磁传感器及其磁检测方法与流程

文档序号:13083871阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种磁传感器,对2轴方向或者3轴方向的磁进行检测,具备配置图案,该配置图案包括相对于基板平面分别平行地配置的三个以上的磁检测部以及相对于上述基板平面分别平行地配置的第一聚磁部至第三聚磁部,上述第一聚磁部至上述第三聚磁部配置成在沿上述第二聚磁部的长边方向输入磁场时,从上述第二聚磁部至上述第一聚磁部形成磁通分量的磁路以及从上述第二聚磁部至上述第三聚磁部形成磁通分量的磁路,上述三个以上的磁检测部具备一方的磁检测部群和另一方的磁检测部群,该一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第一聚磁部之间,该另一方的磁检测部群配置在上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间。2.根据权利要求1所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部均在与上述基板平面平行的第一轴方向上具有感磁轴,上述2轴为与上述基板平面平行且与上述第一轴垂直的第二轴以及与上述基板平面垂直的第三轴,上述3轴为上述第一轴至上述第三轴。3.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,在上述三个以上的磁检测部的各磁检测部中,从上述第一聚磁部与上述第二聚磁部之间的第一虚拟中线至上述一方的磁检测部群的各磁检测部的长边方向的中线为止的中线间距离以及从上述第二聚磁部与上述第三聚磁部之间的第二虚拟中线至上述另一方的磁检测部群的各磁检测部的长边方向的中线为止的中线间距离相互为0.7倍以上且1.3倍以下。4.根据权利要求3所述的磁传感器,其特征在于,各上述中线间距离相互相等。5.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述第二聚磁部相对于上述第一聚磁部和第三聚磁部配置成在上述第二聚磁部的长边方向上错开。6.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,俯视观察时上述第二聚磁部的重心不在连结上述第一聚磁部的重心和\t上述第三聚磁部的重心的虚拟线上。7.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述第一聚磁部与上述第二聚磁部的边缘间距离同上述第二聚磁部与上述第三聚磁部的边缘间距离相互为0.7倍以上且1.3倍以下。8.根据权利要求7所述的磁传感器,其特征在于,各上述边缘间距离相等。9.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,还具备第四聚磁部和/或第五聚磁部,该第四聚磁部配置于该第四聚磁部与上述第二聚磁部夹持上述第一聚磁部的位置,该第五聚磁部配置于该第五聚磁部与上述第二聚磁部夹持上述第三聚磁部的位置。10.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,在上述聚磁部的端部设置有聚磁部件而该聚磁部构成T字型、Y字型或者L字型的聚磁部。11.根据权利要求10所述的磁传感器,其特征在于,上述T字型、Y字型或者L字型的聚磁部的聚磁部件相互具有空隙部。12.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部的沿长边方向的一部分隔着上述基板平面被上述第一聚磁部至上述第三聚磁部中的某一个覆盖。13.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,上述配置图案除了具备上述三个以上的磁检测部以外,还具备辅助磁检测部,该辅助磁检测部被聚磁部覆盖。14.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,上述三个以上的磁检测部为四个磁检测部。15.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,上述辅助磁检测部被上述第一聚磁部至上述第三聚磁部中的某一个覆盖。16.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,具有多个上述配置图案。17.