电路探测系统及其电路探测装置的制作方法

本发明有关于一种电路探测装置与系统，尤指一种能够覆盖其探针区的电路探测装置与系统。

背景技术：

传统半导体与光电产品(如发光二极管、液晶显示器、等离子显示面板)的制造过程中皆包含一品质测试程序。此品质测试程序为通过探针卡的探针电性接触测试电路的金属垫，以便量测此测试电路的连线可靠度和导通性，以便快速地判读或修正造成电路缺陷的参数，进而提升制程良率(yield)。

然而，在操作人员取放探针卡时，常导致误触探针卡表面的探针，进而损坏探针卡表面的探针，而影响探针卡的电气性能与测试结果。

为此，若能提供一种解决方案的设计，可解决上述需求，让业者于竞争中脱颖而出，即成为亟待解决的一重要课题。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明的一目的在于提供一种电路探测系统及其电路探测装置，用以解决以上先前技术所提到的困难。

为了达到上述目的，依据本发明的一实施方式，此种电路探测装置，包含一探针卡与一保护罩。探针卡具有一探针区、至少一开孔与至少一第一磁吸件。第一磁吸件位于开孔内。保护罩具有至少一第二磁吸件。故，当保护罩覆盖探针区，且第二磁吸件插入开孔时，透过第二磁吸件与第一磁吸件相互吸引，保护罩固定于探针卡上。

如此，透过此电路探测装置，本实施方式得以减少探针卡的探针区受损的机会，以免影响探针卡的电气性能与测试结果。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，第二磁吸件呈柱状，且连接保护罩的一面。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，第二磁吸件包含一柱状体与一磁性块，且磁性块位于柱状体的末端。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，第一磁吸件与该第二磁吸件分别为金属与磁铁；或者该第一磁吸件与该第二磁吸件分别为磁铁。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，开孔具有一柱状通道，柱状通道具有一长轴方向，且第二磁吸件沿此长轴方向进入柱状通道内。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，开孔具有一柱状通道与一开口周缘。开口周缘连接且围绕柱状通道，开口周缘包含一引导斜面，引导斜面用以引导第二磁吸件移入柱状通道内。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，探针卡还具有至少一荧光层。荧光层连接开孔，且荧光层具有荧光色。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，保护罩还具有至少一荧光层，荧光层位于第二磁吸件上，且荧光层具有荧光色。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，保护罩包含一圆弧面与一接合面，接合面的周缘连接圆弧面的周缘，且第二磁吸件位于接合面上。如此，当保护罩覆盖探针区时，接合面接触探针卡。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，保护罩还包含一握持部。握持部相对第二磁吸件设置，以供透过握持部将保护罩脱离探针卡。

依据本发明的另一实施方式，此种电路探测系统包含如上述的电路探测装置、一取物装置与一传动装置。取物装置用以透过移动握持部，将保护罩沿一第二方向脱离探针卡，第二方向与第一方向相反。传动装置电性连接取物装置，用以带动取物装置运动。

如此，透过自动化机械取下保护罩，本实施方式的电路探测系统得以降低，甚至省略，操作人员以人力移除保护罩的机会，不仅降低操作人员触摸到探针区的机会，更可让移除保护罩的步骤整合至整体测试程序中，进而加速整体测试流程。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，握持部包含一颈部与一握把头。握把头连接颈部，且握把头的直径大于颈部的直径。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，取物装置包含一取物模块。取物模块包含一装置主体与一U形叉件。U形叉件连接装置主体，用 以伸至颈部并抵靠握把头。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，取物模块还包含一吸附头，吸附头可升降地连接装置主体，并与U形叉件之间间隔出一可调式间隙。当取物装置移动握持部时，握把头位于可调式间隙内、吸附头与U形叉件夹持握把头，且吸附头吸附至握把头背对颈部的一面。

在上述实施方式的基础下，一个细部实施方式更提到，取物装置还包含一升降引导模块与一平移引导模块。取物模块可升降地接合于升降引导模块上，升降引导模块可平移地接合于平移引导模块上。

以上所述仅是用以阐述本发明所欲解决的问题、解决问题的技术手段、及其产生的功效等等，本发明的具体细节将在下文的实施方式及相关附图中详细介绍。

附图说明

为让本发明的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：

图1绘示依照本发明第一实施方式的电路探测装置的探针卡与保护罩的分解图；

图2绘示图1的探针卡的上视图；

图3绘示图2沿线段A-A的剖视图；

图4绘示本发明第二实施方式的保护罩的第二磁吸件的示意图；

图5A至图5B绘示依照本发明第三实施方式的电路探测系统的操作示意图；以及

图6A至图6B绘示依照本发明第四实施方式的电路探测系统的操作示意图。

具体实施方式

以下将以附图揭露本发明的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些已知惯用的结构与元件在附图中将以简 单示意的方式绘示。

