技术总结
本发明涉及半导体检测领域，尤其涉及一种测试垫布局结构及电性测试方法。该测试垫布局结构主要针对测试探针的扎针距离而设定，主要通过将测试垫布局结构分为N组，各组中的测试垫相邻距离均为A，且任意一组的相邻测试垫间均具设置有剩余组中其他测试垫，进而使测试垫结构中的相邻测试垫间的间距体现为A/N，一定程度上减少了测试垫占据的外围空间，符合器件窄边框的要求，同时适用于密集型线路的电性测试中。
技术研发人员：彭军
受保护的技术使用者：上海和辉光电有限公司
文档号码：201510761982
技术研发日：2015.11.10
技术公布日：2017.05.17