闸阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及闸阀，其设置在半导体处理装置、液晶处理装置等处理装置中的加工腔和转移腔之间，用于对连结该加工腔和转移腔的阀门开口部进行开闭。
【背景技术】
[0002]闸阀使用于例如在被抽真空而导入了加工气体的加工腔内利用氟(F)、氧(0)等自由基对半导体晶片、液晶基板等被处理物进行蚀刻等处理的处理装置，具有在向上述腔内运入运出被处理物时打开上述阀门开口部、在上述腔内的加工处理时气密地闭塞该阀门开口部的作用。而且，这种闸阀一般来说构成为:在形成于阀板的环状的燕尾槽内安装0型圈等密封构件，通过使该密封构件相对于设置于上述阀门开口部的周围的阀座接触分离，对该阀门开口部进行开闭。
[0003]顺便提及，在具备这样的结构的闸阀中，已知如下的问题:若在加工处理时在密闭的腔内产生的自由基通过上述阀板和开设了上述阀门开口部的侧壁之间的间隙而作用于上述密封构件时，则该密封构件的劣化会提前或产生颗粒。而且，作为欲抑制由该自由基导致的密封构件的劣化等的闸阀，可列举有例如专利文献1和专利文献2。
[0004]另外，另一方面，为了实现阀门开口部的更为可靠的密封，也期望用于更为可靠地防止上述密封构件从燕尾槽脱落的对策。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2002-217137号公报
[0008]专利文献2:日本特开2006-5008号公报
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]本发明的技术课题在于提供一种闸阀，能够抑制由自由基导致的密封构件的劣化，同时，也能够防止密封构件从燕尾槽的脱落。
[0011]用于解决课题的手段
[0012]为了解决上述技术课题，本发明的闸阀具有为了与加工腔连接而开设于隔壁的阀门开口部、以及用于与该阀门开口部接触分离而对该阀门开口部进行开闭的阀板，在上述隔壁的上述阀门开口部的周围形成阀座，上述阀板具有在与该阀座对应的位置设有密封槽而构成的阀板主体、以及安装在该密封槽内的密封构件，其中，在上述密封槽内收容了整个上述密封构件，上述阀座从上述隔壁的内面向阀板方向突出设置，在其前端具有使上述密封构件接触分离的阀座面，并且具有比该密封槽的开口宽度小的宽度，上述闸阀构成为:当上述阀板位于上述阀门开口部的密闭位置时，上述阀座的前端部分插入上述密封槽内，在该密封槽内上述阀座面相对于上述密封构件气密地抵接。
[0013]在本发明的闸阀的第一实施方式中，上述密封槽由第一槽部和第二槽部形成，第一槽部在上述阀板主体的与上述阀门开口部相向的密封面开口并在深度方向上具有均匀的槽宽度，第二槽部在该第一槽部的底壁的大致中央开口并具有比该第一槽部的槽宽度小的开口宽度，上述密封构件具有比上述第二槽部的开口宽度大的宽度和比该第二槽部的深度大的厚度，以使其一部分在上述第一槽部突出了的状态安装于该第二槽部。
[0014]此外，此时优选为，上述密封构件的在第一槽部突出了的部分的表面形成为凸曲面，上述阀座面形成为平坦面。
[0015]另外，优选为，上述第一槽部的槽宽度在上述第二槽部的开口宽度的2倍以下。
[0016]而且，在本发明的闸阀的第二实施方式中，上述密封槽由单一的凹槽形成，该凹槽在上述阀板主体的与上述阀门开口部相向的密封面开口并具有均匀的槽宽度，上述密封构件安装于该凹槽内。
[0017]此外，此时优选为，上述密封构件的与上述阀座面相向的表面形成为平坦面，上述阀座面形成为凸曲面。
[0018]并且，在本发明的闸阀中，优选为，当上述阀板位于上述阀门开口部的密闭位置时，与上述阀门开口部中的隔壁的内面侧的开口缘和上述阀座的表面这两者相切的直线，在这些切点之间与上述阀板主体相切或横穿上述阀板主体。
