一种气浮轴承零件配合检测设备的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种检测装置，特别是一种气浮轴承零件配合检测设备。包括罐体、麦克风、隔音管道、安装平台、隔震基座、驱动装置，安装平台位于罐体内，安装平台穿过罐体固定安装在罐体外的隔震基座上，安装平台上安装气浮轴承，气浮轴承两侧套装隔音管道，隔音管道与罐体外大气相通，驱动装置安装在罐体外，驱动装置通过驱动轴连接罐体内气浮轴承，麦克风通过金属软管安装在罐体内。本发明中，调整麦克风尽可能贴近气浮轴承的周边，通过罐体外的驱动装置带动气浮轴承运动，模拟气浮轴承的工作情况，通过麦克风测量出气浮轴承工作过程中各个位置的音频情况，通过音频分析获取气浮轴承内部间隙均匀度、配合度等情况，检测精度高、效果好。
【专利说明】一种气浮轴承零件配合检测设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种检测装置，特别是一种气浮轴承性能检测装置。
【背景技术】
[0002]近年来气浮轴承因其无摩擦、精度高、承载能力强、低功耗等特点在高精密制造业中得到广泛利用，现有的气浮轴承气模间隙可达到纳米级，因此气浮轴承的部件有着很高的加工要求。
[0003]加工完成的气浮轴承要进行一系列的性能检测，确保气浮间隙达到精度要求。目前已有一些静压气浮轴承的检测方法和装置，但工作过程中气浮轴承一般处于动态状态，测试时又不能引入传感器等外部干扰条件，因此气浮轴承的检测也是目前存在的难题，特别是气浮轴承的气浮间隙均匀度检测、气浮轴承的配合度检测，还没有一种完善的、精度高的检测方法和装置，能够很好的获得气浮轴承内部的气浮间隙以及工作时配合情况。
【发明内容】
[0004]针对气浮轴承间隙均匀度、配合度检测的问题，本发明提供一种通过音频检测获取气浮轴承内部情况的、精度高的、测试效果好的气浮轴承零件配合检测设备。
[0005]本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是:一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:包括罐体、麦克风、隔音管道、安装平台、隔震基座、驱动装置。
[0006]所述安装平台位于罐体内，所述安装平台穿过罐体固定安装在罐体外的隔震基座上，所述安装平台上安装气浮轴承。
[0007]所述气浮轴承两侧套装隔音管道，所述隔音管道与罐体外大气相通，所述隔音管道安装在安装平台上。
[0008]所述驱动装置安装在罐体外，所述驱动装置连接驱动轴，所述驱动轴穿过罐体和隔音管道连接罐体内气浮轴承，所述驱动轴位于隔音管道内。
[0009]所述麦克风通过金属软管安装在罐体内，所述麦克风有多组且可调位置和方向。
[0010]所述罐体的内壁涂覆吸音材料。
[0011]进一步，所述驱动装置包含驱动电机、驱动轴、支架，所述驱动电机安装在支架上，所述驱动电机连接驱动轴，所述驱动轴穿过罐体连接气浮轴承。
[0012]进一步，所述罐体上设有观察窗。
[0013]进一步，所述罐体由罐身和罐盖组成，所述罐身为圆柱状，所述罐盖有两个且安装在te身的两端。
[0014]进一步，还包括供气管道，所述供气管道穿过罐体固定在安装平台上，所述供气管道为气浮轴承供气。
[0015]本发明中，调整所述麦克风尽可能贴近气浮轴承的周边，通过罐体外的驱动装置带动气浮轴承运动，模拟气浮轴承的工作情况，通过麦克风测量出气浮轴承工作过程中各个位置的的音频情况，通过音频分析获取气浮轴承内部间隙均匀度、配合度等情况。
[0016]本发明同现有技术相比具有以下优点及效果:1、罐体内安装多组麦克风，能有效地获取气浮轴承的音频信息，通过音频变化，可以快速分析出各个特征频率下、各个位置下气浮轴承的配合度、间隙均匀度等情况，且通过间接测量，不引入其他干扰因素，测试精度更高。2、将驱动装置放置在罐外，气浮轴承安装在罐内，利用罐体的密封性将不属于气浮轴承产生的噪音隔绝，同时降低环境噪音的影响，提高了测量精度。3、气浮轴承两侧均设置有隔音管道，将气浮轴承两侧排出的气流导出到罐体外，避免了气流对麦克风的音频测试产生影响。4、罐体内部涂覆有吸音材料，可防止混响。5、将放置气浮轴承的安装平台穿过罐体固定在隔震地基上，可防止待测件与平台间的碰撞以及平台与罐体的碰撞导致新的噪音。6、麦克风通过金属软管安装在罐体上,可随意调整麦克风的位置和方向，灵活度好。7、罐体包含罐身和罐盖，使得气浮轴承以及隔音管道的安装更方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1为本发明的立体示意图。
