总有机体碳测定装置的制作方法

专利名称：总有机体碳测定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及测定试料水中的总有机体碳量(TOC)的总有机体碳测定 装置(还称为TOC仪)，例如，涉及利用二氧化碳分离部分离被称为纯水 或超纯水的杂质少的水中含有的有机性物质，通过电导率来评价的总有机 体碳测定装置。
背景技术：
将制药用水、半导体制造工序水、冷却水、锅炉水、自来水等杂质少 的试料水的管理作为目的，进行了这些水中含有的有机物的TOC测定。
作为TOC的测定方法，有通过在氧化反应器将试料水中的有机体向 二氧化碳转化的工序、将二氧化碳经由气体透过膜向测定水中转移的工 序、和通过将二氧化碳移动的测定水送至电导率计，测定电导率，检测二 氧化碳浓度的工序来测定TOC的方法(参照专利文献l、 2)。
作为二氧化碳的电导率测定，可以举出通过至少将两个电极配置于试 料水的氧化前和氧化后的位置，检测氧化前和氧化后的电导率的差分，测 定有机化合物的TOC的方法(参照专利文献3)。作为其一例，可以举出 Anatel公司制的A—1000等。
作为能够利用比较小型的装置精度良好地测定方法，知道的有在测定 半导体或制药用水等一样杂质少的水时，利用紫外光，分解有机物，形成 为二氧化碳，经由二氧化碳分离部，进行电导率测定的方法。
专利文献l:日本特许第2510368号公报
专利文献2:日本特开2006 — 90732号公报
专利文献3:日本特开2001—281189号公报
若利用紫外光分解有机物，则从含于化合物中的氮化合物等含有碳以 外的元素的化合物产生二氧化碳以外的气体成分，其与二氧化碳一同移 动，有时成为对电导率测定产生影响的干扰。作为避免那样的干扰的方法，提出了作为气体透过膜使用使二氧化碳有选择地通过的二氧化碳选择膜 的方法。但是，二氧化碳选择膜存在气体成分的透过速度慢，测定时间长 的缺点。

发明内容
本发明的目的在于提供使用能够作为二氧化碳分离部的气体透过膜
维持高速测定的气体透过膜，并且，能够抑制干扰成分的影响的TOC测 定装置。
在本发明中，作为二氧化碳分离部的气体透过膜，为了维持高速连续 测定，使用像通常使用的多孔膜一样，对二氧化碳不具有选择性的膜。另 一方面，设置用气体透过膜隔开试料水和测定水之间的中间水部，在中间 水部中保持中间水或使其流通。通过调节所述中间水部的pH值，抑制干 扰成分的气体化，抑制从中间水部向电导率测定部的干扰成分的透过。由 此，同时实现干扰成分的影响降低和高速测定。
艮口，本发明的总有机体碳测定装置具有如下结构，具备有机物氧化
部，其将被供给的试料水中的有机物氧化而转换为二氧化碳；二氧化碳分 离部，其使经过了有机物氧化部的试料水中的二氧化碳向测定水中透过； 电导率测定部，其测定来自二氧化碳分离部的测定水的电导率。二氧化碳 分离部具备经过了有机物氧化部的试料水流过的试料水流路、具有比流 过所述试料水流路的试料水高的pH值的中性区域的中间水存在的中间水 部、及由去离子水构成的测定水流过的测定水流路，试料水流路和中间水 部之间及中间水部和测定水流路之间分别经由气体透过膜而相接。
通常，在具备二氧化碳分离部，利用测定水的电导率测定来计测TOC 的方法中，以溶存二氧化碳成分的除去、向试料水中的气体成分移动促进、 测定的稳定化等为目的，向试料水中添加酸，因此，试料水成为强酸性。 在那样的强酸性条件下，用紫外光将含有尿素等氮化合物的试料水氧化分 解的情况下，从氮化合物产生硝酸和亚硝酸。
亚硝酸和亚硝酸离子的存在比如图4所示地通过pH而变化。g卩，在
