专利名称：测试装置、程序和记录介质的制作方法
技术领域：
本发明涉及对被测试设备进行测试的测试装置、使测试装置运行的程序、和记录 了程序的记录介质。本发明尤其涉及用多个测试模块对被测试设备进行测试的测试装置。
背景技术：
现有技术中已知用多个测试模块对半导体电路等被测试设备进行测试的测试装 置(例如参照专利文献1)。这些测试模块在输入输出接口中具有互换性。测试装置具有以 可更换为其他测试模块的方式保持各测试模块的多个插槽。通过这样的结构，测试装置用 多种测试模块对被测试设备进行测试。另外，测试装置具有判断这些测试模块是否能够正常运行的诊断功能。例如，考虑 回送各个测试模块的输出信号，输入到该测试模块中进行测定的测试，或者输入到其他的 测试模块中进行测定的测试等。在可更换地保持各测试模块的测试装置中，在各插槽中插入的测试模块是不确定 的。另外，每种测试模块应当实行的诊断内容不同。因此，测试装置参照表示在各个插槽中 插入什么样的测试模块的构成文档来进行与各个测试模块相对应的诊断。图7是多个测试模块的诊断操作的示意图。图7中的测试装置从测试模块A诊断 到测试模块F。测试装置的CPU根据构成文档判定对于测试模块A应当进行什么样的诊断。 另外，CPU将与判定后的诊断内容相对应的诊断数据设定在测试模块A中(处理102)。测试装置的CPU对测试模块A设定了诊断数据之后，向测试模块A提供应当进行 自我诊断的命令(处理104)。另外，测试装置的CPU在测试模块A中的自我诊断结束了之 后，对自我诊断结果进行解析(处理106)。CPU通过对于每个测试模块依次执行这样的处 理102 处理106，使全部的测试模块执行自我诊断的处理。专利文献1 专利公开2006-317256号公报发明的内容但是，在上述的自我诊断的处理中，由于依次进行各测试模块的自我诊断，所以直 到全部测试模块的自我诊断结束为止经过了一定的时间。在测试装置中设置多个测试模块 时，该问题尤其变得明显。于是，本发明的目的是提供能够解决上述问题的测试装置、程序和记录介质。该目 的是通过请求的范围中独立权利要求所记载的特征的组合来实现的，另外从属权利要求规 定了本发明的更有利的具体例子。为了解决上述问题，本发明的第1方式中，提供对被测试设备进行测试的测试装 置，包括多个测试模块，通过与被测试设备交换信号，对被测试设备进行测试；和控制部， 对多个测试模块进行控制，各个测试模块具有测试部，与被测试设备交换信号；自我诊断 部，根据被赋予的诊断数据，诊断测试部的操作；控制部向设定相同的诊断数据的自我诊断 部并行提供诊断数据，向设定不同的诊断数据的自我诊断部依次提供诊断数据。本发明的第2方式中，提供使对被测试设备进行测试的测试装置运行的程序，使测试装置起到通过与被测试设备交换信号而对被测试设备进行测试的多个测试模块和对 多个测试模块进行控制的控制部的作用，使各个测试模块起到与被测试设备交换信号的 测试部和根据被赋予的诊断数据来诊断测试部的操作的自我诊断部的作用；使控制部向设 定相同的诊断数据的自我诊断部并行提供诊断数据，向设定不同的诊断数据的自我诊断部 依次提供诊断数据。本发明的第3方式提供记录了上述程序的记录介质。另外，上述本发明的概要没有列举本发明的全部必要特征。另外，这些特征组的子 组合也构成发明。
图1是表示一个实施方式涉及的测试装置100的结构示意图。图2是表示测试模块40的功能构成示意图。图3是说明在诊断多个测试模块40的情况下的测试装置100的动作示意图。图4是表示控制部20的功能构成示意图。图5是说明在诊断多个测试模块40的情况下的测试装置100的其他动作示意图。图6是表示计算机1900的结构示意图。图7是说明多个测试模块的诊断操作的图。附图标记说明10信息存储部，12总线布线，20控制部，22组提取部，24命令提供部，26诊断数据 提供部，40测试模块，42测试部，44自我诊断部，46设定存储器，100测试装置，200被测试 设备，1900计算机，2000CPU, 2010R0M, 2020RAM, 2030通信接口，2040硬盘驱动器，2050软盘 驱动器，2060CD-R0M驱动器，2070输入输出芯片，2075图形控制器，2080显示装置，2082主 机控制器，2084输入输出控制器，2090软盘，2095CD-R0M
