技术总结
本发明公开一种绝对式测量装置，包括：一第一测量杆，该第一测量杆包括一水平面和一第一测量面，该第一测量面与水平面呈一角度θ，所述水平面长L0；一第一探头，该第一探头沿水平面直线运动，该第一探头用于探测该测量面与该第一探头之间的距离d；并根据d计算该第一探头的绝对位置，以所述水平面与测量面相交处为零位，计算公式为：L=(D‑d)/ tanθ，其中，L为所述第一探头在X轴的绝对位置，D为所述第一探头测量面到所述水平面的距离。
技术研发人员：郭琳;贾辉;张霖
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510680396
技术研发日：2015.10.21
技术公布日：2017.05.03