安全气体源钢瓶的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及安全气体源钢瓶，钢瓶的瓶体呈方形结构，钢瓶外形长度为25mm～160mm，宽度为25mm～160mm，高度为25mm～500mm，瓶体上设有气体阀门接口，气体阀门接口上安装气体阀门，瓶体内放置有吸附剂。将钢瓶设计为与气柜仓相同的方形结构，实现在同样大小空间的情况下，增加钢瓶的有效体积，从而增加钢瓶的储气和供气量，达到优化安全气体源和气柜使用效率的目的。易于制造，钢瓶使用效率高，特别适合对空间利用率要求高的大规模集成电路生产场合，由于钢瓶储气量增加而减少钢瓶置换频率，使剧毒气体和超高压带来的安全隐患也大大减少。
【专利说明】安全气体源钢瓶
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种安全气体源钢瓶。
【背景技术】
[0002]大规模集成电路制造的最主要工艺中，像离子注入和化学沉积，需要使用大量的像砷烷(AsH3)，磷烷(PH3)和三氟化硼(BF3)的气体材料。由于其剧毒性质和独特的使用方法，必须采用安全的负压包装技术，也就是安全气体源SDS? (Safe Delivery Source),安全气体源是一个以吸附剂为核心的气体钢瓶。与一般的高压气体钢瓶相比，其特点是在保持储气量不变的情况下，能将钢瓶压力维持在一个大气压以下，也就是负压水平。这样在钢瓶的使用中即使操作有误或出现意外，都不会有毒气外漏，达到了生产车间的安全需要。此技术由美国ATMI (Advanced Technology Materials Inc.)公司开发，由于其安全性，被半导体行业广泛地采纳，应用于离子注入工艺过程。但是目前的产品存在以下缺点:钢瓶的使用效率不高。由于离子注入机台是超高压设备，含有剧毒气体的安全气体源钢瓶必须内置于机台内部的特定气柜中。由于供气的气柜和钢瓶仓位都是方形的，而钢瓶是圆形的，钢瓶四周都会留下许多空间，得不到充分利用。对于昂贵的机台和无尘车间来说，这都是很大的浪费。加之由于较小的钢瓶储气量而造成的频繁的钢瓶置换，剧毒气体和超高压带来的安全隐患也大大增加。因此，通过钢瓶形状改变来更有效地增加储气量对离子注入生产不但可以节约成本，也大大地改善了生产车间的安全性。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种安全气体源钢瓶。
[0004]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
[0005]安全气体源钢瓶，特点是:所述钢瓶的瓶体呈方形结构，钢瓶外形长度为25mm?160mm,宽度为25mm?160臟，高度为25mm?500臟，瓶体上设有气体阀门接口，气体阀门接口上安装气体阀门，瓶体内放置有吸附剂。
[0006]进一步地，上述的安全气体源钢瓶，所述瓶体的材质为碳钢或不锈钢或铝合金或
鹤金属。
[0007]更进一步地，上述的安全气体源钢瓶，所述气体阀门上套置有保护帽。
[0008]更进一步地，上述的安全气体源钢瓶，所述方形为正方形或长方形。
[0009]本实用新型技术方案的实质性特点和进步主要体现在:
[0010]将钢瓶设计为与气柜仓相同的方形结构，实现在同样大小空间的情况下，增加钢瓶的有效体积，从而增加钢瓶的储气和供气量，达到优化安全气体源和气柜使用效率的目的。易于制造，钢瓶使用效率高，特别适合对空间利用率要求高的大规模集成电路生产场合，由于钢瓶储气量增加而减少钢瓶置换频率，使剧毒气体和超高压带来的安全隐患也大大减少。【专利附图】
【附图说明】
[0011]下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明:
[0012]图1:本实用新型的构造示意图；
[0013]图2:瓶体的截面不意图。
【具体实施方式】
[0014]如图1、图2所示，安全气体源钢瓶，钢瓶的瓶体I呈方形结构，可以是正方形，或是长方形，钢瓶外形长度为25mm~160mm,宽度为25mm~160mm,高度为25mm~500mm,瓶体上设有气体阀门接口，气体阀门接口上安装气体阀门2，瓶体内放置有吸附剂，气体阀门2上套置有保护帽。
[0015]瓶体I的材质为碳钢或不锈钢或铝合金或钨金属，瓶体I可以用热煅法制成，也可以用热拉法制成，也可以用焊接法制成。
[0016]钢瓶的最大工作压力为5个大气压，最大测试压力为20个大气压，最大爆裂压力为140个大气压，最大真空压力为1X1(T5 mmHgo
[0017]在不需要对气柜进行任何改动的情况下，钢瓶采用方形结构，使钢瓶体积和储气量增加近30%，也就是将等单位气柜空间供气量增加近30%。
[0018]圆形钢瓶只能占据小于80%的气柜空间，而方形钢瓶可以利用气柜95%以上的空间。
[0019]实施例1:
[0020]传统的直径约为105mm、高为336mm的2.4L圆形钢瓶，SS304不锈钢的正方形钢瓶。对钢瓶进行砷烷充气直到钢瓶压力平衡在650mmHg (25°C室温)。充完气后，用真空将钢瓶抽至于20mmHg以测试其供气量。方形钢瓶与圆形钢瓶的比较数据如下:
[0021]
【权利要求】
1.安全气体源钢瓶，其特征在于:所述钢瓶的瓶体呈方形结构，钢瓶外形长度为25mm?160mm,宽度为25mm?160mm,高度为25mm?500mm,瓶体上设有气体阀门接口，气体阀门接口上安装气体阀门，瓶体内放置有吸附剂。
2.根据权利要求1所述的安全气体源钢瓶，其特征在于:所述瓶体的材质为碳钢或不锈钢或铝合金或钨金属。
3.根据权利要求1所述的安全气体源钢瓶，其特征在于:所述气体阀门上套置有保护帽。
4.根据权利要求1所述的安全气体源钢瓶，其特征在于:所述方形为正方形或长方形。
【文档编号】F17C13/04GK203615054SQ201320733047
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年11月19日 优先权日:2013年11月19日
【发明者】王陆平, 许从应, 李英辉, 马潇, 朱颜, 王仕华, 王智 申请人:苏州丹百利电子材料有限公司