放射线检测器及其制造方法与流程

文档序号:11160507阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种放射线检测器,其特征在于,包括:

具备基板和设于所述基板的一个面侧的多个光电转换元件的阵列基板;

设于所述多个光电转换元件上,将放射线转换为荧光的闪烁层;

设于所述基板的一个面侧,包围所述闪烁层的壁体;

设于所述闪烁层和所述壁体之间的填充部;以及

覆盖所述闪烁层的上方,周缘部附近与所述填充部的上表面接合的防湿体。

2.如权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于,

所述壁体包含无机材料组成的填料和树脂。

3.如权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于,

所述填充部包含无机材料组成的填料和树脂。

4.如权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于,

所述填充部包含吸湿材和树脂。

5.如权利要求1所述的放射线检测器,其特征在于,

所述防湿体包含铝及铝合金的至少一种。

6.一种放射线检测器的制造方法,其特征在于,包括如下工序:

在具有多个光电转换元件的阵列基板上设置闪烁层的工序;

在所述阵列基板上设置包围所述闪烁层的包含填料和树脂的壁体的工序;

在所述闪烁层和所述壁体之间,填充包含填料及吸湿材的至少一种和树脂的材料,设为填充部的工序;以及

使覆盖所述闪烁层的上方的防湿体的周缘部附近与所述填充部的上表面接合的工序。

7.如权利要求6所述的放射线检测器的制造方法,其特征在于,

使所述防湿体的周缘部附近与所述填充部的上表面接合的工序中,采用延迟固化型粘接剂、自然固化型粘接剂及加热固化型粘接剂的任一种粘接剂,使所述防湿体的周缘部附近与所述填充部的上表面接合。

8.如权利要求6所述的放射线检测器的制造方法,其特征在于,

使所述防湿体的周缘部附近与所述填充部的上表面接合的工序中,在比大气压低压的环境中,使所述防湿体的周缘部附近与所述填充部的上表面接合。

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