酸性条件下，以作为气体成分的亚硝酸存在，在中性到碱性之间，以亚硝
酸离子存在。在二氧化碳分离部中试料水和测定水经由气体透过膜而相接的以往 的TOC测定装置中，酸性的试料水和中性的测定水经由气体透过膜而相 接，因此，在试料水中生成的亚硝酸通过透过膜向测定水中移动，成为亚 硝酸离子。其结果，亚硝酸在电导率测定中，赋予电导率变高的方向的正 的干扰影响。
另一方面，在本发明中，在试料水流路和测定水流路之间设置有具有 比流过试料水流路的试料水高的pH值的中性区域的中间水存在的中间水 部，因此，由试料水产生的亚硝酸透过气体透过膜，向中间水部移动，但 通过将中间水的pH值保持为中性附近，亚硝酸作为气体成分的存在比减 少，成为亚硝酸离子。亚硝酸离子不透过气体透过膜，因此，能够抑制向 测定水中的亚硝酸的移动。
作为中间水及测定水，例如，均使用去离子水的情况下，两者由于溶
解的碳酸而保持为pH5 7。在该条件下，碳酸成分中大部分为气体成分， 相对于此，亚硝酸中大部分以离子成分存在。从中间水向测定水的气体的 移动速度取决于两者的浓度差，因此，大部分以离子存在的亚硝酸的移动 速度与碳酸的移动速度相比变低。利用该速度差，适当地设计中间水和测 定水之间的气体透过膜的膜厚或与膜的液体接触面积，由此减小对二氧化 碳的亚硝酸的影响。
这样，通过本发明，设置中间水部，由此能够在将二氧化碳的气体透 过速度维持为高速的状态下，同时实现干扰物质的影响降低。作为干扰物 质，作为一例，提出了亚硝酸，但只要是在酸性侧以气体状态存在，在中 性到碱性之间离子化的成分，就能够抑制其干扰影响。
在中间水部中可以封入中间水，也可以使其流过。在中间水部中封入 了中间水的情况下，在中间水中残留亚硝酸离子，进行连续测定的情况下， 对接下来的测定的影响成为问题。但是，通过将中间水部形成为流路，在 中间水部不会残留亚硝酸离子。
二氧化碳分离部的一方式是在中间夹着中间水部，在上下方向上层叠 试料水流路、中间水部及测定水流路，并一体化而成的。
这样，若形成为在中间夹着中间水部，在上下方向上层叠试料、中间 水部及测定水流路，并一体化的结构，则能够降低中间水中的二氧化碳的试料来测定，其结果，能够实现短时间测 定。
在那种情况下，优选中间水部形成为流路，利用隔壁分割为与试料水 流路相接的试料水侧中间水部、和与测定水流路相接的测定水侧中间水 部，试料水侧中间水部和测定水侧中间水部通过在端部设置的连结部来连 接，中间水以从试料水侧中间水部经过连结部流向测定水侧中间水部的方 式供给。
例如，亚硝酸从试料水向中间水移动的情况下，亚硝酸变化为亚硝酸 离子，因此，需要若干时间。在亚硝酸向亚硝酸离子变化之前，经由气体 透过膜与测定水相接的情况下，在测定水中引起亚硝酸的移动。因此，中 间水部通过隔壁分割为试料水侧中间水部和测定水侧中间水部的情况下， 与试料水相接的中间水移动至与测定水相接需要时间，由于该时间，亚硝 酸能够变化为亚硝酸离子，能够消除亚硝酸向测定水中移动之虑。
另外，有机物氧化部和二氧化碳分离部在上下方向上层叠而被一体化 也可，进而，电导率测定部和二氧化碳分离部在上下方向上层叠而被一体 化也可。由此，能够将TOC装置整体形成为小型。
在二氧化碳分离部的其他方式中，中间水部形成为流路，包括与试料 水流路相接的试料水侧中间水部和与测定水流路相接的测定水侧中间水 部，试料水侧中间水部和测定水侧中间水部之间通过连结用流路来连接， 中间水以从试料水侧中间水部流向测定水侧中间水部的方式供给。在该实 施方式中，与试料水接触的中间水移动至与测定水接触为止也需要时间， 因此，在其时间的期间，亚硝酸变化为亚硝酸离子，从而能够消除亚硝酸 向测定水中移动之虑。
