一种探针卡的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种晶圆测试工具，特别涉及一种探针卡。包括印刷电路板、探针和探针固定部件，所述探针通过所述探针固定部件设置在所述印刷电路板上，所述探针贯穿所述探针固定部件，其特征在于：所述探针固定部件内设有与探针数目相同且材质相同的中空金属套管，所述探针分别穿过所述金属套管且可插拨的设置在所述印刷电路板上。本实用新型的探针卡，更换坏针时，不需要拆开封装的塑料层，直接抽出坏针更换新针即可，操作简单快捷，提高了维修效率，同时减小了对卡和其它探针的伤害，增加了电路板的使用寿命。
【专利说明】一种探针卡
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种晶圆测试工具，特别涉及一种探针卡。
【背景技术】
[0002]当IC设计完成后，会下单给晶圆代工厂制作，晶圆制作完成后而尚未切割封装之际，为了确保晶圆良率及避免封装的浪费，半导体制程中须执行晶圆电性测试及分析制程，通过探针卡上的探针针测晶粒，筛选出电性功能不良的晶片，避免不良品造成后段制造成本的浪费。在晶片封装成本逐渐提高的趋势下，晶圆针测已经成为IC产业中重要且关键的一环，而随着集成电路的器件尺寸越做越小，测试的精准度要求也越来越高，对晶圆测试时使用到的探针卡结构上的改善可以大大提高晶圆测试的精准度。
[0003]由于测试的产品不同，探针卡探针的个数不同，并且针的材质也不相同。测试中，某些针有开叉或者磨损，需要更换坏针，而更换过程中，需要拆开固定的塑料层，不仅对卡和其他针有损伤，而且维修过程麻烦，耗时多。
实用新型内容
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种探针卡，解决现有技术更换探针过程不易、耗时多，且更换过程容易对卡和其它探针造成损伤的技术问题。
[0005]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种探针卡，包括印刷电路板、探针和探针固定部件，所述探针通过所述探针固定部件设置在所述印刷电路板上，所述探针贯穿所述探针固定部件，所述探针固定部件内设有与探针数目相同且材质相同的中空金属套管，所述探针分别穿过所述金属套管且可插拨的设置在所述印刷电路板上。
[0006]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0007]优选的，所述探针与所述金属套管均由铜或钨制成。
[0008]优选的，所述金属套管两端均延伸出所述探针固定部件。
[0009]本实用新型的有益效果是:本实用新型的探针卡，每根探针都安装在独立的金属套管内，更换坏针时，不需要拆开封装的塑料层，直接抽出坏针更换新针即可，操作简单快捷，不仅减小了对卡和其它探针的伤害，增加了电路板的使用寿命，而且减少了拆封装材料的次数，提高维修效率；同时探针和金属套管采用了相同的金属材料制成，防止了套管和针直接反应，从而避免影响测试问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型的结构示意图；
[0011]附图中，各标号所代表的部件如下:
[0012]1、印刷电路板，2、探针固定部件，3、金属套管，4、探针。
【具体实施方式】[0013]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0014]如图1所示，本实用新型的探针卡，包括印刷电路板I和探针固定部件2，所述探针固定部件2为环氧树脂制成封装塑料板；探针固定部件2内设有与探针4数目相同且材质相同的多个中空金属套管3，所述探针4分别穿过所述中空金属套管3，且通过探针固定部件2可插拨的设置在所述印刷电路板I上。优选的，所述探针4与所述金属套管3均由铜或钨制成，且所述金属套管3两端均延伸出所述探针固定部件2。本实施例的探针卡为22pin探针卡，而在实际应用中，可以为12pin、22pin、48pin等多种探针数量。
[0015]测试时，将探针卡上的探针4直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制即可判断芯片是否合格，若不合格则在芯片上做标记，达到自动化量测的目的。当探针卡上的探针开叉、磨损时，直接从金属套管内抽出坏针，装上新针即可。
[0016]本实用新型的探针卡，每根探针都安装在独立的金属套管内，更换坏针时，不需要拆开封装的塑料层，直接抽出坏针更换新针即可，操作简单快捷，不仅减小了对卡和其它探针的伤害，增加了电路板的使用寿命，而且减少了拆封装材料的次数，提高维修效率；同时探针和金属套管采用了相同的金属材料制成，防止了套管和针直接反应，从而避免影响测试问题。
[0017]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种探针卡，包括印刷电路板、探针和探针固定部件，所述探针通过所述探针固定部件设置在所述印刷电路板上，所述探针贯穿所述探针固定部件，其特征在于:所述探针固定部件内设有与探针数目相同且材质相同的中空金属套管，所述探针分别穿过所述金属套管且可插拨的设置在所述印刷电路板上。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于:所述探针与所述金属套管均由铜或钨制成。
3.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于:所述金属套管两端均延伸出所述探针固定部件。
【文档编号】G01R1/073GK203479851SQ201320652293
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年10月22日 优先权日:2013年10月22日
【发明者】刘东梅 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司