一种激光干涉仪的光路调校装置和调校方法与流程

文档序号:12588735阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光干涉仪的光路调校装置,其特征在于:包括测试光路和成像光路,所述测试光路为激光器S1发出的激光通过空间滤波器Q1,再经过偏振分光棱镜P1转折90度后穿过1/4波片P3,再经过95/5分光镜P2转折90度后通过准直物镜Q2到达平面镜M4;

所述成像光路为被平面镜M4反射的激光,平面镜M4位于测试光路中准直物镜Q2水平方向激光入射的另一侧,被反射的激光沿水平返回,穿过准直物镜Q2后经过95/5分光镜P2转折90度,再穿过1/4波片P3、偏振分光棱镜P1,通过反射镜M1和反射镜M2转折后穿过中继镜Q3,再经过反射镜M3转折到变焦镜头Q4,最终到达CCD相机S2上成像;

在平面镜M4反射面的反面水平光路处放置剪切板W1和角锥棱镜W2;在空间滤波器Q1和偏振分光棱镜P1之间的水平轴线上设置小孔光栏F1;在95/5分光镜P2和准直物镜Q2之间的水平轴线上分别设置小孔光栏F5和小孔光栏F6;在95/5分光镜P2和1/4波片P3之间的垂直光路上设置小孔光栏F3;在反射镜M1垂直入射光路后方设置小孔光栏F8;在95/5分光镜P2水平透射光路的后方设置小孔光栏F7;在反射镜M1反射的水平光路后端设置小孔光栏F9;在反射镜M2的上端垂直反射光路上设置小孔光栏F10;在反射镜M3左侧水平反射光路上设置小孔光栏F12。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪的光路调校装置,其特征在于:所述激光器为氦氖激光器。

3.一种权利要求1所述激光干涉仪的光路调校装置的调校方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1,在平面镜M4反射面的反面水平光路处放置剪切板W1和角锥棱镜W2,在空间滤波器Q1和偏振分光棱镜P1之间的水平轴线上设置小孔光栏F1,调整激光器S1和偏振分光棱镜P1,使细光束通过小孔光栏F1后,取走小孔光栏F1;

步骤2,在95/5分光镜P2和准直物镜Q2之间的水平轴线上分别设置小孔光栏F5和小孔光栏F6,调整95/5分光镜P2,使细光束通过分别小孔光栏F5和小孔光栏F6后,取走小孔光栏F5和小孔光栏F6;

步骤3,分别在95/5分光镜P2和1/4波片P3之间的垂直光路上、反射镜M1垂直入射光路后方以及95/5分光镜P2水平透射光路的后方设置小孔光栏F3、小孔光栏F7和小孔光栏F8,调整角锥棱镜W2使细光束返回后通过小孔光栏F3、小孔光栏F7和小孔光栏F8,取走小孔光栏F3;

步骤4,在反射镜M1反射的水平光路后端设置F9,调整反射镜M1,使光通过小孔光栏F9;

步骤5,在反射镜M2的上端垂直反射光路上设置F10,调整反射镜M2,使光通过小孔光栏F10,取走小孔光栏F10;

步骤6,在反射镜M3左侧水平反射光路上设置F12,调整反射镜M3,使光通过小孔光栏F12,取走小孔光栏F12;

步骤7,调整空间滤波器Q1和准直物镜Q2,使光束居中、均匀,转动1/4波片P3调视场亮度到一定值;

步骤8,转动准直物镜Q2,使剪切板条纹小于2条;

步骤9,调整中继镜Q3,使光束居中,均匀;

步骤10,调整变焦镜头Q4,使光束成像在CCD相机S2中间且变倍调焦光斑始终居中。

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