具体实施例方式以下，通过发明的实施方式说明本发明，不过，以下的实施方式并不限定权力范围 所涉及的发明，另外，在实施方式中说明的特征组合并非全部都是发明的解决手段所必须。图1是表示根据一个实施方式的测试装置100的结构示意图。测试装置100对半 导体电路等被测试设备200进行测试。测试装置100具有信息存储部10 ；总线布线12 ； 控制部20 ；和多个测试模块40。各个测试模块40插入到设置于测试装置100中的插槽中。插入到该插槽中的测 试模块40通过与被测试设备200交换信号，对被测试设备200进行测试。另外，各个测试模块40可以具有不同的功能。例如，某个测试模块40可以具有向 被测试模块200提供具有规定的逻辑图形的测试信号的功能，其他的测试模块40可以具有 向被测试设备200供给动作时钟、电源功率等的功能。测试装置100通过使这些多个测试 模块并行运行，对被测试设备200进行测试。再有，测试装置100可以对一个被测试设备200进行测试。在该情况下，各个测试 设备40与被测试设备200的对应插脚电连接。另外，测试装置100可以并行对多个被测试 设备200进行测试。在该情况下，各个测试模块40与对应的被测试设备200的对应插脚电 连接。
控制部20具有CPU，通过总线布线12控制各个测试模块40。例如，控制部20可 以根据预先确定的测试程序控制各个测试模块40。信息存储部10存储表示在测试装置100的各个插槽中插入了具有什么样的功能 的测试模块40的模块信息。信息存储部10也可以记录对各个插槽插入的测试模块的识别 信息、表示对被测试设备200进行测试的情况下应当提供给该测试模块的控制数据等的信 息、和表示该测试模块的自我诊断中应当采用的诊断数据的信息等。再有，在每一次更换测试模块40时，可以由使用者等更新模块信息。另外，在更换 了测试模块40的情况下，测试装置100也可以检测该测试模块40的识别信息等，更新信息 存储部10所存储的模块信息。控制部20也可以在对被测试设备200进行测试的情况下，根据信息存储部10所 存储的模块信息，对各个插槽提供控制数据等。通过这样的操作，可以用多种测试模块40 对被测试设备200进行测试。另外，测试装置100具有诊断各测试模块40是否正常运行的功能。在进行测试模 块40的诊断时，控制部20根据信息存储部10所存储的模块信息，对各插槽的测试模块40 提供诊断中应当采用的诊断数据。通过这样的控制，能够执行多种测试模块40的自我诊 断。再有，诊断测试模块40的情况下，测试装置100也可以设置诊断用电路来代替被 测试设备200。诊断用电路具有例如将从各个测试模块40接收的信号输入到该测试模块 40或其他的测试模块40中的功能。图2是表示测试模块40的功能构成示意图。测试模块40具有测试部42 ；自我 诊断部44 ；和设定存储器46。测试部42通过与被测试设备200的规定插脚交换信号，对被 测试设备200进行测试。例如，测试部42可以包括生成具有规定的逻辑图形的测试信号并提供给被测试 设备200的电路，也可以具有测定被测试设备200所输出的应答信号并判断被测试设备200 是否合格的电路。测试部42也可以通过总线布线12，从控制部20接收控制数据。测试部 42也可以通过总线布线12，将被测试设备200是否合格的结果通知给控制部20。自我诊断部44根据被赋予的诊断数据，诊断测试部42是否正常运行。例如，自我 诊断部44根据被赋予的诊断数据，使测试部42输出规定的诊断用信号。另外，自我诊断部 44可以使测试部42测定输入到测试部42中的诊断用信号，接收测定结果。控制部20可 以在该测定结果与规定的期待值一致的情况下，判定为输出了该诊断用信号的测试模块40 和测定了该诊断用信号的测试模块40正常运行。