1.一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐(17)，其特征在于：所述储罐(17)上设有隔膜阀三(3)、隔膜阀四(4)，所述隔膜阀三(3)另一端与波纹管一(10)连接，所述波纹管一(10)另一端分别与隔膜阀一(1)和隔膜阀二(2)连接；所述隔膜阀四(4)另一端与波纹管二(11)连接；所述储罐(17)内设有管道与隔膜阀五(5)连接，所述隔膜阀五(5)另一端与波纹管三(12)连接，所述波纹管三(12)另一端分别与波纹管四(13)、波纹管五(14)、波纹管六(15)、波纹管七(16)连接，所述波纹管四(13)、所述波纹管五(14)、所述波纹管六(15)、所述波纹管七(16)另一端分别对应连接于隔膜阀六(6)、隔膜阀七(7)、隔膜阀(8)、隔膜阀九(9)，所述隔膜阀六(6)、所述隔膜阀七(7)、所述隔膜阀八(8)、所述隔膜阀九(9)另一端分别对应连接于充装电容一(18)、充装电容二(19)、充装电容三(20)、充装电容四(21)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化硅的分装装置，其特征在于：所述波纹管一(10)、所述隔膜阀一(1)和所述隔膜阀二(2)之间设有压力表(22)。
3.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化硅的分装装置，其特征在于：所述储罐(17)底部设有电子秤(23)。
4.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化硅的分装装置，其特征在于：所述储罐(17)两侧安装有把手(24)。
5.根据权利要求1所述的一种电子级四氯化硅的分装装置，其特征在于：与所述隔膜阀五(5)连接的管道通向于所述储罐(17)内底部。