中，真空系统200包括前级泵218。前级泵218包括真空泵隔离阀(vpi)阀214、经由vpi阀214与真空系统200的高真空级222相连通的泵入口234和将气体排放到主排气管线242中的泵出口238。前级泵218可以是如上所述的机械泵。高真空级222包括与前级泵218相连通的一个或多个真空室226。高真空级222还可以包括如上所述的一个或多个高真空泵230。前级泵218还包括提供主排气管线242与导向阀246之间的流体连通的第一排气输送管线或端口254以及提供导向阀246与vpi阀214之间的流体连通的第二排气输送管线或端口258。为了说明的目的，vpi阀214以及排气输送管线254和258与前级泵218分开地示意性示出。然而，在一些实施例中，vpi阀214与前级泵218的主结构或壳体一体地形成或者位于该主结构或壳体的内部。排气输送管线254和258也可以与前级泵218的主结构或壳体一体地形成或者位于该主结构或外壳的内部。在其他实施例中，第一排气输送管线254和导向阀246的全部或部分可以设置在前级泵218的主结构或壳体的外部。
通常，导向阀246可以是能够被致动到打开状态和关闭状态的任何类型的阀。在典型的非排他性实施例中，导向阀246构造成常开阀，即导向阀246需要电力被主动地保持在关闭状态。作为一个示例，导向阀246可以是电磁致动阀。可以利用相同的电源(例如，24v电源)来向导向阀246和前级泵218两者供电。
现在将描述操作真空系统200的示例。在该示例中，真空系统200包括提供第一真空泵送级的前级泵218和提供至少一个额外的真空泵送级的至少一个高真空泵230两者。
从前级泵218关闭开始，真空系统200的内部区域(诸如前级泵218和真空室226等)处于大气压力下，并且vpi阀214打开。vpi阀214通常包括诸如活塞之类的可移动阀元件，其可以在弹簧的作用下偏置到打开(抬起)位置，如下文进一步描述的。此时，常开导向阀246也是打开的。当随后前级泵218启动时，向导向阀246供电，(例如，通过给螺线管通电)使得导向阀246关闭，从而将vpi阀214与前级泵218的排放/排出侧相隔离。此时，vpi阀214保持打开。当前级泵218操作时，真空开始在高真空级222中形成。高真空泵230的后续操作使真空达到真空室226的预期用途所需的水平。
如果随后前级泵218断电，例如由于停电或电源故障而关闭或切断，则导向阀246打开。例如，在基于螺线管的导向阀的情况下，导向阀246同样断电，由此螺线管断电，使得导向阀246移动到其常开位置。在导向阀246打开的情况下，vpi阀214的一侧现在经由第一排气输送管线254、导向阀246和第二排气输送管线258暴露于排气的压力下。排气压力例如可以处于或接近大气压，但是在任何情况下都远高于vpi阀214的另一侧的抽空区域中的压力。结果，在vpi阀214两端产生足以关闭vpi阀214的压差。例如，如本文进一步描述的，vpi阀214可以包括弹簧偏置活塞，排气压力迫使该活塞抵抗弹簧的偏置力而就位。vpi阀214可以构造成在导向阀246打开时快速关闭(例如，几毫秒)。vpi阀214的关闭使得高真空级222和前级泵218之间的工作气流路径(图2中的线262和266)关闭。以这种方式，保持高真空级222中的高水平真空，直到前级泵218再次操作。
当前级泵218重新启动时，导向阀246再次关闭。排气从vpi阀214处去除并且被吸入到前级泵218的泵入口234中。当vpi阀214中的压力变得足够低时，vpi阀214打开，从而将高真空级222与前级泵218重新联接。
从上述可以看出，vpi阀214由内部机构(即内部通路的排气流的压力)驱动关闭。环境空气不被利用并且不进入真空系统200。因此，前级泵218提供用于真空泵隔离的密封解决方案。
图3a是根据实施例的包括vpi阀314的真空泵318的一部分的示例的局部剖视立体图。真空泵318和vpi阀314可以设置为真空系统的一部分。因此，作为示例，真空泵318和vpi阀314可以对应于上述和图2所示的真空系统200的前级泵218和vpi阀214。