如上所述，输出诊断用信号的测试模块40 和接收诊断用信号的测试模块40可以是同一个测试模块40。自我诊断部44可以通过总线布线12，从控制部20接收开始测试部42的诊断的执 行命令。另外，自我诊断部44可以通过总线布线12将测试部42的诊断结果通知给控制部 20。设定存储器46通过总线布线12接收并存储从控制部20提供的诊断数据。自我 诊断部44可以在进行测试部42的诊断的情况下，参照设定存储器46所存储的诊断数据。图3是说明在诊断多个测试模块40的情况下的测试装置100的操作示意图。在 图3中表示各个测试模块40的操作。再有，图3中用A到F的测试模块40进行了说明，但是测试模块40的个数不限定于图3中示出的个数。在本例的自我诊断中，控制部20向应当采用相同诊断数据的测试模块40的自我 诊断部并行提供该诊断数据。另外，控制部20向应当采用不同的诊断数据的测试模块40 的自我诊断部44依次提供诊断数据。例如，同种测试模块40的自我诊断部44用相同的诊断数据诊断测试部42。另外， 即使在用其他的测试模块40测定规定的测试模块40所输出的诊断用信号，从而进行这些 测试模块40的诊断的情况下，这些测试模块40中的自我诊断部44也用相同的诊断数据诊 断测试部42。控制部20根据信息存储部10所存储的模块信息，从每个诊断数据中提取如上应 当采用相同的诊断数据的测试模块40的组。在本例中，以从测试模块40-A到测试模块40-B 被提取为第1组，测试模块40-E和测试模块40-F被提取为第2组为例进行说明。控制部20首先对第1组的测试模块40的设定存储器46并行提供规定的诊断数 据(处理102-1)。在对第1组的设定存储器46进行的该诊断数据的设定结束了的情况下， 控制部20对第2组的设定存储器46并行提供规定的诊断数据(处理102-2)。然后，在对所有的测试模块40的设定存储器46进行的诊断数据的设定结束了的 情况下，控制部20对全部测试模块40的自我诊断部44并行进行测试部42的诊断(处理 104-1和104-2)。例如，在控制部20从全部的测试模块40接收了诊断数据的设定结束的 指令的通知的情况下，可以对全部的测试模块40并行提供开始测试部42的诊断的执行命 令。然后，在全部测试模块40中测试部42的诊断结束的情况下，控制部20对各个自 我诊断部44中的诊断结果进行解析。由于诊断结果的解析对于每个测试模块采用不同的 期待值等，所以控制部20可以依次对各个测试模块40中的诊断结果进行解析。根据本例的测试装置100，由于对在测试部42的诊断中采用相同的诊断数据的测 试模块40并行提供诊断数据，所以能够缩短对多个测试模块40提供诊断数据的总时间。另 外，由于对多个测试模块40并行提供开始测试部42的诊断的执行命令，所以能够并行执行 诊断处理，能够缩短诊断多个测试部42的总时间。图4是表示控制部20的功能构成示意图。控制部20具有组提取部22、命令提 供部M和诊断数据提供部26。组提取部22根据信息存储部10所存储的模块信息，从每个 诊断数据中提取应当设定相同的诊断数据的自我诊断部的组。例如，组提取部22可以根据 表示信息存储部10所存储的各测试模块40的种类的识别信息，或者表示各测试模块40的 功能的信息提取组。另外，组提取部22可以根据信息存储部10所存储的、表示应当对各测 试模块40设定的诊断数据的信息提取组。诊断数据提供部沈对组提取部22所提取的各个组依次提供诊断数据。诊断数据 提供部沈可以通过总线布线12提供诊断数据。如上所述，诊断数据提供部沈对同一组内 的测试模块40并行提供相同的诊断数据。命令提供部M在诊断数据提供部沈对全部的组设定了诊断数据的情况下，对各 测试模块40的自我诊断部44并行进行测试部42的诊断。在命令提供部M从全部的测试 模块40接收了诊断数据的设定结束的指令的通知的情况下，对全部测试模块40的自我诊 断部44并行提供执行诊断的执行命令。通过这样的结构，可以高效率地进行多个测试模块40的自我诊断。