为了提高测定结果的再现性，重要的是，将中间水的流量和测定水的 流量的比率保持为恒定。作为为此的优选的方式，可以举出如下结构，具 备具有两个注射器的注射泵， 一方的注射器为了控制中间水的供给而与 中间水流路连接，另一方的注射器为了控制测定水的供给而与测定水流路 连接。由此，能够将中间水和测定水的流量比保持为恒定。
经由气体透过膜的气体成分的透过速度与接触面积成比例。因此，可 以在中间水部设置有遮蔽膜，其与至少一方的气体透过膜相接并覆盖气体透过膜的一部分，从而调节气体透过量。能够利用所述遮蔽膜，调节气 体透过膜的面积，调节气体成分的透过速度。
有机物氧化部的一例具备试料水流过的流路、和用于向流过所述流 路的试料水照射紫外线的紫外线入射部。基于紫外线照射的有机物氧化部 不需要加热部和加压部，因此，能够形成为小型，另外，还容易与其他部 分一体化。在那样的有机物氧化部中，为了加长紫外线照射时间，提高氧 化效率，试料水流过的流路为了在紫外线入射部中加长流路长度而曲折也 可。
为了在二氧化碳分离部加长试料水和中间水的接触时间，提高从试料 水向中间水的气体透过效率，二氧化碳分离部的试料水流路的与气体透过 膜接触的部分为了加长流路长度而曲折也可。
为了在二氧化碳分离部加长测定水和中间水的接触时间，提高从中间 水向测定水的气体透过效率，二氧化碳分离部的测定水流路的与气体透过 膜接触的部分为了加长流路长度而曲折也可。
另外，在二氧化碳分离部的中间水部为流路的情况下，为了加长中间 水部中的中间水的滞留时间，中间水部的与气体透过膜接触的部分为了加 长流路长度而曲折也可。
中间水中pH值的设定至关重要。作为中间水，除了纯水或去离子水 之外，还可以使用pH值设定为中性区域的缓冲液。
在本发明的TOC仪中，在二氧化碳分离部设置中间水部，在中间水
部中封入具有比流过二氧化碳分离部的试料水流路的试料水高的pH值的
中性区域的中间水或使其流通，试料水流路和中间水部之间及中间水部和 测定水流路之间分别经由气体透过膜而相接，因此，用中间水捕捉干扰成 分，抑制其向测定水侧透过，因此，能够抑制干扰成分的影响的同时，能 够实现高速且稳定的连续测定。


图1是以示意性表示本发明的TOC仪中的二氧化碳分离部的一方式 的剖面图。
图2是以示意性表示二氧化碳分离部的另一方式的剖面图。图3是以示意性表示二氧化碳分离部的又另一方式的剖面图。 图4是表示亚硝酸和二氧化碳的相对于pH值的分子状成分比的图表。
图5是表示TOC仪的第一方式的概略图。 图6是表示TOC仪的第二方式的概略图。 图7是表示TOC仪的第三方式的概略图。 图8是表示一体化的TOC仪的一实施例的剖面图。 图9是表示一体化的TOC仪的另一实施例的分解立体图。 图IO是表示对中间水的流量的干扰成分的影响的图表。 图中2 —试料水流路；4一中间水部；4a—测定水侧中间水部；4b — 测定水侧中间水部；4c一连结部；4d—连结用流路；6 —测定水流路；8、 10 —气体透过膜；14、 16 —遮蔽膜；18 —隔壁；20、 40 — 二氧化碳分离部； 24 —有机物氧化部；26 —紫外线灯；30 —离子交换树脂；34—电导率计；
42、 44一注射器；46 —注射泵。
具体实施例方式
图1 图3是以示意性表示实施例中的二氧化碳分离部的若干例子的
剖面图。在以下的说明中，有具体表示尺寸的地方，这些数值仅表示一例， 并不限定本发明的范围。
图1的二氧化碳分离部在中间夹着中间水部4，将试料水流路2、中 间水部4及测定水流路6在上下方向上层叠而进行了一体化。经过了氧化
被供给的试料水中的有机物，将其转换为二氧化碳的有机物氧化部(在此，
