集成的湿度传感器和多单元气体传感器及其制造方法与流程

技术总结
本发明提供了一种集成的湿度传感器和多单元气体传感器及其制造方法，其利用传统的低成本的半导体工艺技术在标准的硅片上制造出一种特殊的结构，可以同时测量气体和湿度。利用本发明的应用中，使用者通过分析可以用湿度数据对气体的数据进行修正，从而提高气体的测量精度，降低成本，体积和功耗。

技术研发人员：赖建文
受保护的技术使用者：上海申矽凌微电子科技有限公司
文档号码：201610487994
技术研发日：2016.06.28
技术公布日：2016.11.16