专利名称：薄膜探针测试装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关于一种测试装置，且特别是有关于一种薄膜探针测试装置。
背景技术：
在集成电路(Integrated Circuits5IC)的制作过程中，于其制程的不同阶段皆会进行产品的测试步骤，并同时利用精密的分析仪器在整个制程中进行有关于质量管理的各项检验，藉以确保制程合格率及芯片质量能够达到最佳水平，并检测集成电路在制造过程中所发生的瑕疵。然后，找出造成产品产生瑕疵的原因，以进一步地确保产品质量符合标准，达到提升制程合格率的目的。因此，在集成电路的制造过程中，测试实为提升集成电路组件的合格率，并建立有效数据以供工程分析使用的重要步骤。举例而言，在液晶显示面板中，随着液晶显示面板的显示质量的提升，液晶显示面板内像素间的间距会越来越小。在对液晶显示面板进行点灯测试时，是在安装完驱动电路以及面板接合之后，以点灯测试机台对此液晶显示面板进行测试，以确保产品妥善。然而， 由于高显示度的液晶显示面板其终端电极相当密集，使用传统的探针测试进行点测试时会遇到相当大的困难，亦无法单独测试各原色的子像素。因此，多是采用薄膜探针卡来进行此种高密度电极的测试。然而，以现有的薄膜探针卡而言，若是其中的一个探针凸块(bump)磨损或是脱落，将会导致整片薄膜探针卡无法继续使用，造成测试效率低落与成本的负担。
发明内容
因此本发明的目的就是在提供一种薄膜探针测试装置，用以解决过去因单一探针凸块损毁便导致整块薄膜探针卡无法继续使用的情形。依照本发明的一个方面，提出一种薄膜探针测试装置，包含一薄膜探针卡，薄膜探针卡包含一可挠性基材，其具有第一表面与第二表面，第一表面上设置有多个导电条，导电条上设置有一探针单元。探针单元包含多个探针凸块，每一导电条上的探针凸块等间距排列，可挠性基材上具有一预定裁切线，从每一导电条的该相邻的两探针凸块之间穿过。优选地，导电条上的探针凸块可以为平行排列或是交错排列。优选地，薄膜探针测试装置更包含一测试基台，测试基台包含一基台本体与设置于基台本体上的一弹性凸条。在本发明一实施例中，可挠性基材可具有两圆孔，测试基台具有复数多个螺丝孔， 螺丝孔之间的之间距与探针凸块之间的间距相同，两圆孔选择性地锁合于螺丝孔之其中二者。在本发明另一实施例中或者，可挠性基材可具有复数多个长圆孔，测试基台上具有复数多个螺丝孔与复数多个定位柱，对应于长圆孔配置。优选地，基台本体上可更具有一凹陷部。依据本发明的另一方面，提出了一种薄膜探针测试装置的使用方法，该方法包括 固定一薄膜探针卡于一测试基台上，薄膜探针卡具有多排探针凸块，其中一排的探针凸块对齐测试基台上的一弹性凸条。优选地，薄膜探针测试装置的使用方法更包含沿一预定裁切线裁切薄膜探针卡， 以切除其中一排的探针凸块。采用本发明的薄膜探针测试装置，其薄膜探针卡上具有多排探针凸块，当其中一排探针凸块磨损或是脱落之后，可以裁切掉该排探针凸块，使用其他排探针凸块继续进行薄膜探针测试，有效提升测试效率与降低成本。
读者在参照附图阅读了本发明的具体实施方式
以后，将会更清楚地了解本发明的各个方面。其中，
图1绘示本发明的薄膜探针测试装置一实施例的立体视图。 图2绘示图1中的薄膜探针卡100的局部剖面图。 图3绘示本发明的薄膜探针测试装置另一实施例的爆炸图。 图4绘示图3的薄膜探针测试装置1于测试阶段的示意5为本发明的薄膜探针测试装置进行薄膜探针测试时的剖面放大图。 图6绘示本发明的薄膜探针测试装置另一实施例的立体视图。 图7绘示本发明的薄膜探针测试装置又一实施例的爆炸图。 图8绘示本发明的薄膜探针测试装置再一实施例的爆炸图。主要组件符号说明
1 薄膜探针测试装置10 可挠性基材
11 固定孔
12 定位孔
13 第一表面