真空泵318通常包括包围泵内部324的泵体320。静止泵送元件和运动泵送元件(未示出)设置在泵内部324中。泵送元件(例如涡旋盘、叶片、瓣(lobe)等)取决于真空泵318的特定实施例。真空泵318包括泵入口334。在本实施例中，泵入口334由泵入口壳体(或泵入口凸缘)336限定，该泵入口壳体以真空密封的方式联接到泵体320。泵入口壳体336构造成流体联接到真空系统(如上所述的高真空级)，如图3中箭头322所示。泵入口壳体336包括泵入口端口340，vpi阀314位于该泵入口端口340中。vpi阀314被定位成使得泵入口334根据vpi阀314的状态来选择性地提供泵内部324和真空系统(高真空级)322的其余部分之间的流体连通。
图3a示出处于打开状态的vpi阀314。在打开状态下，vpi阀314允许气体自由地(由于真空泵318的泵送元件的操作)从真空系统322流入泵入口334，并且经由泵入口端口340进入泵内部324，如箭头344所示。为此，vpi阀314可以包括可移动构件，该可移动构件能够在对应于打开状态的打开位置与对应于关闭状态的关闭位置之间移动。可移动构件的关闭位置以及vpi阀314的关闭状态在图3b中示出，如下面所进一步描述的。
在本实施例中，vpi阀314包括活塞348形式的可移动构件。活塞348可以在打开位置(图3a)与关闭位置(图3b)之间成直线地(从图3a的视角看，在垂直方向上)移动。活塞348的直线移动或平移可以由活塞导向件352引导。在本实施例中，活塞导向件352是固定销的形式，该固定销在活塞移动方向上伸长并且延伸到活塞348的中心孔中。活塞348可以在合适的弹簧356的作用下朝所示的打开位置偏置，该弹簧围绕活塞348并且由活塞348的一个或多个外表面和泵入口壳体336的内表面来保持。此外，在本实施例中，活塞348包括第一活塞部(或主活塞体)360和与第一活塞部360附接(例如通过螺纹接合)的第二活塞部364(或活塞螺母)。活塞导向件352延伸穿过第二活塞部364的中心孔并进入第一活塞部360的中心孔内。
vpi阀314还包括由合适的柔性材料(例如橡胶)制成的环形隔膜368。隔膜368附接到活塞348和泵入口壳体336和/或泵体320。更具体地，在所示的实施例中，隔膜368的内周区域被夹在第一活塞部360和第二活塞部364之间，并且隔膜368的外周区域被夹在泵入口壳体336和泵体320之间。如图所示，隔膜368的外周区域可以包括环形凸缘，该环形凸缘位于泵入口壳体336的环形槽中。
图3b是与图3a的视图相类似但是示出处于关闭位置的vpi阀314的真空泵318的局部剖视立体图。如图3b中最佳地示出，可变容积控制容积室372由活塞348(具体地，第二活塞部364)、隔膜368以及泵体320的与活塞348(具体地，第二活塞部364)轴向相对并面向活塞348(具体地，第二活塞部364)的表面376来限定。从图3a和图3b的视角来看，控制容积室372位于活塞348和隔膜368的下方。当活塞348处于打开位置时(图3a)，控制容积室370的容积处于最小值，该打开位置从图3a和图3b的视角来看是活塞348的最低位置。在打开位置，活塞348(具体地，第二活塞部364)可以邻接泵体表面376。在一些实施例中并且如图3a所示，在打开位置，隔膜368的一部分本身可以折叠。另一方面，当活塞348移动到关闭位置时(图3b)，控制容积室370的容积扩大到最大值，该关闭位置从图3a和图3b的视角来看是活塞348的最高位置。如图3b所示，在关闭位置，活塞348(具体地，第一活塞部360)邻接环形阀座380。阀座380可以形成在泵入口壳体336的内表面上。为了在关闭位置增强密封活塞348和阀座380之间的密封接合，阀座380可以被设计(例如机加工)为比不用于密封的其它内表面更光滑的(表面粗糙度较小的)表面。此外，活塞348可以包括密封元件384(例如，位于第一活塞部360的环形槽中的o形环)，该密封元件与阀座380相接触并且在与阀座380接触时可以在活塞348和阀座380之间进行一定程度的变形。如图3b进一步示出的，弹簧356在关闭位置处被压缩。
如上述和图2所示的实施例中，真空泵318包括排气输送管线和导向阀，该排气输送管线从真空泵318的主排气管线延伸到vpi阀314，该导向阀可操作地位于排气输送管线中以交替地关闭(阻止气体流过)排气输送管线并打开(允许气体流过)排气输送管线。现在将参考图3a、图3b、图4和图5描述构成排气输送管线和导向阀的部件的示例。