命令提供部M可以通过总线布线12与各个测试模块40连接。另外，命令提供部 M可以根据信息存储部10所存储的模块信息决定应该提供执行命令的测试模块40。另外， 命令提供部M可向以组提取部22所通知的测试模块40提供执行命令。图5是说明诊断多个测试模块40的情况下的测试装置100的其他操作示意图。本 例的诊断数据提供部26在其他组的自我诊断部44进行测试部42的诊断期间，对至少一个 组提供诊断数据。例如，诊断数据提供部26可以在第1组的自我诊断部44进行测试部42 的诊断期间(处理104-1)，对第2组的设定存储器46提供诊断数据(处理102-2)。在该情况下，命令提供部M在对第1组的诊断数据的设定结束时，对第1组提供 执行命令开始测试部42的诊断(处理104-1)。诊断数据提供部沈可以在命令提供部24 对第1组提供了实效命令之后，对第2组设定诊断数据(处理104- 。通过这样的处理，能 够缩短处理102-1和处理104-1之间的等待时间。另外，诊断数据提供部沈可以从组提取部22所提取的组中，测试部42的诊断所 需要的时间(即处理104的时间)长的组开始依次提供诊断数据。通过这样的处理，能够 使全部测试部42的诊断结束的时间变短。图6是表示计算机1900的结构示意图。计算机1900根据被赋予的程序，起到图1 到图5中说明的测试装置100的至少一部分的作用。例如计算机1900可以起到测试装置 100的控制部20和信息存储部10的作用。根据本实施方式的计算机1900包括CPU外围部；输入输出部；和传统输入输出 部。CPU外围部具有通过主机控制器2082相互连接的CPU2000、RAM2020、图形控制器2075、 和显示装置2080。CPU2000可以起到控制部20的作用。另外，RAM2020可以起到信息存储 部10的作用。输入输出部具有通过输入输出控制器2084与主机控制器2082连接的通信接口 2030 ；硬盘驱动器2040 ；和⑶-ROM驱动器2060。传统输入输出部具有与输入输出控制器 2084连接的R0M2010 ；软盘驱动器2050 ；和输入输出芯片2070。主机控制器2082与RAM2020和以高的转送率访问RAM2020的CPU2000以及图形 控制器2075连接。CPU2000根据存储在R0M2010和RAM2020中的程序运行，进行各部的控 制。图形控制器2075取得CPU2000等在设置于RAM2020内的帧缓冲器上生成的图像数据， 在显示装置2080上显示。作为替代方式，图形控制器2075可以在内部含存存储CPU2000 等所生成的图像数据的帧缓冲器。输入输出控制器2084连接主机控制器2082、作为比较高速的输入输出装置的通 信接口 2030、硬盘驱动器2040、⑶-ROM驱动器2060。通信接口 2030通过网络与其他装置 通信。硬盘驱动器2040存储计算机1900内的CPU2000所使用的程序和数据。⑶-ROM驱动 器2060从⑶-R0M2095读取程序或数据，通过RAM2020提供给硬盘驱动器2040。另外，在输入输出控制器2084上连接R0M2010、软盘驱动器2050、以及输入输出芯 片2070的比较低速的输入输出装置。R0M2010存储计算机1900在启动时所执行的引导程 序、或者依存于计算机1900的硬件的程序等。软盘驱动器2050从软盘2090读取程序或数 据，通过RAM2020提供给硬盘驱动器2040。输入输出芯片2070通过软盘驱动器2050、或者 例如并行接口、串行接口、键盘接口、鼠标接口等连接各种输入输出装置。
