专利名称：光学系统星点实时测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光电测量技术，特别是一种涉及光学系统星点实时测量装置。
背景技术：
通过考察一个点光源经过光学系统后在像面前后不同截面上所成衍射像的光强分布，即星点像，可以定性的评定光学系统的成像质量。这种衍射图案的变形以及在各衍射环之间光能量的分布与理想情况下的差异能够非常灵敏地反映出光学系统或者光学零件的缺陷。以往传统的星点测量方法都是借助于显微镜等目视工具，其测量装置主要由一个包括光源在内的光具座、被测光学系统镜头和显微镜组成，测量人员通过显微镜的目镜直接进行观察和测量，所以效率较低，测量结构不稳定，费时费力，且测量时人为因素的影响较大。在观察其衍射图案时不易察觉一些细节；在测量能量分布情况时，由于受测量人员的影响，其结果也是不同的。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够快速判读，且测量精度较高的光学系统星点实时测量装置。
解决上述问题的技术方案是所提供的光学系统星点实时测量装置具有依次排列的一个包括光源在内的光具座、被测光学系统镜头和显微物镜，本实用新型的特别之处是在上述显微物镜后面设有一个面阵电荷耦合器，在该面阵电荷耦合器的输出端接有一个带采集卡的计算机。光源发出的光经过光具座、被测光学系统镜头和显微镜物镜后被面阵电荷耦合器接收，再通过计算机进行图像处理，计算出星点像的大小。
面阵电荷耦合器的光敏元存在一定形式的几何空间排列，其感光像元的几何精度是靠光刻工艺保证的，累积误差小于1微米，且每个像素的位置可寻址。本实用新型以面阵电荷耦合器作为探测器，可以将测量目标像采集，避免了人为因素的影响，消除了眼睛疲劳，减轻了劳动强度，不但使测量精度大大提高，而且提高了劳动效率，并且可以进行多人观测，其检测结果还可以以图片形式保存，以备查验。
附图是本实用新型一个实施例的结构原理示意图。
具体实施方式
如图所示光具座1包括光源11、滤光片12、聚光镜13、星点板14和平行光管物镜15，在平行光管物镜15的后面设有一个被测光学系统镜头2，再之后是显微镜3，显微物镜3后面接有一个面阵电荷耦合器4，面阵电荷耦合器4的输出端与计算机5相接。光源11发出的光经过滤光片12后通过聚光镜13会聚在星点板上14上，再通过平行光管物镜15后的光线为平行光束，然后通过被测光学系统镜头2后被显微物镜3放大，再被面阵电荷耦合器4接收，最后用带有采集卡的计算机5对被测光学系统星点像进行图像采集，通过图像处理计算出星点像的大小，将星点形状和大小以图表形式列出。
本实例中的星点板圆孔直径为0.4mm；平行光管焦距为35mm；被测光学系统焦距为250mm；面阵电荷耦合器采用MTV-1881EX型，图像采集卡分辨率为800×600，所测的光学系统星点在子午和弧矢方向均为0.053mm。
权利要求1.一种光学系统星点实时测量装置，具有依次排列的一个包括光源在内的光具座(1)、被测光学系统镜头(2)和显微物镜(3)，其特征是在所述显微物镜(3)的后面设有一个面阵电荷耦合器(4)，在该面阵电荷耦合器(4)的输出端接有一个带采集卡的计算机(5)。
专利摘要本实用新型属于光电测量技术，是一种光学系统星点实时测量装置，它具有一个包括光源在内的光具座、被测光学系统镜头和显微镜，在所述显微镜的物镜后面设有一个面阵电荷耦合器，在该面阵电荷耦合器的输出端接有一个带采集卡的计算机。光源发出的光经过光具座、被测光学系统镜头和显微镜物镜后被面阵电荷耦合器接收，再通过计算机进行图像处理，计算出星点像的大小。由于采用了面阵电荷耦合器作为探测器，可以将测量目标像采集，所以能够快速判读，且测量精度较高。
文档编号G01M11/02GK2735322SQ200420085949
公开日2005年10月19日 申请日期2004年9月16日 优先权日2004年9月16日
发明者王虎, 张毅, 赵建科, 车驰骋 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所