第一实施方式

图1绘示依照本发明第一实施方式的电路探测装置10的探针卡100与保护罩200的分解图。图2绘示图1的探针卡100的上视图。如图1与图2所示，电路探测装置10包含一探针卡100与一保护罩200。探针卡100包含一基板本体110、一探针区130与多数个第一磁吸件140。基板本体110具有相对的正面111与反面112。探针区130设置于基板本体110的正面111。基板本体110的正面111上还形成有多数个开孔120。每一第一磁吸件140固定于其中一开孔120内，且连接基板本体110。保护罩200可移除地固定于探针卡100上。保护罩200包含一罩体210与多数个第二磁吸件220。这些第二磁吸件220分布于罩体210上。

当保护罩200覆盖基板本体110的正面111以遮蔽探针区130时，由于这些第二磁吸件220分别插入对应的开孔120，且第二磁吸件220与第一磁吸件140相互吸引，故，保护罩200固定于探针卡100上。如此，透过保护罩200固定地遮蔽探针区130，本实施方式的电路探测装置10得以降低探针卡100受到损坏的机会，进而避免影响探针卡100的电气性能与测试结果。

具体来说，罩体210呈半球状，包含一圆弧面211与一接合面212。接合面212的周缘连接圆弧面211的周缘，且这些第二磁吸件220分别位于接合面212上。如此，在保护罩200组合至探针卡100上，且接合面212实体接触基板本体110的正面111时，由于保护罩200的圆弧面211具有一定弧度，若保护罩200受到外物撞击，圆弧面211得以有效转移外物的撞击力道，以降低外物损坏保护罩200与探针卡100的机会。罩体210不限为一金属罩或一透明塑胶罩。然而，本发明不限于保护罩的外型与材料。

此外，在保护罩200覆盖基板本体110的正面111时，由于这些第二磁吸件220于接合面212上示意出一正多边形(例如为三角形)，使得保护罩200固定于探针卡100上的力量得以更加均匀。需了解到，在本实施方式中，只要能保护探针区130的这些探针不致受到损害，保护罩不限实心或空心状。

在此实施方式中，第一磁吸件140例如为金属片或永久磁铁，平放于开孔120底部。第二磁吸件220呈柱状，且直接连接罩体210，用以整体地插入开 孔120内，并与第一磁吸件140相互吸引。例如第二磁吸件220整体为永久磁铁所组成。然而，本发明不限于第二磁吸件整体为永久磁铁所组成。

图3绘示图2沿线段A-A’的剖视图。如图1与图3所示，在此实施方式中，如图1与图3所示，各个开孔120具有一柱状通道121与一开口周缘122。开口周缘122连接基板本体110的正面111与柱状通道121，且围绕柱状通道121。柱状通道121具有一长轴方向L。如此，在操作人员将保护罩200组合至探针卡100时，需使各第二磁吸件220沿长轴方向L朝第一方向(如Z轴向上)直线地插入对应的开孔120，以防止非预期横移而对探针区130所造成的损坏。此外，在保护罩200组合至探针卡100后，由于各个开孔120的柱状通道121具有一定长度，各第二磁吸件220于对应的开孔120内不致轻易脱离对应的开孔120。

上述开口周缘122还包含一引导斜面123，引导斜面123倾斜地连接柱状通道121与基板本体110的正面111，用以引导第二磁吸件220移入柱状通道121内，然而，本发明不限于此。

更进一步地，第二磁吸件220的截面积被设计为大致匹配开孔120的口径，如此，在这些第二磁吸件220分别插入对应的开孔120后，第二磁吸件220能够恰紧配于开孔120内，以致更强化保护罩200固定于探针卡100上的强度。然而，本发明不限第二磁吸件的截面积必须匹配开孔的口径。

更甚至，为了使操作人员让第二磁吸件220快速对准对应的开孔120，在此实施方式中，基板本体110的正面111还具有多个荧光层124。每个荧光层124连接其中一开孔120，例如荧光层124涂布于开孔120的开口周缘122上或邻接开孔120的开口周缘122。如此，由于荧光层124具有荧光色，荧光色明显地有别于探针卡100的正面111的颜色，使其有效帮助操作人员快速辨识各开孔的位置，以加快保护罩组装至探针卡上的操作时间。然而，本发明不限于只让探针卡100的开孔120边涂布荧光层124，其他实施方式中，也可让保护罩的各第二磁吸件上也涂布荧光层(图中未示)。

再者，保护罩200还包含一握持部240。握持部240位于圆弧面211上，相对第二磁吸件220设置。如此，操作人员透过移动握持部240，将保护罩200沿长轴方向L朝第二方向(如Z轴向下)脱离探针卡100。更细部地，握持部240包含一颈部241与一握把头242。颈部241位于罩体210的圆弧面211与 握把头242之间，且连接圆弧面211与握把头242。颈部241的横向截面积小于握把头242的横向截面积，即颈部241较握把头242来的细小。

