技术特征：
技术总结
本发明涉及一种高精度压力传感器，其具有：第一基体(1)，该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15)，该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘；导电测量膜(5)，该导电测量膜(5)被布置在第一基体(1)上并且包括压力室(9)，该测量膜(5)可以载以要测量的压力(p、Δp)；和电极(17)，该电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开，该电极(17)与测量膜(5)一起形成电容器，该电容器具有根据作用在测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1)，该基体(1)的特征在于，其具有：测量膜端子(23、23')，经由该测量膜端子(23、23')可以将参考电势(U0)施加到测量膜(5)；电极端子(25)，电极(17)的电极电势(E1)能够经由该电极端子(25)分接；以及屏蔽端子(27、27')，经由该屏蔽端子(27、27')将可以独立于参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1)，特别地，对应于电极电势(E1)的屏蔽电势(UE1)，施加到背离膜的层(13)。
技术研发人员：拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克;蒂莫·科博;拉尔斯·卡尔韦克;斯特凡·鲁姆勒-维尔纳;托马斯·齐里林格
受保护的技术使用者：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
技术研发日：2015.09.02
技术公布日：2017.09.08