未图示)的试料水流入试料水流路2。在中间水部4中流入具有比试料水 高的pH值的中性区域的中间水流入或封入。中间水部4优选成为流路， 使中间水流过。在测定水流路6中流过由去离子水构成的测定水。试料水 流路2和中间水部4经由气体透过膜8而相接，中间水部4和测定水流路 6也经由气体透过膜10而相接。
作为抑制亚硝酸等干扰成分的移动速度的一个方法，可以举出最佳化 气体透过膜的面积的方法。因此，在该实施例中，为了调节试料水和中间 水的接触面积，在中间水部4内的试料水流路2侧设置有具有开口部14a 的遮蔽膜14。进而，为了调节中间水和测定水的接触面积，在中间水部4内的测定水流路6侧也设置有具有开口部16a的遮蔽膜16。作为遮蔽膜 14、 16，不特别限定限定，例如可以使用厚度为lOOpm左右的粘接性氟 树脂(例如，新氟隆EFEP (大金工业株式会社的注册商标))薄膜或PDMS (聚二甲基硅氧垸)(例如，道《科宁(夕、'々 〕一二y夕、')公司的西路 加德(夕少力'一K) 184 (注册商标))薄膜。
在图2的二氧化碳分离部中，中间水部4形成为流路，利用隔壁18， 分割为与试料水流路2相接的测定水侧中间水部4a、和与测定水流路6相 接的测定水侧中间水部4b，测定水侧中间水部4a和测定水侧中间水部4b 利用设置于端部的连结部4c来连接。中间水以从测定水侧中间水部4a经 过连结部4c流向测定水侧中间水部4b的方式供给。其他结构与图1的二 氧化碳分离部相同。
在图3的二氧化碳分离部中，中间水部4形成为流路，与试料水流路 2相接的测定水侧中间水部4a、和与测定水流路6相接的测定水侧中间水 部4b远离而构成，测定水侧中间水部4a、和测定水侧中间水部4b之间利 用连结用流路4d连接，中间水以从测定水侧中间水部4a流入测定水侧中 间水部4b的方式供给。试料水流路2和中间水部4经由气体透过膜8而 相接，中间水部4和测定水流路6也经由气体透过膜10而相接。
来自图1 图3的二氧化碳分离部的测定水均为了测定其电导率而导 向电导率测定部(未图示)。
图5是TOC仪的第一方式的概略图。为了对图1或图2中示出的二 氧化碳分离部20供给试料水，利用泵22经由有机物氧化部24，向所述试 料水流路中供给试料水。有机物氧化部24具备来自紫外线灯26的紫外 线向试料水照射的紫外线入射部，使紫外线入射部在试料水流动的期间， 通过紫外线照射来氧化有机物，形成为二氧化碳。有机物氧化部24可以 与二氧化碳分离部20 —体化，或远离而构成，并由流路连接也可。排出 通过了二氧化碳分离部20的试料水流路2的试料水。
作为去离子水，向二氧化碳分离部20的测定水流路6供给离子交换 水。离子交换水是利用泵32抽吸在液体积存部28积存的纯水，并经过离 子交换树脂30供给于二氧化碳分离部20的测定水流路6。通过电导率计 34，测定通过了测定水流路6的测定水的电导率。其电导率是基于在二氧化碳分离部20中从中间水向测定水移动过来的二氧化碳的电导率。通过
了电导率计34的测定水返回液体积存部28而被再利用。电导率计34也 与二氧化碳分离部20 —体地设置也可，或远离而构成，并由流路连接也 可。
作为中间水，向中间水流路部4供给纯水或去离子水。还可以将经过 了离子交换树脂30的去离子水作为中间水供给。中间水利用试料水流路 侧的气体透过膜，与试料水接触，利用测定水流路侧的气体透过膜，还与 测定水接触。排出经过了中间水流路部4的中间层。
图6是概略表示使用了图3所示的二氧化碳分离部的TOC仪的一方 式的结构的图。二氧化碳分离部40分离为试料水侧的气体交换部40a和 测定水侧的气体交换部40b。中间水流路分离为试料水侧的中间水流路4a 和测定水侧的流路4b，其间利用连结用流路连接。其他结构与图5所示的 TOC仪相同。
