专利名称：一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种射率测量方法及装置，尤其是涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置。
背景技术：
传统测量方法在测量在0-70°倾斜入射的宽光谱透射率时，需要依靠起偏器来切换P光(光矢量平行于入射面)和S光(光矢量垂直于入射面)，并要求起偏器为理想起偏器，这一要求是非常苛刻的。但是测试中所用起偏器都是部分起偏器，因此透射率的测量精度随着入射角的增加迅速增大。起偏器的消光比随波长而变化，且通常其工作波段较窄，无法满足宽光谱的透射率测量要求。采用多个高性能的工作在不同波段的起偏器的组合来测量宽光谱透射率的成本又非常高。发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种光学薄膜 0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，该测量方法及装置成本低、测量步骤简单而且测量精度高。
本发明的目的可以通过以下技术方案来实现
一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤
I)测量基板在入射角为0°时的透射率Tcr ；
2)根据I)中测得的透射率Tcr计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值τα%和；
3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值T^s和;
4)计算偏振特性因子P，计算公式为
权利要求
1.一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤 1)测量基板在入射角为o°时的透射率V; 2)根据I)中测得的透射率V计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值Ta，s和 Τα,ρ ; 3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值; 4)计算偏振特性因子P，计算公式为
2.根据权利要求1所述的一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，所述的步骤I)具体包括以下步骤 11)调整起偏器，使光线沿X轴方向偏振，通过探测器测量入射光的光强I0； 12)在光路中设置并调整基板，使基板上的光线入射角为0°，测量经过基板的光强1(1。； 13)计算基板透射率Icr，计算公式为
3.根据权利要求1所述的一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，所述的步骤3)具体包括以下步骤 31)调整基板，使光线的入射面垂直偏振方向，测量S光的光强s，并根据公式Ta,S = 计算透射率Τ。； 32)以光路方向为轴,旋转基板,使光线的入射面平行偏振方向，测量P光的光强"C,/·，并根据公式:C =O //0计算透射率。
4.根据权利要求1所述的一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，所述的步骤5)具体包括以下步骤 51)调整测试样品，使光线的入射面垂直偏振方向，测量S光的光强g，并根据公式计算透射率Γ/; 52)以光路方向为轴,旋转基板,使光线的入射面平行偏振方向,测量P光的光强G，并根据公式r/ =G / T0计算透射率I；。
5.根据权利要求4所述的一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，所述的基板为未镀膜的测试样品。
6.根据权利要求1所述的一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，入射角α为0-70°。
7.—种如权利要求1所述的光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法的装置，其特征在于，该测量装置包括光源、起偏器、透射件和探测器，所述的光源、起偏器、透射件和探测器沿光路方向依次设置。
8.根据权利要求7所述的光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法的装置，其特征在于，所述的透射件为基板或测试样品。
全文摘要
本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。
文档编号G01N21/59GK103018213SQ20111028881
公开日2013年4月3日 申请日期2011年9月26日 优先权日2011年9月26日
发明者刘永利, 张锦龙, 程鑫彬, 马彬, 焦宏飞, 丁涛, 韩金, 张艳云, 王玲, 王占山 申请人:同济大学