14 第二表面
15 预定裁切线
20 探针单元
21 导电条
22 探针凸块
100薄膜探针卡
200电子装置
201待测电极
300测试基台
301基台本体
302螺丝
303基座
304弹性凸条
305定位柱
306螺丝孔
308螺丝
400测试基台
401基台本体
402延伸部
403弹性凸条
404定位柱
405螺丝孔
406螺丝
407凹陷部
具体实施例方式以下将以图式及详细叙述清楚说明本发明的精神，任何本领域的普通技术人员在了解本发明的较佳实施例后，当可由本发明所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本发明的精神与范围。参照图1，其绘示本发明的薄膜探针测试装置一实施例的立体视图。薄膜探针装置 1包含有薄膜探针卡100，薄膜探针卡100包含有可挠性基材10，其具有相对的第一表面13 与第二表面14。第一表面13上设置有多个导电条21，导电条21上设置有一探针单元20。 探针单元20包含多个探针凸块22。每一个导电条21上分布有多个探针凸块22。每一导电条21上的探针凸块22呈等间距排列，即每一导电条21上相邻两探针凸块22的间距相寸。可挠性基材10上具有至少一预定裁切线15，预定裁切线15从每一个导电条21上的相邻的两探针凸块22之间穿过。探针凸块22被预定裁切线15分隔成多排。本实施例中，每一个导电条21上具有两个探针凸块22，在预定裁切线15—侧的为其中一排探针凸块 22，预定裁切线15另一侧的为另一排探针凸块22。换言之，薄膜探针卡100上具有多排探针凸块22，成排的探针凸块22之间以预定裁切线15分隔。本实施例中多个导电条21上的探针凸块22为平行排列。薄膜探针卡100上具有多排探针凸块22。当进行薄膜探针测试时，一次仅使用一排探针凸块22 ( 一般是最外侧一排的探针凸块22)。若是该排探针凸块22中有任何一个出现磨损或是脱落的情形，则可以沿着预定裁切线15裁切可挠性基材10，将出现磨损或是脱落的该排探针凸块22切除，即可继续使用下一排探针凸块22继续进行测试。参照图2，其绘示图1中的薄膜探针卡100的局部剖面图。可挠性基材10具有相对的第一表面13与第二表面14。第一表面13上埋设有导电条21，导电条21上设置有一探针单元20。探针单元20包含多个探针凸块22。每一个导电条21上分布有多个探针凸块22，探针凸块22凸出于导电条21。参照图3，其绘示本发明的薄膜探针测试装置另一实施例的爆炸图。由于在进行测试时，仅需要单排的探针凸块22接触待测物，其余的探针凸块22较佳地为悬空不与待测物接触，因此，薄膜探针测试装置1除前述的薄膜探针卡100之外，还包含有测试基台300，使得未使用的探针凸块22可以悬空。薄膜探针卡100上具有多排探针凸块22。测试基台300包含有基台本体301以及设置于基台本体301上的弹性凸条304。弹性凸条304为突出于基座303上，基座303再透过螺丝302与基台本体301锁合，使得弹性凸条304凸出于基台本体301上。弹性凸条 304的材料较佳地为橡胶或是具有弹性的塑料。在进行薄膜探针测试时，薄膜探针卡100需要固定于测试基台300上。薄膜探针卡100上具有固定孔11与定位孔12。测试基台300上具有设置于基台本体301的螺丝孔 306以及凸设于基台本体301上的定位柱305。螺丝孔306与定位柱305分别对应于固定孔 11与定位孔12配置。螺丝308可以穿过固定孔11锁合于基台本体301上的螺丝孔306， 定位孔12可以卡合于定位柱305，以将薄膜探针卡100固定在测试基台300上。如前所述，由于薄膜探针卡100可在需要时沿预定裁切线15裁切掉最前排的探针凸块22，因此，固定孔11与定位孔12较佳地为长圆孔，以提供薄膜探针卡100裁切前后定位所需的空间，使得薄膜探针卡100可以往前移动，以便下一排的探针凸块22可以位于弹性凸条304上。