技术总结
一种气体传感器电极的加工方法。目前气体传感器电极的加工方法多为属化成膜工艺可以采用真空蒸发镀膜法、直流射频磁控溅射法、化学气相沉积法等成膜方式，但是就目前的技术而言这些方法都存在缺陷，例如：加工条件高，技术要求高，经济成本高等。一种气体传感器电极的加工方法，其特征在于包括一下几个步骤：步骤1：对陶瓷基板进行预处理使其对光刻胶有良好的粘附作用；步骤2：在陶瓷基板上涂抹光刻胶，并使其均匀分布，之后进行烘干；本发明用于气体传感器电极的加工方法。
技术研发人员：于广滨;关彦齐;卜镜元
受保护的技术使用者：哈尔滨理工大学
文档号码：201610474354
技术研发日：2016.06.27
技术公布日：2016.11.16