通过RAM2020提供给硬盘驱动器2040的程序存储在软盘驱动器2090、 CD-R0M2095、或者IC卡等存储介质中，由利用者提供。程序从记录介质中被读出，通过 RAM2020安装在计算机1900内的硬盘驱动器2040中，在CPU2000中执行。该程序被安装在计算机1900内。该程序使CPU2000等运行，也可以使计算机1900 起到测试装置100的一部分的作用。以上示出的程序也可以存储在外部的记录介质中。作为记录介质，除了软盘2090、 ⑶-R0M2095，可以采用DVD或⑶等光记录介质、MO等光磁记录介质、磁带介质、IC卡等半 导体存储器等。另外，也可以使用与专用通信网络或互联网连接的子系统中设置的硬盘或 RAM等存储装置作为记录介质，通过网络向计算机1900提供程序。以上用发明的实施方式进行了说明，但是本发明的技术范围不限定于上述实施方 式中记载的范围。本领域技术人员明白，可以对上述实施方式进行多种变化或改良。从权 利要求的记载中可以得知，进行了这样的变化或改良了的实施方式也包含在本发明的技术 范围之内。
权利要求
1.一种测试装置，对被测试设备进行测试，其特征在于包括多个测试模块，通过与所述被测试设备交换信号，对被测试设备进行测试；和 控制部，对多个所述测试模块进行控制； 各个所述测试模块具有 测试部，与所述被测试设备交换信号； 自我诊断部，根据被赋予的诊断数据，诊断所述测试部的操作； 所述控制部向设定相同的所述诊断数据的所述自我诊断部并行提供所述诊断数据，向 设定不同的所述诊断数据的所述自我诊断部依次提供所述诊断数据。
2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于还包括存储与各个所述测试模块的功能相关的模块信息的信息存储部； 所述控制部根据所述模块信息，向各个所述自我诊断部提供所述诊断数据。
3.如权利要求2所述的测试装置，其特征在于所述控制部具有组提取部，根据所述信息存储部所存储的模块信息，从每个所述诊断数据中提取应当 设定相同的所述诊断数据的所述自我诊断部的组；和给对应的所述组内的所述自我诊断部并行提供各个所述诊断数据的诊断数据提供部。
4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于所述控制部对各个所述自我诊断部并行 进行所述测试部的诊断。
5.如权利要求4所述的测试装置，其特征在于所述控制部还具有对多个所述自我诊断部并行提供执行所述测试部的诊断的执行命令的命令提供部。
6.如权利要求5所述的测试装置，其特征在于所述命令提供部在所述诊断数据提供部 对全部所述组设定了所述诊断数据的情况下，对各个所述自我诊断部并行提供所述执行命 令。
7.如权利要求5所述的测试装置，其特征在于所述命令提供部从来自所述诊断数据提 供部的所述诊断数据的设定结束了的所述组依次供给所述执行命令。
8.如权利要求7所述的测试装置，其特征在于在其他所述组的所述自我诊断部进行所 述测试部的诊断期间，所述诊断数据提供部对至少一个所述组设定所述诊断数据。
9.如权利要求8所述的测试装置，其特征在于所述诊断数据提供部从所述测试部的诊 断所需要的时间长的所述组开始依次提供所述诊断数据。
10.一种程序，使对被测试设备进行测试的测试装置运行的程序，其特征在于 使测试装置起到通过与所述被测试设备交换信号而对所述被测试设备进行测试的多个测试模块，和 对多个测试模块进行控制的控制部的作用； 使各个所述测试模块起到 与所述被测试设备交换信号的测试部，和根据被赋予的诊断数据来诊断所述测试部的动作的自我诊断部的作用； 所述控制部，向设定相同的诊断数据的自我诊断部并行提供诊断数据，向设定不同的 诊断数据的自我诊断部依次提供诊断数据。
11.记录了权利要求10所述的程序的记录介质。
全文摘要
一种对被测试设备进行测试测试装置，包括通过与被测试设备交换信号，对被测试设备进行测试的多个测试模块，和对多个测试模块进行控制的控制部；各个测试模块具有测试部，与被测试设备交换信号；自我诊断部，根据被赋予的诊断数据，诊断测试部的操作；控制部向设定相同的诊断数据的自我诊断部并行提供诊断数据，向设定不同的诊断数据的自我诊断部依次提供诊断数据。
文档编号G01R31/28GK102077102SQ200880130090
公开日2011年5月25日 申请日期2008年7月2日 优先权日2008年7月2日
发明者高桥公二 申请人:爱德万测试株式会社