同时参照图4与图5，图4绘示图3的薄膜探针测试装置1于测试阶段的示意图， 图5为进行薄膜探针测试时的剖面放大图。电子装置200例如是液晶显示面板上具有待测电极201。薄膜探针卡100固定于测试基台300上，此时，其中一排的探针凸块22位于弹性凸条304上。弹性凸条304为朝着电子装置200的方向凸起，而薄膜探针卡100上未被弹性凸条304顶住的探针凸块22则是相对地悬空于电子装置200上，以避免与待测电极201 接触。弹性凸条304除了用以顶高使用中的探针凸块22之外，由于弹性凸条304具弹性，因此可以缓冲探针凸块22抵压于待测电极201上的力道，防止过大的抵压力道导致探针凸块22损毁，延长探针凸块22的使用寿命。参照图6，其绘示本发明的薄膜探针测试装置另一实施例的立体视图。薄膜探针测试装置1包含有薄膜探针卡100，薄膜探针卡100包含有可挠性基材10，其具有相对的第一表面13与第二表面14。第一表面13上设置有多个导电条21，导电条21上设置有一探针单元20。探针单元20包含多个探针凸块22。每一个导电条21上分布有多个探针凸块22。 每一导电条21上的探针凸块22呈等间距排列，即每一导电条21上相邻两探针凸块22的间距相等。本实施例中多个导电条21上的探针凸块22为因应液晶显示面板上的待测电极的布局而呈交错排列。可挠性基材10上具有至少一预定裁切线15，预定裁切线15从每一个导电条21上的相邻的两探针凸块22之间穿过。探针凸块22被预定裁切线15分隔成多排。本实施例中，每一个导电条21上具有两个探针凸块22，在预定裁切线15—侧的为其中一排探针凸块 22，预定裁切线15另一侧的为另一排探针凸块22。换言之，薄膜探针卡100上具有多排交错排列的探针凸块22，成排的探针凸块22之间以预定裁切线15分隔。参照图7，其绘示本发明的薄膜探针测试装置又一实施例的爆炸图。弹性凸条304 可以透过灌注制程等一体成形于基座303上，基座303再利用螺丝302锁固在基台本体301 上。薄膜探针卡100包含设置于可挠性基材10上的两固定孔11，本实施例中固定孔11为圆孔。测试基台300上则包含有多个螺丝孔306。其中螺丝孔306的数量大于固定孔11的数量，螺丝孔306的数量等于探针凸块22的排数。前后两个螺丝孔306之间的间距与前后两排的探针凸块22之间的间距相同。
由于薄膜探针卡100在需要时会切除最前排的探针凸块22与部分可挠性基材10， 螺丝308为穿过固定孔11并选择性地锁合于螺丝孔306之其中二者。更具体地说，当部分的薄膜探针卡100被切除后，薄膜探针卡100可以向前移动，使探针凸块22对齐测试基台 300上的弹性凸条304，螺丝308穿过固定孔11后与前排的螺丝孔306锁合，以将薄膜探针卡100固定在测试基台300上。参照图8，其绘示本发明的薄膜探针测试装置再一实施例的爆炸图。薄膜探针测试装置1包含有薄膜探针卡100与测试基台400。薄膜探针卡100包含有设置于可挠性基材 10上的多排探针凸块22。可挠性基材10上具有固定孔11与定位孔12。预定裁切线15则是穿过探针凸块22。测试基台400包含有基台本体401以及延伸自基台本体401的延伸部402。弹性凸条403为形成在延伸部402上。测试基台400包含有对应于固定孔11设置的螺丝孔405 以及对应于定位孔12设置的定位柱404。螺丝406穿过固定孔11与螺丝孔405锁合，定位孔12与定位柱404卡合，以将薄膜探针卡100固定在测试基台400上。当薄膜探针卡100固定在测试基台400上时，其中一排的探针凸块22 ( —般是但不限于最外侧的探针凸块2 对齐测试基台400上的弹性凸条403。