专利名称：探针卡基板的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种集成电路制造设备，尤其涉及一种探针卡基板。
背景技术：
中国发明专利申请公开说明书CN1779468A (
公开日2006年5月31 曰)公开了一种导线连线式圆形探针卡基板，包括主板33和辅板22，其 使用辅板22上配置连接器1L，通过cable (电缆)线同测试仪连接(如 图1所示)。
在辅板上配置连接器的连接cable线的方式，具有以下的缺点
1、 在辅板上配置连接器，每个连接器都占有一定的面积，辅板面积 有限。增加同测数目时，需增加辅板上连接器的配置，辅板的面积限制了 连接器的配置。
2、 增加连接器的配置后，每个连接器均要插拔cable线，插拔cable 线容易出错，而且在测试中会导致接触不良。
3、 增加连接器的配置后。每个连接器均要插拔cable线，插拔cable 线时因为用力易使辅板发生变形。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种探针卡基板,可以连出更多的接 线，实现增加同测数目。
为解决上述技术问题，本发明提供一种探针卡基板，包括主板和辅板，
在所述的辅板和主板之间配置有多个连接器。
所述的连接器以条形状并排固定在背板上，从所述主板上的探针引出 的连线接到背板。
所述的背板上设有呈长条形的连接器插头，每个连接器插头对应一个
连接器，同连接器的通道一一对应的cable线从背板引出，其一端同测试 仪相连。
和现有技术相比，本发明具有以下有益效果本发明提出了一种新的
探针卡测试通道接线方式设计方法:在主板和辅板之间配置连接器代替原
来的在辅板上配置连接器，以达到连出更多的接线，充分利用测试资源， 不必增加连接器的数量就可实现增加同测数目，减少产品测试时间，提高
了测试效率。此外，辅板充当固定连接器的作用，这样，在插拔cable 线时不会因为用力而使辅板发生变形。
图1是中国发明专利申请公开说明书CN1779468A公开的一种导线连 线式圆形探针卡基板的结构示意图2是本发明探针卡基板的结构示意图； 图3是本发明的背板的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。 如图2所示，在主板3和辅板1之间的空间配置连接器2。 在辅板1和主板3之间的柱形空间之内，均能放置连接器2，连接器 2以条形状并排固定在背板6上，从主板3上的探针引出的同轴屏蔽线7
接到背板6，实现从探针上引出的资源与连接器2相连，从连接器2上引 出的通道可以根据同测的需要增加，连接器2的长度可以根据需要加长。 这样，不必增加连接器的数量就可实现增加同测数目。如图3所示，背板6上设有呈长条形的连接器插头5，每个连接器插 头5对应一个连接器，该连接器插头5是特制的，以减少面积。同连接器 的通道一一对应的cable线4从背板6引出，其一端同测试仪相连。如图2和图3所示，把连接器插头5对准连接器2，把背板6慢慢压 合固定，实现测试仪测试资源对探针卡的连接。辅板1充当固定背板6 的作用，这样，在插拔cable线时不会因为用力而使辅板l发生变形。测试仪和探针之间的信号传输通过以下过程实现 测试仪--〉cable线4-〉连接器插头5->连接器2->主板3与连接器背板 6间的同轴屏蔽线7-〉主板1上的探针。
权利要求
1、 一种探针卡基板，包括主板和辅板，其特征在于在所述的辅板 和主板之间配置有多个连接器。
2、 如权利要求1所述的探针卡基板，其特征在于，所述的连接器以 条形状并排固定在背板上，从所述主板上的探针引出的连线接到背板。
3、 如权利要求1所述的探针卡基板，其特征在于所述的背板上设 有呈长条形的连接器插头，每个连接器插头对应一个连接器，同连接器的 通道一一对应的cable线从背板引出，其一端同测试仪相连。
全文摘要
本发明公开了一种探针卡基板，在主板和辅板之间配置有多个连接器。本发明探针卡基板可以连出更多的接线，实现增加同测数目，充分利用测试资源，减少测试时间，提高了测试效率。
文档编号G01R1/067GK101144831SQ200610031090
公开日2008年3月19日 申请日期2006年9月13日 优先权日2006年9月13日
发明者桑浚之, 谢晋春, 辛吉升, 婷 陈, 陈凯华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司