专利名称：一种x射线自动测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶材料的监测装置，特别是涉及一种X射线自动测量仪。
背景技术：
单晶材料生产过程中需要对晶棒及晶片进行检验，检验其内部晶格的排列角度。传动检验设备需要人工检测，对操作者的要求比较高，同时误差比较大，在长时间的检测工作中不仅检验误差大而且还对操作者身体带来了 X射线辐射。同时生产效率低下，对检验的数据不能及时记录和储存。
实用新型内容本实用新型的目的是为克服上述现有技术存在的缺陷和不足，而提供一种测量范围大、能满足0° -80°测量，并且自动化程度高的X射线自动测量仪。 采用的技术方案是一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器。工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接。样品台上固定有闪烁探测器和编码器，X光射发生器上安装单晶反射器，并配有电动光闸，实现自动控制。工作台上还设置有显示被测晶体峰值角度的显不器。本实用新型实现了单晶体在生产过程中对晶体的检测实现自动化，减少X光对操作者的辐射，提高测量精度，便于数据的记录以及提高了生产效率。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
一种X射线自动测量仪，包括机体3，机体内设置有变压器I、整流器2及气泵16，机体3上端固定有工作台4，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器10。工作台的两侦扮别固定有测角仪6，测角仪6内装设有蜗轮蜗杆副7，且蜗杆上安装步进电机5，测角仪6上装设有一主轴8，主轴8的上部穿出测角仪6的壳体外，主轴8的上端固定有样品台13，样品台13连接一气泵吸管9，气泵吸管9与设置在机体3内的气泵相连接。样品台上固定有闪烁探测器15和编码器14，X光射发生器10上安装单晶反射器12，并配有电动光闸，实现自动控制。工作台4上还设置有显示被测晶体峰值角度的显示器11。
权利要求1.一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，其特征在于所述的工作台的中部固定有X射线发生器，工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接，样品台上固定有闪烁探测器和编码器，X光射发生器上安装单晶反射器，工作台上设置有显示被测晶体峰值角度的显示器。
专利摘要一种X射线自动测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、整流器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器。工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有蜗轮蜗杆副，且蜗杆上安装步进电机，测角仪上装设有一主轴，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台连接一气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接。本实用新型实现了单晶体在生产过程中对晶体的检测实现自动化，减少X光对操作者的辐射，提高测量精度，便于数据的记录以及提高了生产效率。
文档编号G01N23/20GK202661412SQ201220319218
公开日2013年1月9日 申请日期2012年7月4日 优先权日2012年7月4日
发明者甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司