气体供应装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提出了一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，包括：供应设备，连接供应设备和需求设备的供气管路，设置在供气管路上的气动阀，与气动阀通过第二驱动气管相连的电磁阀组，与电磁阀组相连的第一驱动气管，与电磁阀组信号相连的控制单元以及设置在第一驱动气管上并与控制单元信号连接的感应器；传感器能够监测到第一驱动气管内有无流量变化，由于驱动气体驱动打开气动阀只需1～2秒，若第一驱动气管内长时间有流量，则说明第一驱动气管、电磁阀组或者第二驱动气管出现了漏气，因此本实用新型提出的气体供应装置能够监测是否存在漏气的现象，便于确保气体供应装置是否正常工作。
【专利说明】气体供应装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种气体供应装置。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，制造半导体芯片的工艺需要用到大量的气体，不同的工艺用到的气体也不尽相同，所需的气体量也由微量到大量不等。所有的气体均由厂务统一分配，厂务通过控制供应设备与需求设备之间气动阀的开关来实现对需求设备提供气体或者断供气体。
[0003]请参考图1，在现有技术中，气体供应装置包括:控制单元10、第一驱动气管20、电磁阀组30、信号线40、第二驱动气管50以及气动阀60;其中，所述控制单元10通过信号线40信号控制所述电磁阀组30，所述控制单元10能够控制所述电磁阀组30的开关；所述第一驱动气管20与电磁阀组30相连，用于提供一定气压的启动气体，所述电磁阀组30还包括气动阀排气口 31，用于排出多余的气体，所述气动阀60设于所述供应设备与需求设备之间的气体管路61上，所述气动阀60打开，所述供应设备就通过所述气体管路61对所述需求设备进行供气；所述第二驱动气管50连接所述电磁阀组30和气动阀60，用于对所述气动阀60提供打开所述气动阀60的气体。
[0004]现有技术中的气体供应装置在具体使用中时，第一驱动气管20连接有一供供应设备(图未示出)，持续不断的提供一定压强的气体至电磁阀组30，若所述控制单元10发出控制信号将所述电磁阀组30打开，则气体会由所述第二驱动气管50中流入至所述气动阀60中，并将所述气动阀60打开，此时供应设备就能够对需求设备进行供气。
[0005]然而，由于所述第一驱动气管20 —直存在一定压强的气体，并且持续不断的对所述电磁阀组30进行供气，因此会加速第一驱动气管20和电磁阀组30的老化，随着时间的推移，可能会存在漏气，从而导致气动阀60打开的延迟，严重时，漏气会致使气动阀60无法打开。
实用新型内容
[0006]本实用新型的目的在于提供一种气体供应装置，能够监测是否存在漏气现象，便于确保气体供应装置是否正常工作。
[0007]为了实现上述目的，本实用新型提出了一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，包括:
[0008]供应设备、气动阀、电磁阀组、供气管路、第一驱动气管、第二驱动气管、控制单元以及感应器；其中，所述供应设备和需求设备通过供气管路相连，所述气动阀设置于所述供气管路上，所述第二驱动气管连接所述电磁阀组和气动阀，所述控制单元与所述电磁阀组信号连接，所述第一驱动气管与所述电磁阀组相连，所述感应器设置于所述第一驱动气管上，所述感应器与所述控制单元信号连接。
[0009]进一步的，所述气体供应装置还包括一调压阀，所述调压阀设置于所述第一驱动气管上。
[0010]进一步的，所述气体供应装置还包括驱动气源，所述驱动气源连接所述第一驱动气管。
[0011]进一步的，所述电磁阀组上设有一排气端口。
[0012]进一步的，所述气体供应装置还包括一第一信号线，所述控制单元与所述电磁阀组通过所述第一信号线进行信号连接。
[0013]进一步的，所述气体供应装置还包括一第二信号线，所述感应器与所述控制单元通过所述第二信号线进行信号连接。
[0014]进一步的，所述电磁阀组包括多个电磁阀。
[0015]与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在:在第一驱动气管上设置一传感器，并与控制单元连接，传感器能够监测到第一驱动气管内有无流量变化，由于驱动气体驱动打开气动阀只需I?2秒，若第一驱动气管内长时间有流量，则说明第一驱动气管、电磁阀组或者第二驱动气管出现了漏气，因此本实用新型提出的气体供应装置能够监测是否存在漏气的现象，便于确保气体供应装置是否正常工作。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]图1为现有技术中气体供应装置的结构示意图；
[0017]图2为本实用新型一实施例中气体供应装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]下面将结合示意图对本实用新型的气体供应装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0019]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0020]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0021 ] 请参考图2，在本实施例中，提出了 一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，包括:
[0022]供应设备、气动阀600、电磁阀组300、供气管路610、第一驱动气管200、第二驱动气管500、控制单元100以及感应器220 ;其中，所述电磁阀组300、第一驱动气管200、第二驱动气管500、控制单元100以及感应器220组成了驱动系统，如图虚线框所示，驱动系统用于驱动所述气动阀的打开与关闭；所述供应设备和需求设备通过供气管路610相连，所述气动阀600设置于所述供气管路610上，所述第二驱动气管500连接所述电磁阀组300和气动阀600，所述控制单元100与所述电磁阀组300信号连接，所述第一驱动气管200与所述电磁阀组300相连，所述感应器220设置于所述第一驱动气管200上，所述感应器220与所述控制单元100信号连接。
[0023]其中，所述电磁阀组300由多个电磁阀组成，每个电磁阀均可以控制不同的气动阀600，所述控制单元100与所述电磁阀组300通过所述第一信号400线进行信号连接，所述控制单元100能够控制所述电磁阀组300中的电磁阀的开关；所述感应器220与所述控制单元100通过所述第二信号线410进行信号连接，所述传感器220能够监测到所述第一驱动气管200内有无流量变化，并将变化量通过第二信号线410反馈至控制单元100中，其中，所述控制单元100可以为PLC。
[0024]在本实施例中，所述气体供应装置还包括一调压阀210，所述调压阀210设置于所述第一驱动气管200上，用于调节所述第一驱动气管200内的驱动气体的压力，；所述气体供应装置还包括驱动气源700，所述驱动气源700连接所述第一驱动气管200，用于提供驱动气体，所述驱动气体可以为氮气或其它惰性气体；通常情况下，驱动气源700能够提供8公斤的驱动气体，得通过调节阀210进行压力调节，将驱动气体的压力调节符合打开气动阀600的压力，例如是4公斤至5.5公斤；所述电磁阀组300上设有一排气端口 310，当需要将气动阀600关闭时，可以通过所述排气端口 310排出在所述电磁阀组300内多余的驱动气体，从而关闭所述气动阀600。
[0025]在具体的使用过程中，当所述控制单元100发出信号打开电磁阀组300中的电磁阀时，驱动气源700中的驱动气体能够通过第一驱动气管200、电磁阀以及第二驱动气管500传输至所述气动阀600中，并将所述气动阀600打开，此时，供应设备中的气体便能够由所述供气管路600传输至需求设备供其使用。
[0026]综上，在本实用新型实施例提供的气体供应装置中，传感器能够监测到第一驱动气管内有无流量变化，由于驱动气体驱动打开气动阀只需I?2秒，若第一驱动气管内长时间有流量，例如超过10秒依然还有流量变化，则说明第一驱动气管、电磁阀组或者第二驱动气管出现了漏气，因此本实用新型提出的气体供应装置能够监测是否存在漏气的现象，便于确保气体供应装置是否正常工作。
[0027]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种气体供应装置，用于向需求设备提供气体，其特征在于，包括: 供应设备、气动阀、电磁阀组、供气管路、第一驱动气管、第二驱动气管、控制单元以及感应器；其中，所述供应设备和需求设备通过供气管路相连，所述气动阀设置于所述供气管路上，所述第二驱动气管连接所述电磁阀组和气动阀，所述控制单元与所述电磁阀组信号连接，所述第一驱动气管与所述电磁阀组相连，所述感应器设置于所述第一驱动气管上，所述感应器与所述控制单元信号连接。
2.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述气体供应装置还包括一调压阀，所述调压阀设置于所述第一驱动气管上。
3.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述气体供应装置还包括一驱动气源，所述驱动气源连接所述第一驱动气管。
4.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述电磁阀组上设有一排气端口。
5.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述气体供应装置还包括一第一信号线，所述控制单元与所述电磁阀组通过所述第一信号线进行信号连接。
6.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述气体供应装置还包括一第二信号线，所述感应器与所述控制单元通过所述第二信号线进行信号连接。
7.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，所述电磁阀组包括多个电磁阀。
【文档编号】F17D5/02GK203533217SQ201320672685
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年10月29日 优先权日:2013年10月29日
【发明者】张文武, 张祯, 刁春华, 周鹏, 杨洪, 廖伟杰 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司