一种气体传感器电极的加工方法与流程

文档序号:11860464阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传感器电极的加工方法,其特征在于包括一下几个步骤:

步骤1:对陶瓷基板进行预处理使其对光刻胶有良好的粘附作用;

步骤2:在陶瓷基板上涂抹光刻胶,并使其均匀分布,之后进行烘干;

步骤3:将定制好尺寸及镂空的模板盖在光刻胶上;

步骤4:利用紫外线对模板进行曝光处理,模板镂空处的光刻胶遇紫外线时性质将改变,并用化学试剂将光刻胶改变性质部分溶解,之后进行烘干;

步骤5:在光刻胶表面镀上一层金属薄膜;

步骤6:利用化学试剂将光刻胶及其表面的薄膜溶解剥离掉,剩下直接镀在陶瓷基板上的金属薄膜。

2.根据权利要求1 所述的一种气体传感器电极的加工方法,其特征在于:所述的光刻胶型号为:BP212型光刻胶。

3.根据权利要求1 所述的一种气体传感器电极的加工方法,其特征在于:所述的化学试剂为:TMAH显影液。

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