1.一种绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述绕射光栅的制造方法包括以下步骤:
提供一基板,所述基板具有一内凹柱面;以及
在所述内凹柱面上形成多个彼此相连的绕射结构,所述各绕射结构的形状为柱状,而所述各绕射结构的一轴线沿着所述内凹柱面的一母线延伸,其中沿着垂直于所述各轴线的方向对所述这些绕射结构剖面而得到一剖面轮廓,所述剖面轮廓中所示的所述各相连的绕射结构的一顶点的联机为一参考曲线,所述参考曲线具有多个第一反曲点。
2.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述内凹柱面为四次方以上的多项式曲面。
3.根据权利要求2所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述绕射结构是利用全像术而形成。
4.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述内凹柱面具有至少一个第二反曲点。
5.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述内凹柱面不具有任何反曲点。
6.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述绕射结构的形状为角柱,而所述顶点为所述各绕射结构的侧棱。
7.根据权利要求6所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述各绕射结构的形状为三角柱。
8.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,形成所述这些绕射结构的方法包括利用一刀刃在所述内凹柱面上切割出多条沟槽,所述刀刃具有一定向面与一非定向面,所述定向面与所述非定向面相连,且所述定向面与所述非定向面之间形成一夹角,当所述刀刃在所述内凹柱面上切割时,所述定向面与所述非定向面接触所述基板。
9.根据权利要求8所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,形成所述这些绕射结构的方法包括多次执行以下第(1)与(2)的步骤:
(1)、沿着一路径移动所述刀刃一移动距离,其中所述路径不平行所述母线;以及
(2)、在沿着所述路径移动所述刀刃之后,令所述刀刃在所述内凹柱面上切割出其中一所述沟槽。
10.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,每次切割所述内凹柱面时的所述夹角的角平分面彼此平行。
11.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,形成所述这些绕射结构其中至少一者的方法更包括沿着一参考转轴来倾斜所述刀刃,其中所述参考转轴平行所述母线,在倾斜所述刀刃之后,令所述刀刃切割所述内凹柱面。
12.根据权利要求11所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,至少两次切割所述内凹柱面时的所述夹角的角平分面彼此不平行。
13.根据权利要求11所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,至少三次切割所述内凹柱面时的所述夹角的角平分面彼此不平行。
14.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,至少两次所述刀刃沿所移动的所述移动距离彼此不相等。
15.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,每次所述刀刃所移动的所述移动距离彼此相等。
16.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述各移动距离小于所述刀刃的厚度。
17.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述刀刃在所述内凹柱面上至少两次切割的深度彼此不相等。
18.根据权利要求9所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述刀刃在所述内凹柱面上切割的深度彼此相等。
19.根据权利要求1所述的绕射光栅的制造方法,其特征在于,所述这些绕射结构具有多种光栅间距。
20.一种绕射光栅,其特征在于,所述绕射光栅包括:
一基板;以及
多个绕射结构,彼此相连,并形成在所述基板上,所述各绕射结构的形状为柱状,所述这些绕射结构沿着一内凹柱面排列,其中所述这些绕射结构的轴线沿着所述内凹柱面的母线延伸,其中沿着垂直于所述各轴线的方向对所述这些绕射结构剖面而得到一剖面轮廓,所述剖面轮廓中所示的所述各相连的绕射结构的一顶点的联机为一参考曲线,所述参考曲线具有多个第一反曲点,所述这些绕射结构用以将一光学讯号分离为多个光谱分量,其中所述绕射光栅聚焦所述这些光谱分量于一聚焦面。
21.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述内凹柱面为四次方以上的多项式曲面。
22.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述内凹柱面具有至少一个第二反曲点。
23.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述各绕射结构的形状为角柱,而所述各绕射结构的侧棱位于所述参考曲线上。
24.根据权利要求23所述的绕射光栅,其特征在于,所述各绕射结构的形状为三角柱。
25.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述各绕射结构的形状为半圆柱、半椭圆柱、双曲面柱或抛物面柱。
26.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述这些绕射结构具有多种光栅间距。
27.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述基板具有一第一侧面与一相对所述第一侧面的第二侧面,而所述各绕射结构从所述第一侧面延伸至所述第二侧面。
28.根据权利要求20所述的绕射光栅,其特征在于,所述聚焦面为平面。
29.一种绕射光栅,其特征在于,所述绕射光栅由权利要求1所述的制造方法而制成,所述绕射光栅包括:
一基板;以及
多个绕射结构,彼此相连,并形成在所述基板上,所述各绕射结构的形状为柱状,所述这些绕射结构沿着一内凹柱面排列,其中所述这些绕射结构的轴线沿着所述内凹柱面的母线延伸,其中沿着垂直于所述各轴线的方向对所述这些绕射结构剖面而得到一剖面轮廓,所述剖面轮廓中所示的所述各相连的绕射结构的一顶点的联机为一参考曲线,所述参考曲线具有多个第一反曲点,所述这些绕射结构用以将一光学讯号分离为多个光谱分量,其中所述绕射光栅聚焦所述这些光谱分量于一聚焦面。
30.一种光谱仪,其特征在于,所述光谱仪包括:
一输入部,用以接收一光学讯号;
一光传感器,具有一光接收面;以及
一根据权利要求20所述的绕射光栅,所述这些绕射结构用以将所述光学讯号分离为多个光谱分量,其中所述光接收面配置于所述聚焦面。
31.根据权利要求30所述的光谱仪,其特征在于,所述聚焦面为平面。
32.一种单光仪,其特征在于,所述单光仪包括:
一输入部,用以接收一光学讯号;
一权利要求20所述的绕射光栅,所述这些绕射结构用以将所述光学讯号分离为多个光谱分量;以及
一转动机构,连接所述绕射光栅,并用于使所述绕射光栅沿着一转轴而相对所述输入部转动,其中所述转轴平行于所述各轴线。
33.一种母模的制造方法,其特征在于所述母模用来翻制一绕射光栅,所述母模的制造方法包括以下步骤:
提供一母模基板,所述母模基板具有一外凸柱面;以及
在所述外凸柱面上形成多个彼此相连的柱状结构,所述这些柱状结构用于形成所述绕射光栅的多个绕射结构,所述各柱状结构的一轴线沿着所述外凸柱面的一母线延伸,其中沿着垂直于所述各轴线的方向对所述这些柱状结构剖面而得到一剖面轮廓,所述剖面轮廓中所示的所述各相连的柱状结构的一顶点的联机为一参考曲线,所述参考曲线具有多个反曲点。