图7是为了将中间水流量和测定水流量的流量比保持为恒定而使用了 共通的注射泵的方式的例子。二氧化碳分离部20在此如图5所示，示出 了图1或图2的实施例的结构，但如图3所示，试料水侧和测定水侧分离 也可。作为中间水和测定水，经由相同的离子交换树脂30，用泵32供给 而使用。测定水从测定水流路6经过电导率计34而流动。中间水流过中 间水流路部4。在中间水和测定水返回液体积存部28的流路分别设置有阀 48和50，为了调节各自的流量， 一台注射泵46的两个注射器42、 44与 各自的流路连接。在使中间水和测定水流动时，在阀48、 50关闭的状态 下，注射器42、 44同时抽吸，使中间水和测定水以由各自的注射器42、 44的内径确定的流量流过。在测定结束后，打开阀48和50，注射器42、 44向喷出方向切换，由此使抽吸在注射器42、 44中的中间水和测定水返 回液体积存部28。
这样，在一台注射泵46装配两个注射器42、 44，同时抽吸从中间水 流路部4排出的中间水和从测定水流路6排出的测定水的情况下，通过选 择注射器42、 44的直径，能够将中间水和测定水的流速比保持为规定的 恒定值。通过将中间水和测定水的流速比保持为恒定，将从中间水向测定 水的气体成分的分配比保持为恒定，提高测定的再现性。其次，参照图8，说明一体化了有机物氧化部24、 二氧化碳分离部20、 及电导率计34的实施例。还有，在区别称为各基板的表面和背面时，在 图8的状态下，将上侧的面称为"表面"，将下侧的面称为"背面"。
有机物氧化部24包括紫外线入射的一侧的基板60、和与其接合的基 板62。作为一方的基板60，为了利用紫外光进行有机物的分解，使用紫 外光透过的石英基板。在基板60中，紫外线入射的部分成为紫外线入射 部。在基板60开设有作为试料水导入口的贯通孔64、和作为试料水排出 口的贯通孔66。作为另一方的基板62，也使用石英基板。在基板62的表 面形成有在试料水导入口 64的位置具有一端的氧化部流路68。在基板 62的背面形成有在与试料水排出口 66对应的位置具有一端的试料水流 路2。在基板62开设有连结氧化部流路68的另一端和试料水流路2的 另一端的贯通孔70、和连结试料水流路2的一端和试料水排出口 66的贯 通孔72。在基板62的背面即相反于与基板60的接合面的一侧的面形成有 划分紫外线照射区域的遮光用金属膜33。遮光用金属膜33是例如厚度为 0.05)im以上的Pt/Ti膜(作为密接层，将钛膜成膜，在其上将白金膜成膜 的膜)。
氧化部流路68及试料水流路2的尺寸不特别限定，但例如宽度为 lmm，深度为0.2mm，长度为200mm左右，可以利用湿式蚀刻或干式蚀 刻等加工来形成，贯通孔64、 66、 70可以利用喷砂加工等来形成。基板 60、 62之间的接合可以通过氟酸接合来实现。
电导率计34在石英基板74上形成的基于Pt/Ti膜的电极图案76上经 由切取了流路部分的薄膜78接合形成有石英基板80的背面。
作为薄膜78，例如，使用粘接性氟树脂(例如，厚度lOOpm的新氟 隆EFEP (大金工业株式会社的注册商标))薄膜或PDMS (聚二甲基硅氧 烷)(例如，厚度lO(Hmi的道*科宁公司的西路加德184 (注册商标))薄 膜。在电极图案76上形成有测定水通过薄膜78流过的流路。
电极图案76可以通过将Pt/Ti膜溅射成膜，在半导体制造工序或微细 加工技术的领域使用的光刻法和蚀刻来图案化而形成，但电极图案76的 形成方法不特别限定。另外，用于在电极图案76上形成流路的薄膜不限 于新氟隆膜或PDMS膜，还可以利用涂敷了粘接性有机膜或粘接剂的薄膜等来实现，不限定于这些方法。