固定孔11与定位孔 12较佳地为长圆孔，以提供裁切其中一排的探针凸块22后薄膜探针卡100定位位移的缓冲空间。为了避免薄膜探针卡100上的导电条21与待测电路之间产生不必要的接触，或是在一些情况下，导电条21的位置可能会接触到待测物上的电路接点而短路，测试基台400 上可更具有凹陷部407，以在必要时容置部分的薄膜探针卡100，用以解决前述不希望出现的情形。由上述本发明较佳实施例可知，应用本发明具有下列优点。薄膜探针卡上具有多排探针凸块，当其中一排探针凸块磨损或是脱落之后，可以裁切掉该排探针凸块，使用其他排探针凸块继续进行薄膜探针测试，有效提升测试效率与降低成本。虽然本发明已以一较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何熟习此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种薄膜探针测试装置，包含一薄膜探针卡，该薄膜探针卡包含一可挠性基材，其具有第一表面与第二表面，该第一表面上设置有多个导电条，该导电条上设置有一探针单元， 其特征在于该探针单元包含多个探针凸块，每一导电条上的探针凸块等间距排列，该可挠性基材上具有一预定裁切线，从每一导电条的该相邻的两探针凸块之间穿过。
2.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该导电条上的该探针凸块平行排列。
3.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该导电条上的该探针凸块交错排列。
4.如权利要求1所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该薄膜探针测试装置更包含一测试基台，该测试基台包含一基台本体与设置于该基台本体上的一弹性凸条。
5.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该可挠性基材具有两圆孔，该测试基台具有多个螺丝孔，所述螺丝孔之间的间距与该探针凸块之间的间距相同，该两圆孔选择性地锁合于所述螺丝孔之其中二者。
6.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该可挠性基材具有多个长圆孔，该测试基台上具有多个螺丝孔与多个定位柱，对应于该长圆孔配置。
7.如权利要求4所述的薄膜探针测试装置，其特征在于，该基台本体上具有一凹陷部。
8.一种薄膜探针测试装置的使用方法，其特征在于，该方法包括固定一薄膜探针卡于一测试基台上，该薄膜探针卡具有多排探针凸块，其中一排的该探针凸块对齐该测试基台上的一弹性凸条。
9.如权利要求8所述的薄膜探针测试装置的使用方法，其特征在于，该方法还包括沿一预定裁切线裁切该薄膜探针卡，以切除其中一排的该探针凸块。
全文摘要
本发明提供了一种薄膜探针测试装置，包含一薄膜探针卡，薄膜探针卡包含一可挠性基材，其具有第一表面与第二表面，该第一表面上设置有多个导电条，该导电条上设置有一探针单元，其中，该探针单元包含多个探针凸块，每一导电条上的探针凸块等间距排列，该可挠性基材上具有一预定裁切线，从每一导电条的该相邻的两探针凸块之间穿过。采用本发明的薄膜探针测试装置，其薄膜探针卡上具有多排探针凸块，当其中一排探针凸块磨损或是脱落之后，可以裁切掉该排探针凸块，使用其他排探针凸块继续进行薄膜探针测试，有效提升测试效率与降低成本。
文档编号G01R1/073GK102243384SQ20111019214
公开日2011年11月16日 申请日期2011年7月5日 优先权日2011年7月5日
发明者王健, 矫远君, 胡琼 申请人:友达光电(苏州)有限公司, 友达光电股份有限公司