一种测试垫布局结构及电性测试方法与流程

文档序号:11913581阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种测试垫布局结构,应用于利用测试探针对待测试器件进行的电性测试中,其特征在于,包括:

若干根互相平行的测试垫,设置于所述待测试器件上;以及

若干探针扎针垫,分别交错排列设置于每根所述测试垫上;

其中,利用一组所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以对所述待测试器件进行电性测试时,相邻的所述测试垫之间的间距与两相邻的所述测试垫宽度之和小于一组所述测试探针的扎针位置之间的距离,且一组所述测试探针至少包括2根所述测试探针。

2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,一组测试探针扎针位置之间设置有至少一根所述测试垫。

3.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,任意两根相邻的所述测试垫之间的间距D小于或等于45um。

4.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,一组测试探针扎针位置之间的间距L大于或等于n*D,且n为正整数。

5.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,每根所述测试垫的长度为200um。

6.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,每根所述测试垫 的宽度为110um。

7.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,任意相邻两根所述测试垫之间的间距均相等。

8.一种电性测试方法,其特征在于,所述方法包括:

提供一设置有若干根互相平行的测试垫的待测试器件,且所述测试垫上设有扎针位置;

将测试探针扎针于所述测试垫的扎针位置上,以对所述待测试器件进行所述电性测试;

其中,所述测试探针的扎针位置处交错分布于所述测试垫上。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述方法中:

同组所述测试探针的扎针位置处之间跨越至少一根所述测试垫,以进行所述电性测试,且一组测试探针至少包括2根测试探针。

10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述测试垫上设置有探针扎针垫,所述测试探针扎于所述探针扎针垫上以进行所述电性测试。

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