技术总结
本发明提出一种相邻面双分立电极分布式的微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、侧面电极、相邻电极、玻璃基底。侧面电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一侧面，构成均匀分布式侧面电极；相邻电极为多个，均匀分布在微型谐振子的一相邻面，如此构成均匀分布式相邻电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；利用相邻电极和侧面电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
技术研发人员：张卫平;欧彬;刘朝阳;唐健;孙殿竣;邢亚亮;魏志方;崔峰;赵万良;成宇翔;刘瑞鑫
受保护的技术使用者：上海交通大学
文档号码：201610635034
技术研发日：2016.08.04
技术公布日：2016.12.21