第二实施方式

第二实施方式的电路探测装置与第一实施方式的电路探测装置大致相同，只是第一实施方式的第二磁吸件220整体为永久磁铁所组成(图1)，反观，图4绘示本发明第二实施方式的保护罩201的第二磁吸件230的示意图。如图4所示，第二磁吸件230包含一柱状体231与一磁性块232。柱状体231位于磁性块232与罩体210之间，以便与第一磁吸件相互吸引。

如此，相较于图1的第二磁吸件220整体为永久磁铁，第二实施方式将较小的磁性块232设置于柱状体231的末端即可与第一磁吸件相互吸引，不仅可调整为预期的磁力强度，更可以降低磁铁的购买成本。

第三实施方式

图5A至图5B绘示依照本发明第三实施方式的电路探测系统1的操作示意图。如图5A至图5B所示，在此实施方式中，电路探测系统1包含如上述电路探测装置10、一取物装置300与一传动装置400。第三实施方式的电路探测装置10沿用上述各实施方式的电路探测装置的所有特征。取物装置300用以透过移动握持部240，将保护罩200朝第二方向(如Z轴向下)直线脱离探针卡100。传动装置400电性连接取物装置300，用以带动取物装置300运动。传动装置400例如为马达或汽缸等已知技术，然而，本发明不限于此，本发明所属技术领域中具有通常知识者，应视实际需要，弹性选择传动装置的种类。

如此，透过自动化机械取下保护罩，本实施方式的电路探测系统得以降低，甚至省略以人力移除保护罩的机会，不仅减少操作人员误触探针区的机会，更可将移除保护罩的步骤整合至整体测试程序中，进而加速整体测试流程。

在第三实施方式中，取物装置300包含一取物模块310、一升降引导模块320与一平移引导模块330。取物模块310可升降地接合于升降引导模块320上，升降引导模块320可平移地接合于平移引导模块330上。取物模块310包含装置主体311与U形叉件312。U形叉件312连接装置主体311的一侧。

如此，当进行移除保护罩200时，透过升降引导模块320与平移引导模块 330的交替作动，取物模块310得以被移动至握持部240并抓持此握持部240(图5B)。举例来说，U形叉件312让颈部241伸入U形叉件312内，且U形叉件312抵靠握把头242。最后，透过升降引导模块320移动取物模块310，使得取物模块310朝第二方向(如Z轴向下)被移动，进而使保护罩200脱离探针卡100，以便探针卡100进行后续的测试流程。

由于取物模块310向下的力量大于上述磁吸件相互吸引的力量，保护罩200得以向下远离探针卡100。此外，由于颈部241较握把头242来的细小，U形叉件312得以透过握持部240连接颈部241的一侧作为施力点，以便完成移除保护罩200的程序。然而，本发明不限于此，只要能透过握持部稳定移除保护罩，握持部不限上述结构，本发明所属技术领域中具有通常知识者，应视实际需要，弹性选择握持部的种类。

需了解到，只要能稳定带动取物模块移除保护罩，上述升降引导模块与平移引导模块不限为滚珠螺杆、导轨或马达输送带等已知输送技术；此外，取物装置不限仅能轴向运动，其他实施方式中，取物装置亦为可作三维运动的机械手臂，本发明所属技术领域中具有通常知识者，应视实际需要，弹性选择取物装置的种类。

第四实施方式

图6A至图6B绘示依照本发明第四实施方式的电路探测系统2的操作示意图。第四实施方式的电路探测系统2与第三实施方式的电路探测系统1大致相同，如图6A至图6B所示，只是第四实施方式的取物装置301的取物模块310还包含一吸附头313。U形叉件312与吸附头313连接装置主体311的同侧，且吸附头313可升降地连接装置主体311，使得U形叉件312与吸附头313彼此之间间隔出一可调式间隙G。

如此，如图6B所示，在移除保护罩200的过程中，当U形叉件312被移动至握持部240的颈部241时，吸附头313接着移动至握把头242相对颈部241的一面，使得吸附头313与U形叉件312恰上下夹着握把头242，意即，可调式间隙G恰等于握把头242的厚度。

在第四实施方式中，除了吸附头313与U形叉件312上下夹着握把头242，吸附头313更提供吸附力以吸附握把头242相对颈部241的一面，故，有助握 持部240更稳定地被固持于取物模块310中，减缓取物装置301进行直线运动所产生左右晃动的程度。此外，由于通过吸附头313能够因应握把头242尺寸动态修正可调式间隙G，握持部240尺寸不一的问题可以被克服。

在上述实施方式中，吸附头不限为真空吸引器或橡胶吸盘。本发明所属技术领域中具有通常知识者，应视实际需要，弹性选择吸附头的种类。

最后，上述所揭露的各实施例中，并非用以限定本发明，任何熟悉此技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，皆可被保护于本发明中。因此本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。