1.一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S01：提供经连接孔刻蚀后的晶圆，将所述晶圆传送到电子束扫描仪的扫描腔体中，并进行对准；
步骤S02：通过测试确定使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件；
步骤S03：对晶圆表面进行预扫描，并施加形成稳定电势，以提升晶圆表面的电势，降低晶圆表面与电子束扫描仪电极板之间的电势差；
步骤S04：选择扫描区域，在晶圆表面保持稳定电势状态下进行缺陷检测。
2.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S01中，所述晶圆表面自上而下具有形成电容效应的金属阻挡层、层间介质和前层金属。
3.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S02中，所述使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件是使晶圆表面整体影像保持均匀稳定状态时的对应扫描能量。
4.根据权利要求3所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，针对特定产品以及特定工艺层的晶圆，需要分别测试其表面电势稳定时的扫描能量。
5.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S03中，预扫描时所需的能量标准是保持晶圆表面的电势稳定，即保证晶圆表面影像的均匀稳定。
6.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S03中，进行预扫描时，在使晶圆保持稳定电势的状态下，通过调整缺陷扫描条件，以确定最优化的缺陷扫描条件。
7.根据权利要求7所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，进行预扫描时，在对晶圆施加稳定电势后，以所述最优化的缺陷扫描条件对其进行缺陷扫描，检查晶圆表面影像产生偏差的时间点，并记录，以测试晶圆保持稳定电势的时间。
8.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，步骤S03和步骤S04中，当晶圆表面发生电势不稳定时，通过预扫描步骤的重复执行，使其再次达到稳定状态。
9.根据权利要求1所述的避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，其特征在于，还包括步骤S05：对发现的连接孔刻蚀缺陷进行观察。