[0018]图2为本发明的正向截面示意图。
[0019]图3为本发明的侧向截面示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以下实施例是对本发明的解释而本发明并不局限于以下实施例。
[0021]如图f 3所示，一种气浮轴承零件配合检测设备，包括罐体、观察窗3、隔震基座4、驱动电机5、减速器6、驱动轴7、支架8、麦克风10、金属软管9、支座13、安装平台14、隔音管道、供气管道，其中隔音管道包含第一隔音管道15和第二隔音管道16，罐体包括罐身I和罐盖2，罐体的内壁涂覆吸音材料，罐身I为圆柱状，罐盖2有两个且安装在罐身I的两端，罐身I上设有观察窗3。
[0022]安装平台14位于罐体内，安装平台14穿过罐身I固定安装在罐体外的隔震基座4上，气浮轴承包括气浮套11和气浮轴12，气浮套11通过支座13固定安装在安装平台14上。
[0023]气浮套11两侧分别安装第一隔音管道15和第二隔音管道16，隔音管道的外径与气浮套11外径相同，隔音管道内形成通道且连接罐盖2，罐盖2上开有通孔，使得隔音管道与罐体外大气相通。
[0024]驱动电机5位于罐体外且安装在支架8上，驱动电机5通过减速器6连接驱动轴7，驱动轴7穿过罐体和第一隔音管道15连接气浮轴12，气浮轴12位于第一隔音管道15内。
[0025]麦克风10通过金属软管9安装在罐身I上，麦克风10有多组，测试前调整其位置，使其尽可能贴近气浮轴承的周边。
[0026]供气管道(在图中未显示)穿过罐身I固定在安装平台14上，供气管道为气浮轴承供气。
[0027]在测试过程中，首先调整麦克风10的位置，使其贴近气浮轴承的周边且均匀分布，通过罐体外的驱动电机5带动驱动轴7转动,传递到罐体内带动气浮轴12转动,模拟气浮轴承的工作情况，通过麦克风10测量出气浮轴承工作过程中各个位置的的音频情况，通过音频分析获取气浮轴承内部间隙均匀度、配合度等情况。
[0028]此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其零、部件的形状、所取名称等可以不同。凡依本发明专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本发明专利的保护范围内。本发明所属【技术领域】的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:包括罐体、麦克风、隔音管道、安装平台、隔震基座、驱动装置； 所述安装平台位于罐体内，所述安装平台穿过罐体固定安装在罐体外的隔震基座上，所述安装平台上安装气浮轴承； 所述气浮轴承两侧套装隔音管道，所述隔音管道与罐体外大气相通，所述隔音管道安装在安装平台上； 所述驱动装置安装在罐体外，所述驱动装置连接驱动轴，所述驱动轴穿过罐体和隔音管道连接罐体内气浮轴承，所述驱动轴位于隔音管道内； 所述麦克风通过金属软管安装在罐体内，所述麦克风有多组且可调位置和方向； 所述罐体的内壁涂覆吸音材料。
2.如权利要求1所述的一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:所述驱动装置包含驱动电机、驱动轴、支架，所述驱动电机安装在支架上，所述驱动电机连接驱动轴，所述驱动轴穿过罐体连接气浮轴承。
3.如权利要求1或2所述的一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:所述罐体上设有观察窗。
4.如权利要求1或2所述的一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:所述罐体由罐身和罐盖组成，所述罐身为圆柱状，所述罐盖有两个且安装在罐身的两端。
5.如权利要求1所述的一种气浮轴承零件配合检测设备，其特征在于:还包括供气管道，所述供气管道穿过罐体固定在安装平台上，所述供气管道为气浮轴承供气。
【文档编号】G01M13/04GK104251776SQ201410475583
【公开日】2014年12月31日 申请日期:2014年9月17日 优先权日:2014年9月17日
【发明者】叶必卿, 励红峰, 阮姣姣, 金旭 申请人:浙江工业大学