根据权利要求16所述的磁传感器,其特征在于,在多个上述配置图案中,各配置图案中的上述第三聚磁部兼作邻接的后级的配置图案中的上述第一聚磁部。18.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,具有多个上述配置图案,在重复多个的上述配置图案中,各配置图案中的上述三个以上的磁检测部和/或上述辅助磁检测部与邻接的后级的配置图案中的上述三个以上的磁检测部和/或上述辅助磁检测部分别进行电连接。19.根据权利要求1或者2所述的磁传感器,其特征在于,还具备运算部,该运算部被输入基于来自上述三个以上的磁检测部的输出的信号,对与上述三个以上的磁检测部的感磁轴垂直且与上述基板平面平行的方向的Y轴的磁分量以及与上述基板平面垂直的方向的Z轴的磁分量进行运算。20.根据权利要求13所述的磁传感器,其特征在于,还具备运算部,该运算部被输入基于来自上述三个以上的磁检测部和上述辅助磁检测部的输出的信号,对上述三个以上的磁检测部的感磁轴的磁分量、与上述三个以上的磁检测部的感磁轴垂直且与上述基板平面平行的方向的Y轴的磁分量以及与上述基板平面垂直的方向的Z轴的磁分量进行运算。21.根据权利要求20所述的磁传感器,其特征在于,上述运算部对被减去了基于来自上述辅助磁检测部的输出的信号量的、基于来自上述三个以上的磁检测部的输出的信号进行加法运算,由此对上述三个以上的磁检测部的感磁轴的磁分量进行运算。22.一种磁检测方法,使用了根据权利要求1~21中的任一项所述的磁传感器。23.一种磁检测方法,根据来自被第一聚磁部和第二聚磁部夹持的第一磁检测部和第二磁检测部的输出以及来自被上述第二聚磁部和第三聚磁部\t夹持的第三磁检测部的输出来检测2轴方向的磁分量,上述第一磁检测部至上述第三磁检测部在同一第一轴方向上具有感磁轴,根据基于来自上述第一磁检测部的输出的值以及基于上述第三磁检测部的输出的值来对第二轴方向的磁分量进行运算,根据基于来自上述第一磁检测部的输出的值以及基于上述第二磁检测部的输出的值来对第三轴方向的磁分量进行运算。24.根据权利要求23所述的磁检测方法,其特征在于,根据来自上述第一磁检测部至上述第三磁检测部的输出以及来自被聚磁部覆盖的辅助磁检测部的输出来检测3轴方向的磁分量,上述第一磁检测部至上述第三磁检测部和辅助磁检测部在上述第一轴方向上具有感磁轴,除了对上述第二轴方向和上述第三轴方向的磁分量进行运算以外,还根据来自上述第二磁检测部的输出、来自上述第三磁检测部的输出以及来自上述辅助磁检测部的输出来对上述第一轴方向的磁分量进行运算。25.一种磁检测方法,根据来自被第一聚磁部和第二聚磁部夹持的第一磁检测部和第二磁检测部的输出以及来自被上述第二聚磁部和第三聚磁部夹持的第三磁检测部和第四磁检测部的输出来检测2轴方向的磁分量,上述第一磁检测部至上述第四磁检测部在同一第一轴方向上具有感磁轴,根据从基于来自上述第三磁检测部和上述第四磁检测部的输出的值之和中减去基于来自上述第一磁检测部和上述第二磁检测部的输出的值之和而得到的值,来对第二轴方向的磁分量进行运算,根据从基于来自上述第二磁检测部和上述第四磁检测部的输出的值之和中减去基于来自上述第一磁检测部和上述第三磁检测部的输出的值之和而得到的值,来对第三轴方向的磁分量进行运算,或者根据来自上述第一磁检测部的输出以及来自上述第三磁检测部的输出\t来对第二轴方向的磁分量进行运算,根据来自上述第一磁检测部的输出以及来自上述第二磁检测部的输出来对第三轴方向的磁分量进行运算。26.根据权利要求25所述的磁检测方法,其特征在于,根据来自上述第一磁检测部至上述第四磁检测部的输出以及来自被聚磁部覆盖的辅助磁检测部的输出来检测3轴方向的磁分量,上述第一磁检测部至上述第四磁检测部和辅助磁检测部在上述第一轴方向上具有感磁轴,除了对上述第二轴方向和上述第三轴方向的磁分量进行运算以外,还根据从基于来自上述第一磁检测部至上述第四磁检测部的输出的值中减去了基于来自上述辅助磁检测部的输出的值的、基于来自上述第一磁检测部至上述第四磁检测部的输出的信号的总和,来对上述第一轴方向的磁分量进行运算。27.根据权利要求23~26中的任一项所述的磁检测方法,其特征在于,上述第二轴方向为与上述磁检测部的感磁轴垂直且与基板平面平行的方向,上述第三轴方向为与上述基板平面垂直的方向。28.根据权利要求23~26中的任一项所述的磁检测方法,其特征在于,上述第一轴方向为上述磁检测部的感磁轴的方向。
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