[0019]发明的效果
[0020]这样，根据本发明的闸阀，整个密封构件总是收容在密封槽内，而且，构成为:在阀门开口部密闭时，从隔壁的内面突出设置的阀座插入上述密封槽内，成为在上述密封槽内相对于密封构件气密地抵接的状态。因此，在阀门开口部密闭时，成为由密封槽和阀座包围了密封构件的状态，从阀门开口部侧进入阀板和隔壁之间的间隙的自由基的大部分会反复向该阀板、隔壁或阀座的碰撞而被阻止向密封构件的到达，结果，能够抑制由自由基导致的该密封构件的劣化。而且，也能够同时防止该密封构件从密封槽脱落。
[0021]特别是，根据技术方案6的闸阀，由于能够抑制自由基从阀门开口部直接到达密封构件，所以能够更为可靠地防止由自由基导致的密封构件的劣化。
【附图说明】
[0022]图1是表示在本发明的第一实施方式的闸阀中阀板位于从阀门开口部沿垂直方向分离了的中间位置的状态的概略性的剖视图。
[0023]图2是表示在本发明的第一实施方式的闸阀中阀板位于气密地闭塞了阀门开口部的密闭位置的状态的概略性的剖视图。
[0024]图3 (a)是图1中的A部分的放大图，图3 (b)是图2中的B部分的放大图。
[0025]图4是本发明的第二实施方式的闸阀的主要部分放剖视图，图4 (a)示出了阀板位于从阀门开口部沿垂直方向分离了的中间位置的状态，图4 (b)示出了阀板位于气密地闭塞了阀门开口部的密闭位置的状态。
【具体实施方式】
[0026]根据图1、图2和图3，说明本发明的闸阀的第一实施方式。该闸阀1具有:大致长方体且中空的阀箱3，其开设了用于与未图示的加工腔连接的阀门开口部2 ;阀板4，其配置在该阀箱3内；阀杆5，其在前端部固定该阀板4，基端部贯通上述阀箱3而向该阀箱3外伸出；以及阀移动机构60，其为了使上述阀板移动而对上述阀门开口部2进行开闭，连结到该阀杆5的基端部。而且，通过由未图示的气缸等驱动部来驱动上述阀移动机构60，能够使上述阀板4在使阀门开口部2全开的由图1的虚线所示的全开位置与使该阀门开口部2气密地闭塞的图2所示的密闭位置之间，通过与上述阀门开口部2分离并相向的由图1的实线所示的中间位置而往复移动。
[0027]上述阀箱3具有相对的前后的第一及第二隔壁3a、3b，在这些隔壁之中的第一隔壁3a，呈在横向上长的大致矩形地开设了上述阀门开口部2，在第二隔壁3b中的与上述阀门开口部2相向的位置，同样呈大致矩形地开设了背面开口部6。而且，在上述第一隔壁3a的内面3c，环状的阀座7形成为包围上述阀门开口部2的周围。
[0028]另一方面，上述阀板4具有:阀板主体8，其形成为纵横的尺寸比上述阀门开口部2大的大致矩形的板状，在与该阀门开口部2相向的表面侧具备大致平坦的密封面8a ;以及环状的密封构件9，其安装在该阀板主体8的密封面8a，随着该阀板4的移动而相对于上述阀座7的阀座面7a接触分离，由此对上述阀门开口部2进行开闭。
[0029]此时，上述阀板主体8，在其上述密封面8a的与上述阀座7对应的位置，具备用于嵌合地安装上述密封构件9的环状的密封槽10，在上述密封面8a的相反侧的背面侧，通过适当的夹具(未图示)来相对于上述阀杆5固定。
[0030]另外，上述密封构件9由橡胶等弹性材料(弹性体)一体地形成，在整周上具有均匀的截面。同样地，用于嵌合地安装该密封构件9的上述密封槽10也在整周上具有均匀的截面。
[0031]上述阀移动机构60具有:块状的杆构件61，其在上述阀箱3外固定于阀杆5的基端部侧；左右一对的第一及第二凸轮辊62a、62b，其沿着上述阀杆5的轴固定在该杆构件61的左右两侧面；左右一对的第一及第二导辊63a、63b，其沿着上述阀杆5的轴相对于上述阀箱3固定地配置；以及凸轮架66，其通过由结合板65将分别与上述杆