光谱仪、单光仪、绕射光栅及其制造方法与母模制造方法与流程

文档序号:12173402阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种绕射光栅,其包括一基板以及多个绕射结构。这些绕射结构彼此相连,并形成在基板上,各个绕射结构的形状为柱状,这些绕射结构沿着一内凹柱面排列,其中这些绕射结构的轴线沿着内凹柱面的母线延伸,其中沿着垂直于各条轴线的方向对这些绕射结构剖面而得到一剖面轮廓。剖面轮廓中所示的各个相连的绕射结构的一顶点的联机为一参考曲线,其具有多个第一反曲点。这些绕射结构用以将一光学讯号分离为多个光谱分量,其中绕射光栅聚焦这些光谱分量于一聚焦面。

技术研发人员:洪健翔;叶展良
受保护的技术使用者:台湾超微光学股份有限公司
文档号码:201510521841
技术研发日:2015.08.24
技术公布日:2017.03.08

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