光栅刻划刀方位角的测量装置及其测量方法与流程

文档序号:12464876阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光栅刻划刀方位角的测量装置,其特征在于,包括:

用于将具有光栅刻划刀的刀架定位在基准位置的安装座(7);

旋转台,所述旋转台包括固定部(21)和旋转部(22),所述旋转部(22)和所述固定部(21)沿周向均具有角度刻度,所述安装座(7)安装在所述旋转部(22)上;

观察镜(4),所述观察镜(4)具有位于基准位置的定位标识,所述观察镜(4)能够与所述旋转台相对。

2.根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,还包括基座(1),所述旋转台的固定部(21)可移动的固定在所述基座(1)上,所述观察镜(4)的竖直投影在所述旋转台的移动轨迹上。

3.根据权利要求2所述的测量装置,其特征在于,还包括可沿所述基座(1)直线移动的滑块(12),所述固定部(21)固定在所述滑块(12)上,所述旋转部(22)可转动的安装在所述滑块(12)上。

4.根据权利要求3所述的测量装置,其特征在于,所述基座(1)具有燕尾槽(11),所述滑块(12)为与所述燕尾槽(11)配合滑动的燕尾滑块。

5.根据权利要求4所述的测量装置,其特征在于,还包括用于调节所述滑块(12)在所述基座(1)上位置的调节装置。

6.根据权利要求5所述的测量装置,其特征在于,所述调节装置包括:

与所述滑块(12)螺纹连接的螺杆(32);

与所述螺杆(32)转动配合的支座(31),所述支座(31)固定在所述基座(1)上;

用于对所述螺杆(32)的轴向进行限位的第一螺母(33),所述第一螺母(33)安装在所述螺杆(32)的尾端。

7.根据权利要求1-6任一项所述的测量装置,其特征在于,所述观察镜(4)为显微镜,所述定位标识为显微镜视野中的十字分划线。

8.根据权利要求2-6任一项所述的测量装置,其特征在于,所述观察镜(4)通过支架(5)安装在所述基座(1)上。

9.根据权利要求8所述的测量装置,其特征在于,所述观察镜(4)可沿垂直于所述旋转台的平面方向移动的安装在所述支架(5)上。

10.一种光栅刻划刀方位角的测量方法,使用如权利要求1-9任一项所述的光栅刻划刀方位角的测量装置,其特征在于,包括步骤:

将待检测的具有光栅刻划刀的刀架定位安装在安装座上,并调节安装座的位置,使刀架位于观察镜的视野范围内,并使定位标识与旋转台的基准重合;

调节观察镜的清晰度,使得光栅刻划刀的刀刃显示在观察镜的视野内;

调节旋转部使光栅刻划刀的刀刃与定位标识重合,则旋转部相对于固定部转动的角度为光栅刻划刀的方位角。

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