在石英基板80的表面形成有测定水流路6，在石英基板80形成有与 测定水流路6的一端连接的测定水分支流路82、和将测定水流路6的另一 端与电导率计34的电极图案76的流路连结的贯通孔84。另外，在石英基 板80还开设有作为引导中间水的中间水分支流路的贯通孔86、和作为排 出中间水的中间水排出口的贯通孔88。石英基板80的厚度不特别限定， 但例如可以使用lmm厚度的石英基板。
在石英基板74还开设有作为用于作为去离子水，供给离子交换水 的离子交换水入口的贯通孔卯、和作为排出多余的离子交换水的离子交换 水排出口的贯通孔92。通过利用由基板74和80包夹的PDMS薄膜78形 成的流路，离子交换水导入口 90与测定水分支流路82、中间水贯通孔86 及离子交换水排出口 92连接。
在石英基板74还开设有；作为从电导率计34的电极图案76的流路 排出检测后的测定水的测定水排出口的贯通孔94、和作为与石英基板80 的中间水排出用贯通孔88连结且排出中间水的中间水排出口的贯通孔 96。
构成有机物氧化部24的基板62的背面、和构成电导率计34的单元 的基板80的表面在中间夹着构成二氧化碳分离部的两个气体透过膜2、 6 而接合。在气体透过膜2、 6之间夹入PDMS薄膜98，通过所述PDMS薄 膜98的厚度来形成间隙，利用所述PDMS薄膜98的图案形成中间水流路 4。中间水流路4形成为一端与石英基板80的中间水导入用中间水贯通孔 86连接，另一端与中间水排出用贯通孔88连接的形状。
以在气体透过膜2和基板62之间形成试料水流路2，在气体透过膜6 和基板80之间形成测定水流路6的方式，利用PDMS薄膜等薄膜来密封 气体透过膜2、 6和基板62、 80之间。
气体透过膜8、 IO不特别限定，使用对二氧化碳不具有选择性的膜。 作为那样的气体透过膜8、 10，例如，可以使用多孔氟树脂膜(例如厚度 为30pm的波尔氟隆(求77口乂)；住友电工公司制)等。
在该实施例中，试料水从基板60的试料水导入口 64导入，从氧化部 流路68通过试料水流路2，从试料水排出口 66被排出。试料水在其间，氧化，经由二氧化碳分离部20的气体透过
膜8与中间水接触，二氧化碳等气体成分向中间水分配。
在该装置的外部生成离子交换水，并从离子交换水导入口卯导入。
导入的离子交换水的大部分从离子交换水排出口 92直接排出，但只有必 要的流量从测定水分支流路82供给至测定水流路6，从中间水贯通孔86 供给至中间水流路部4。
中间水流路部4与相接于试料水的气体透过膜2、和相接于测定水的 气体透过膜6的两者相接，因此，从试料水进入的气体成分在中间水中达 到与离子的平衡的同时，气体成分向测定水中分配，经过中间水排出口 88、 96，向外部排出。另外，测定水在测定水流路6接受气体成分后，通过电 导率计34，并从测定水排出口 94被排出。
图9是将与图8的实施例相同地各部被一体化的实施例作为分解立体 图示出的图。氧化部流路68在石英基板62的表面62a作为深度0.6mm的 槽形成，试料水流路2在石英基板62的背面62b作为厚度60|am的槽形 成。中间水流路部4形成为与厚度100pm的粘接性氟树脂(例如，厚度 100pm的新氟隆EFEP(大金工业株式会社的注册商标))膜98a贯通的槽， 测定水流路6在石英基板80 (参照图8)的与气体透过膜10对置的面80a 作为深度60pm的槽形成。氧化部流路68、试料水流路2、中间水流路部 4及测定水流路6为了加长流路长度，形成为曲折形状。这些流路2、 6、 68例如可以通过喷砂加工来形成。
