技术总结
本实用新型公开了一种电子级四氯化硅的分装装置，包括储罐，其特征在于：所述储罐上设有隔膜阀三、隔膜阀四，所述隔膜阀三另一端与波纹管一连接，所述波纹管一另一端分别与隔膜阀一和隔膜阀二连接；所述隔膜阀四另一端与波纹管二连接；所述储罐(17)内设有管道与隔膜阀五连接，所述隔膜阀五另一端与波纹管三连接，所述波纹管三连接于各个充装电容。本实用新型提供的一种电子级四氯化硅的分装装置，集洁净、密封、残液处理于一体的分装装置。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：苏州复纳电子科技有限公司
文档号码：201620415867
技术研发日：2016.05.10
技术公布日：2016.12.07