图4是图3a和图3b所示的真空泵318的局部剖视侧视图。相对于图3a和图3b的视图，图4的视图围绕垂直轴线旋转。如图4所示，真空泵318包括导向阀488。如本公开中的前面所述，导向阀488通常可以是能够被致动到打开状态和关闭状态的任何类型的阀。在典型的非排他性实施例中，导向阀488构造成常开阀，即导向阀488需要电力被主动地保持在关闭状态。作为一个示例，导向阀488可以是电磁致动阀。电源经由合适的电线490向导向阀488供电。可以利用相同的电源(例如24v电源)向导向阀488和真空泵318的驱动一个(或多个)可动泵送元件(例如涡旋泵的轨道运行涡旋盘)的马达两者供电。导向阀488可以安装在第一导气块(或支架)492和第二导气块(或支架)394之间。导向阀488、第一导气块492和第二导气块导电块394可以位于泵体320的外部。
如本领域技术人员所理解的，真空泵318包括主排气管线442，该主排气管线将由泵送元件做功的气体远离真空泵318的排放侧传导。如上所述，在本实施例中，主排气管线442经由排气传输管线与导向阀488连通并且转而与vpi阀314(图3a和图3b)连通。在本实施例中，排气输送管线由多个气体通道(内部通路)共同形成或限定。气体通道彼此不同，这是由于它们设置在不同的固体结构中。相邻的气体通道在流体密封的连接点处和/或经由流体配件适当地彼此连通，其中，在流体密封的接合处不同的固体结构被接合。
在图4中具体示出的实施例中，排气输送管线包括第一气体通道421、第二气体通道425、第三气体通道429(部分示出)、第四气体通道531(图4中未示出，图5中部分地示出)和第五气体通道333(图4中未示出，图3a和图3b中部分地示出)，其中，第一气体通道设置在泵体320的外侧壳体423中并且流体联接到主排气管线442(其也设置在外侧壳体423中)，第二气体通道设置在泵体320的铸造框架427中并且流体联接到第一气体通道421，第三气体通道设置在第一导气块492中并且流体联接到第二气体通道425，第四气体通道设置在导向阀488中并流体联接到第三气体通道429，第五气体通道设置在第二导气块394中并且流体联接到第四气体通道。虽然在图4的局部剖视图中，仅示出了第三气体通道429的一部分并且未具体示出第四气体通道和第五气体通道，但是通过第一导气块492、导向阀488和第二导气块394的气体流动由虚线435示意性地示出。不同气体通道之间的流体联接或交接可以通过任何合适的方式被流体密封。作为示例，图4示出了提供诸如o形环之类的密封元件433。
图3a和图3b示出了第二导气块394及其内部的第五气体通道333的一部分。在图3a和图3b中具体示出的实施例中，排气输送管线还包括第六气体通道339，该第六气体通道设置在泵体320中(例如，铸造框架427中)并且流体联接到第五气体通道333。从图3a和图3b的视角来看，第六气体通道339包括水平部，该水平部流体联接到第五气体通道333并且通向与控制容积室370开放连通的垂直部(图3b)。在图3a所示的活塞348的打开(降低)位置，活塞348(具体地，第二活塞部364)可以阻止或者可以不阻止流体在第六气体通道339与控制容积室370之间流动。在任一种情况下，通过排气输送管线的气体流动由导向阀488的状态(打开或关闭)决定。
图5是在图3a、图3b和图4中示出的真空泵318的局部剖视俯视图，其中，去除了vpi阀314和相联的泵入口334(图3a和图3b)。沿经过导向阀488、第二导气块394和泵体320的在控制容积室370下方的一部分的平面进行切割(图3b)。切割平面被定位成使得未示出第一导气块492的第三气体通道429(图4)，仅示出导向阀488的第四气体通道531的部分，仅示出第二导气块394的第五气体通道333的一部分，并且仅示出第六气体通道339的在泵体320中的部分(水平部的一部分和垂直部的横截面，如图3a和图3b所示)。通过这些气体通道的未示出的部分的气体流动由虚线535示意性地示出。第四气体通道531可以由导向阀488的一个或多个内部通道限定。根据其构造，导向阀488可以包括一个或多个阀元件(通常至少一个可移动阀元件)，该阀元件使导向阀488在其打开状态和关闭状态之间切换，从而控制通过导向阀488和排气输送管线的气体流动。