电导率计34的电极图案在表示为符号76a的位置，分别形成于基板 80的面80a相反侧的面和石英基板74 (参照图8)的基板80侧的面。测 定水流过的流路是切除夹在基板80和74的厚度为100pm的粘接性氟树 脂(例如，新氟隆EFEP (大金工业株式会社的注册商标))膜78a而形成 为图案的。
为了调节试料水和中间水的接触面积，在中间水流路部4和试料水流 路2之间设置有具有开口部的遮蔽膜14，为了调节中间水和测定水的接触 面积，在中间水流路部4和测定水流路6之间还设置有具有开口部的遮蔽 膜16。遮蔽膜14、 16是例如厚度为25pm的粘接性氟树脂(例如，新氟 隆EFEP (大金工业株式会社的注册商标))膜。气体透过膜8、 IO是例如厚度为30pm的氟树脂多孔材料(例如，波尔氟隆(大金工业株式会社的
注册商标))。
从上方依次层叠这些石英基板62、气体透过膜8、遮蔽膜14、粘接性 氟树脂膜98a、遮蔽膜16、气体透过膜10、石英基板80a、电极图案76a 及粘接性氟树脂膜78a，在最上层载置相当于图8中的石英基板60的基板， 在最下层抵接相当于图8中的石英基板74的基板，接合整体而一体化的 结构为图9的TOC仪。
在本发明中，干扰成分的亚硝酸根据从中间水向测定水转移的时间而 发生亚硝酸的影响的变动。图IO中示出评价了使试料水及测定水以100)iL/ 分钟流过，改变中间水的流量的情况下的亚硝酸的影响的变化的实验结 果。虚线和实线的结果中试料水均为碳酸钠水溶液，但虚线的试料水是作 为干扰成分含有亚硝酸钠的混合液。使试料水的溶解成分的总浓度均相 等。
根据该结果可知，在中间水的流量少时，中间水流路中亚硝酸停留的 时间长，因此， 一部分向测定水中分配，显现干扰影响，但随着中间水的 流量变多，亚硝酸引起的影响逐渐变小。
上述例子为一例，并不限定得到等同的功能的基板材料或密封材料 等，进而，不需要一定一体化而片化。关于设备结构，不像图8或图9的 实施例一样，限定立式层叠的结构，通过在平面方向上扩展，也可以得到 同样的功能。
权利要求
1.一种总有机体碳测定装置，其中，具备有机物氧化部，其将被供给的试料水中的有机物进行氧化而转换为二氧化碳；二氧化碳分离部，其具有经过了所述有机物氧化部的试料水流过的试料水流路、具有比流过所述试料水流路的试料水高的pH值的中性区域的中间水存在的中间水部及由去离子水构成的测定水流过的测定水流路，试料水流路和中间水部之间及中间水部和测定水流路之间分别经由气体透过膜而相接；电导率测定部，其测定来自所述二氧化碳分离部的测定水的电导率。
2. 根据权利要求1所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述中间水部形成为流路。
3. 根据权利要求1或2所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述二氧化碳分离部将所述中间水部夹在中间，在上下方向上所述试料水流路、中间水部及测定水流路层叠而被一体化。
4. 根据权利要求3所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述中间水部的流路通过隔壁分割为与所述试料水流路相接的试料水侧中间水部和与所述测定水流路相接的测定水侧中间水部，试料水侧中 间水部和测定水侧中间水部通过在端部设置的连结部来连接，中间水以从试料水侧中间水部经过所述连结部流向测定水侧中间水 部的方式供给。
5. 根据权利要求3或4所述的总有机体碳测定装置，其中，所述有机物氧化部和二氧化碳分离部上下层叠而被一体化。
