一种供气切换设备的制造方法_2

文档序号:8784856阅读:来源:国知局

[0019]图1中:第一控制器一 1、压力检测装置一2、气罐一3、纯度检测装置一4、第二控制器一5ο
【具体实施方式】
[0020]本实用新型的核心是提供一种供气切换设备,通过本实用新型的应用,将明显提高合格气体的利用率、降低用气成本,同时提高合格气体供给的准确性。
[0021 ] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0022]请参考图1,图1为本实用新型结构示意图。
[0023]根据图1中所示,供气切换设备包括至少两个并联的气罐3、分别检测各个气罐3压力的压力检测装置2,与压力检测装置2信号接通且能够控制各个气罐3通断切换的第一控制器1,还包括用于检测各个气罐3输出气体的纯度的纯度检测装置4和能够控制各个气罐3通断切换的第二控制器5,纯度检测装置4与第二控制器5信号接通。以上的结构设置中,供气切换设备在某一气罐3输出气体时对此气罐3检测其气体输出压力,同时检测输出气体的纯度,当压力检测装置2检测到气罐3的压力低于设定值时,此时若继续使用此气罐3的输出气体,将无法满足后续流程所需的气压,压力检测装置2将气压信号传递至第一控制器1,第一控制器I根据此信号进而控制关断此低压力气罐3,以便对此气罐3进行更新,同时开通另一气罐3以继续供给合格气压的气体。与此同时,纯度检测装置4对输气的气罐3进行气体纯度检测,当发生气体纯度被检测不合格时,纯度检测装置4将信号传递至第二控制器5,由第二控制器5控制切换不同气罐3的通与断以维持连续地提供纯度合格的气体。以上压力检测装置2与纯度检测装置4是分别独立检测不同指标的平行装置,即压力检测装置2所检测的气压和纯度检测装置4所检测的纯度,此两个检测参数有一个不合格则此供气气罐3便被关断,在压力和纯度两个参数分别合格的状态下,气罐3输出的气体才为合格。本供气切换设备与后续用气流程相对应,后续用气流程需要使用压力和纯度皆合格的气体。因此本供气切换设备中的压力检测装置2和纯度检测装置4对某一气罐3检测和判断是否应该关断此气罐时,其二者出现一个不合格数值,便通过第一控制器I或第二控制器5控制进行气罐3切换。
[0024]现有技术中,只检测气罐输出气体的压力值,当压力过低时进行气罐的切换,而由于因环境温度等因素的干扰,气罐压力检测数据不稳定、不真实,而对气罐输出气体的纯度未设置检测结构,只是将纯度数据依附于压力数据,在高压力时的纯度指标高概率地能保证合格,本着此原则,在实际所需使用的压力值以上提高安全系数,此安全系数则为与压力大致关联的纯度而设置,以此来预期保证输出气体的压力和纯度皆合格。因此,对比于现有技术,本实用新型提供的供气切换设备分别对压力和纯度进行检测,无需提高压力的最低限制,同时在压力合格的状态下,若发生纯度不合格时也能准确地检测并关断此气罐,故本实用新型的应用将明显提高合格气体的利用率、降低用气成本,同时提高合格气体供给的准确性。
[0025]在上述具体实施例的基础上,还可以将第一控制器I和第二控制器5设置为一体结构控制器,由一体结构控制器分别与压力检测装置2和纯度检测装置4信号接通,且各个气罐3的通断切换受一体结构控制器的控制,由此,当压力检测装置2检测出的压力数据和/或纯度检测装置4检测出的纯度数据不合格时,通过一体结构控制器进行整体控制便能够更准确地进行控制切换,这进一步提高了提供合格气体的准确性。
[0026]通常的一体结构控制器可以使用可编程逻辑控制器,即PLC。对于PLC,其程序设置与连线设置都较便捷。还可以在PLC上接通用于发出通断切换提示信息的提示装置,由此能够便于准确控制操作。
[0027]对于上述具体实施例中提及的纯度检测装置4,通常的纯度检测装置4包括纯度分析仪。
[0028]对于纯度检测装置4,其可以通过压力调节阀和/或流量调节阀而与各个气罐3连通,由于气体压力与流量需依后续流程需求设置,而纯度检测装置4作为纯度数据检测的精密检测装置,其需要压力、气流等较稳定的检测状态,因此将纯度检测装置4通过压力调节阀、流量调节阀与各个气罐3连通的结构设置能够进一步提高检测的准确性。
[0029]对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
【主权项】
1.一种供气切换设备,包括至少两个并联的气罐(3)、分别检测各个所述气罐(3)压力的压力检测装置(2),与所述压力检测装置(2)信号接通且能够控制各个所述气罐(3)通断切换的第一控制器(I),其特征在于,还包括用于检测各个所述气罐(3)输出气体的纯度的纯度检测装置(4)和能够控制各个所述气罐(3)通断切换的第二控制器(5),所述纯度检测装置(4)与所述第二控制器(5)信号接通。
2.如权利要求1所述的供气切换设备,其特征在于,所述第一控制器(I)和所述第二控制器(5)为一体结构控制器,能够控制各个所述气罐(3)通断切换的所述一体结构控制器分别与所述压力检测装置(2)和所述纯度检测装置(4)信号接通。
3.如权利要求2所述的供气切换设备,其特征在于,所述一体结构控制器具体为可编程逻辑控制器。
4.如权利要求3所述的供气切换设备,其特征在于,还包括用于发出通断切换提示信息的提示装置,所述提示设备与所述可编程逻辑控制器信号接通。
5.如权利要求1至4任一项所述的供气切换设备,其特征在于,所述纯度检测装置(4)具体为纯度分析仪。
6.如权利要求5所述的供气切换设备,其特征在于,还包括压力调节阀,所述纯度检测装置(4)通过所述压力调节阀与所述气罐(3)连通。
7.如权利要求6所述的供气切换设备,其特征在于,还包括流量调节阀,所述纯度检测装置(4)通过所述流量调节阀与所述气罐(3)连通。
【专利摘要】本实用新型涉及气体输送技术领域,特别是涉及一种供气切换设备。供气切换设备包括至少两个并联的气罐、分别检测各个气罐压力的压力检测装置,与压力检测装置信号接通且能够控制各个气罐通断切换的第一控制器,还包括用于检测各个气罐输出气体的纯度的纯度检测装置和能够控制各个气罐通断切换的第二控制器,纯度检测装置与第二控制器信号接通。对压力和纯度独立检测,据此进行关断与切换。现有技术中只检测压力,高压力气体的纯度基本合格,而温度等因素会造成压力波动,则检测有误差,同时提高压力指标以保证纯度的设置浪费合格气体。本实用新型提高合格气体利用率、降低用气成本,提高合格气体供给准确性。
【IPC分类】F17D3-01
【公开号】CN204494089
【申请号】CN201520162666
【发明人】吴乾积
【申请人】海南汉能薄膜太阳能有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年3月23日
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