真空泵318通常可以与图2所示的实施例相关地如上所述地操作。假设真空泵318没有操作，真空泵318的内部区域和系统的与真空泵318(诸如真空级322等)连通的其它部分处于环境(例如大气)压力下。此时，由于活塞348被弹簧356偏置到图3a所示的打开位置，vpi阀314处于打开状态。此时，由于没有电力被供应给导向阀488来将其激励到其关闭位置，因此常开的导向阀488也处于其打开状态。
然后，可以通过向真空泵318的电机供电来启动真空泵318。此时，还向导向阀488供电，使其切换到并保持在其关闭状态，由此阻止排气输送管线中的排气流动，从而将vpi阀314与主排气管线442隔离。此时，真空泵318正常操作。通过经由泵入口334(如通常由图3a中的箭头344所示)将气体分子从真空级322抽吸到泵内部324中并且将气体分子传输到位于真空泵318的排放侧的主排气管线442中，真空泵318在其进气(抽吸)侧和真空级322中形成真空。由于控制容积室372中的气体压力不足以克服通过弹簧356向活塞348施加的偏置力，vpi阀314保持在其打开状态。如图3a和图3b所示，真空泵318可以包括小径孔口339，该小径孔口在泵入口端口340和控制容积室372之间提供限制导气的流体连通。孔口339可以用于使控制容积室372中的压力与泵入口端口340中的真空压力相等。因此，在真空泵318的正常操作期间，在活塞348两端不存在压差。
如果在正常操作期间的某个时刻，真空泵318有意地或由于操作故障而关闭，则导向阀488也会断电并切换到其打开状态。因此，控制容积室372经由现在打开的排气输送管线与主排气管线442(其可处于或接近大气压)连通并且由流入控制容积室372内的排气迅速加压。因此，压差在活塞348的两端迅速形成并且抵抗弹簧356的偏置力而迫使活塞348移动到图3b所示的关闭位置。在关闭位置，活塞348阻挡真空级322和泵入口340之间的气体流动，从而在保持真空级322中的真空压力。隔膜368防止排气从控制容积室372快速流入真空级322中。然而，限制导气孔口339允许排气从控制容积室372缓慢地流过孔口339、流过泵入口340并进入泵内部324中。通过孔口339的较小气体流动可以用于防止气体从主排气管线442通过泵内部324回流到泵入口340中，从而防止油或颗粒进入泵入口334。
当随后真空泵318重新启动时，导向阀488切换回其关闭状态，由此重新在vpi阀314和主排气管线442之间的排气输送管线中建立流体密封。由于真空泵318在该恢复操作期间开始再次产生真空，真空泵318逐渐将控制容积室372中(和排气传输管线的在控制容积室372与现在关闭的导向阀488之间的部分)的排气经由孔口339泵出。活塞348两端的压差变小，并且当控制容积室372中的压力变得足够小时，活塞348(由弹簧356辅助)移动到打开位置，由此重新在真空泵318和真空级322之间建立流体连通。
从前述可以看出，如在本文所公开的其它实施例中，真空泵318提供密封的并且无需环境空气用于其操作的vpi阀。
如上所述，本文所公开的真空泵可以是涡旋泵。如本领域技术人员所理解，涡旋泵的泵送级可以包括静止涡旋盘和可驱动为绕静止涡旋盘进行轨道运动的轨道运行涡旋盘。涡旋泵的示例在例如美国专利申请公开号us2014/0271233a1；us2014/0271242a1和us2016/0201674a1中进一步地描述，这些专利各自的内容通过引用全部并入本文。
应当理解，诸如“连通”和“与……连通”(例如，第一部件与第二部件相连通)之类的术语在本文中用于表示两个或更多个部件或元件之间的结构、功能、机械、电气、信号、光学、磁性、电磁、离子或流体关系。由此，一个部件被认为与第二部件相连通的事实并不旨在排除以下可能性：附加部件可能存在于第一部件和第二部件之间和/或附加部件与第一部件和第二部件可操作地相联或相接合。
应当理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以改变本发明的各个方面或细节。此外，前面的描述仅仅是为了说明的目的，而不是为了限制的目的，本发明由权利要求来限定。