6. 根据权利要求3 5中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述电导率测定部和二氧化碳分离部上下层叠而被一体化。
7. 根据权利要求2所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述中间水部的流路由与所述试料水流路相接的试料水侧中间水部和与所述测定水流路相接的测定水侧中间水部构成，试料水侧中间水部和 测定水侧中间水部之间通过连结用流路来连接，中间水以从试料水侧中间水部流向测定水侧中间水部的方式供给。
8. 根据权利要求2 7中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中，具有具备两个注射器的注射泵， 一方的注射器为了控制中间水的供给 而与中间水流路连接，另一方的注射器为了控制测定水的供给而与测定水 流路连接，中间水和测定水的流量比保持为恒定。
9. 根据权利要求1 8中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 在所述中间水部设置有遮蔽膜，该遮蔽膜与至少一方的所述气体透过膜相接并覆盖所述气体透过膜的一部分，从而调节气体透过量。
10. 根据权利要求1 9中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中，所述有机物氧化部具有试料水流过的流路和用于向流过所述流路的试料水照射紫外线的紫外线入射部。
11. 根据权利要求io所述的总有机体碳测定装置，其中，所述有机物氧化部中试料水流过的流路为了在紫外线入射部中加长 流路长度而曲折。
12. 根据权利要求1 11中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述二氧化碳分离部的试料水流路中，与所述气体透过膜相接的部分为了加长流路长度而曲折。
13. 根据权利要求1 12中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述二氧化碳分离部的测定水流路中，与所述气体透过膜相接的部分为了加长流路长度而曲折。
14. 根据权利要求2 13中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 所述二氧化碳分离部的中间水部中，与所述气体透过膜相接的部分为了加长流路长度而曲折。
15. 根据权利要求1 14中任一项所述的总有机体碳测定装置，其中， 作为中间水，使用pH值设定为中性区域的缓冲液。
全文摘要
作为二氧化碳分离部的气体透过膜，使用能够维持高速测定的气体透过膜，并且，抑制干扰成分的影响。具备有机物氧化部，其将被供给的试料水中的有机物氧化而转换为二氧化碳；二氧化碳分离部，其使经过了有机物氧化部的试料水中的二氧化碳向测定水中透过；电导率测定部，其测定来自二氧化碳分离部的测定水的电导率。二氧化碳分离部具备经过了有机物氧化部的试料水流过的试料水流路、具有比流过所述试料水流路的试料水高的pH值的中性区域的中间水存在的中间水部、及由去离子水构成的测定水流过的测定水流路，试料水流路和中间水部之间及中间水部和测定水流路之间分别经由气体透过膜而相接。
文档编号G01N27/06GK101529233SQ200680056140
公开日2009年9月9日 申请日期2006年10月17日 优先权日2006年10月17日
发明者井上武明, 居原田健志, 明地将一, 藤山阳一, 阿部浩久 申请人:株式会社岛津制作所